[發明專利]一種利用分段拋光降低圖形表面缺陷的工藝

在審

• 申請號: 202210278624.4
• 申請日: 2022-03-21
• 公開（公告）號: CN114952593A
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: 李強;康勁;羅翀;賈會靜;王辰偉;楊云點;劉啟旭
• 申請（專利權）人: 康勁
• 主分類號: B24B37/00
• 分類號: B24B37/00;B24B37/005;B24B37/34;B24B57/02;B08B3/02
• 代理公司: 成都魚爪智云知識產權代理有限公司 51308
• 代理人: 張麗

1.一種利用分段拋光降低圖形表面缺陷的工藝，其特征在于，其包括以下步驟：

步驟A：將待拋光材料固定在拋頭上，進流拋光液，調整拋頭和拋盤的轉速；

步驟B：對拋頭施加壓力，使待拋光材料的拋光面與拋盤接觸，調整拋頭和拋盤的轉速，進行一段拋光；

步驟C：降低壓力，停流拋光液，采用高壓水沖洗拋盤，進行一次水拋；

步驟D：停止水拋，進流拋光液，增加對拋頭的壓力，進行二段拋光；

步驟E：降低壓力，停流拋光液，調整拋頭和拋盤的轉速，采用高壓水沖洗拋盤，進行二次水拋；

步驟F：停止施加壓力，采用高壓水沖洗拋光材料，拋光結束。

2.根據權利要求1所述的利用分段拋光降低圖形表面缺陷的工藝，其特征在于，所述步驟A中拋光液的流速為230～280mL/min，拋頭的轉速為73～80r/min，拋盤的轉速為80～85r/min。

3.根據權利要求1所述的利用分段拋光降低圖形表面缺陷的工藝，其特征在于，所述步驟B中從拋光盤邊緣到拋光盤中心的5個壓力段的壓力依次為4.8～4.9Psi、1.95～2.05Psi、1.87～2.01Psi、1.75～1.9Psi和1.6～1.75Psi，拋頭的轉速為105～110r/min，拋盤的轉速為110～115r/min，一段拋光的時間為45～55s。

4.根據權利要求1所述的利用分段拋光降低圖形表面缺陷的工藝，其特征在于，所述步驟C中從拋光盤邊緣到拋光盤中心的5個壓力段的壓力依次為3.8～4.2Psi、0Psi、0Psi、0Psi和0Psi，所述高壓水的流速為7～8.5L/min，拋頭的轉速為105～110r/min，拋盤的轉速為110～115r/min，一段水拋的時間為8～12s。

5.根據權利要求1所述的利用分段拋光降低圖形表面缺陷的工藝，其特征在于，所述步驟D中拋光液的流速為230～280mL/min，二段拋光的時間為18～25s。

6.根據權利要求1所述的利用分段拋光降低圖形表面缺陷的工藝，其特征在于，所述步驟E中從拋光盤邊緣到拋光盤中心的5個壓力段的壓力依次為2.4～2.6Psi、1.5～1.8Psi、0Psi、0Psi和0Psi，停流拋光液，拋頭的轉速為73～80r/min，拋盤的轉速為80～85r/min，二次水拋的時間為4～8s。

7.根據權利要求1所述的利用分段拋光降低圖形表面缺陷的工藝，其特征在于，所述步驟F中的沖洗時間為4～8s。

8.根據權利要求1～7任一項所述的利用分段拋光降低圖形表面缺陷的工藝，其特征在于，所述拋光液由以下重量百分比的原料組成：硅溶膠3～10％，絡合劑0.002～2％，殺菌劑0.03～2％，表面活性劑0.0001～3％，去離子水余量。

9.根據權利要求8所述的利用分段拋光降低圖形表面缺陷的工藝，其特征在于，所述絡合劑為FA/O1型螯合劑、FA/O2型螯合劑、FA/O3型螯合劑、FA/O4型螯合劑及FA/O5型螯合劑中的一種或多種混合。

10.根據權利要求8所述的利用分段拋光降低圖形表面缺陷的工藝，其特征在于，所述表面活性劑為FA/O表面活性劑、十二烷基二甲基氧化胺、十二烷基硫酸鈉、十二烷基苯磺酸酸、十二烷基苯磺酸鈉、脂肪醇聚氧乙烯醚和異構脂肪醇聚氧乙烯醚中的一種或多種。