[發明專利]一種半導體物料智能管理系統及使用方法在審
| 申請號: | 202210278149.0 | 申請日: | 2022-03-21 |
| 公開(公告)號: | CN114538080A | 公開(公告)日: | 2022-05-27 |
| 發明(設計)人: | 陳賢文;沈建樹;李巖;張燈科;馮斯 | 申請(專利權)人: | 華天科技(昆山)電子有限公司 |
| 主分類號: | B65G47/90 | 分類號: | B65G47/90;B65G15/30;B65G43/08;B65D25/02;B65D25/52;B65D81/18;B65D25/20 |
| 代理公司: | 蘇州國誠專利代理有限公司 32293 | 代理人: | 黎興科 |
| 地址: | 215300 江蘇省蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 半導體 物料 智能 管理 系統 使用方法 | ||
本發明公開了一種半導體物料智能管理系統及使用方法,包括:物料投入口,用于將待冷藏物料通過物料投入口投入至系統內進行冷藏;待冷藏物料包括待冷藏的物料及裝有待冷藏的物料的器具或載體;進出料掃碼區,用于掃描待冷藏物料上的物料信息;搬運模組,用于將系統內的物料轉移搬運至所需位置;物料冷藏區,用于對系統內的待冷藏物料進行低溫冷藏;回溫區,用于對來自物料冷藏區的物料進行使用前的回溫;物料取出區,用于取出回溫區已回溫好的物料。本發明為一種集半導體物料冷藏及回溫于一體的全自動智能管理系統,可與物流管理系統網絡對接,實現光刻膠等半導體物料的智能管控,智能化水平高,工作效率高,降低人為誤差,適合工業化推廣使用。
技術領域
本發明屬于智能管理系統技術領域,具體涉及一種半導體物料智能管理系統及使用方法。
背景技術
光刻膠等半導體物料存儲時需特定的低溫環境,在使用前需對該類物料進行回溫,使用時必須保證其回溫時長足夠。但是,不同的光刻膠需回溫的時長并不相同,目前均為人為記錄各光刻膠的回溫時間,自動化程度低,智能化程度低,而且存在回溫時長不夠被使用的風險。因此,設計一種集光刻膠等半導體物料的冷藏以及回溫功能的全自動化智能管理系統具有十分重要的現實意義。
發明內容
為解決現有技術中存在的技術問題,本發明的目的在于提供一種半導體物料智能管理系統及使用方法。
為實現上述目的,達到上述技術效果,本發明采用的技術方案為:
一種半導體物料智能管理系統,包括:
物料投入口,用于將待冷藏物料通過物料投入口投入至系統內進行冷藏;所述待冷藏物料包括待冷藏的物料及裝有待冷藏的物料的器具或載體;
進出料掃碼區,用于掃描待冷藏物料上的物料信息;
搬運模組,用于將系統內的物料轉移搬運至所需位置;
物料冷藏區,用于對系統內的待冷藏物料進行低溫冷藏;
回溫區,用于對來自物料冷藏區的物料進行使用前的回溫;
物料取出區,用于取出回溫區已回溫好的物料。
進一步的,所述物料投入口、進出料掃碼區、搬運模組、物料冷藏區、回溫區和物料取出區集成設置在箱體內,所述箱體上設置觸屏式控制面板和刷卡區,控制面板帶有控制器模塊,箱體上還設置與物料取出區相適配的取出門,所述刷卡區與控制器模塊輸入端相連,控制器模塊的輸出端與取出門相連。
進一步的,所述物料投入口設置有物料傳送裝置,所述物料傳送裝置上設置有用于緊固待冷藏物料的物料固定組件,待冷藏物料通過物料投入口放置于物料傳送裝置上,通過物料傳送裝置將待冷藏物料傳送至系統內的合適位置并等待搬運模組進行搬運。
進一步的,所述進出料掃碼區包括掃碼模組、移動模組和旋轉動力模組,所述掃碼模組設置于移動模組上,所述旋轉動力模組包括若干個可旋轉并用于放置物料的底盤,所述掃碼模組對底盤上的物料進行掃碼。
進一步的,所述搬運模組搬運模組包括X軸軌道模組、Y軸軌道模組和移動組件,所述X軸軌道模組上設置Y軸軌道模組,Y軸軌道模組能夠沿X軸軌道模組左右往復運動,所述Y軸軌道模組上設置移動組件,移動組件能夠沿Y軸軌道模組上下往復運動,所述移動組件包括可旋轉的夾爪組件和Z軸軌道模組,夾爪組件能夠沿Z軸軌道模組前后往復運動,夾爪組件用于夾持住物料。
進一步的,所述X軸軌道模組包括分別垂直于Y軸軌道模組頂部和底部的X1軸軌道模組和X2軸軌道模組,所述Y軸軌道模組與Z軸軌道模組垂直設置。
進一步的,所述物料冷藏區包括若干個冷藏室,所述冷藏室內設置可旋轉的儲物架,儲物架上設置有若干個供放置待冷藏物料的固定工位。
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