[發明專利]一種提升鈣鈦礦太陽能電池穩定性的方法

在審

• 申請號: 202210277421.3
• 申請日: 2022-03-21
• 公開（公告）號: CN114649483A
• 公開（公告）日: 2022-06-21
• 發明（設計）人: 劉萬滿;蕭生剛;張哲星
• 申請（專利權）人: 夏禹納米科技（深圳）有限公司;深圳市科納能薄膜科技有限公司
• 主分類號: H01L51/48
• 分類號: H01L51/48;H01L51/44
• 代理公司: 廣東中禾共贏知識產權代理事務所(普通合伙) 44699
• 代理人: 陳歡

1.一種提升鈣鈦礦太陽能電池穩定性的方法，包括蒸發室(1)、裂解室(2)、鍍膜腔室(3)、真空系統(4)、真空計(5)、專用治具和鈣鈦礦電池，其特征在于：所述蒸發室(1)通過管道與裂解室(2)連接，所述裂解室(2)通過管道與鍍膜腔室(3)連接，所述鍍膜腔室(3)通過管道與真空系統(4)連接，所述真空計(5)安裝在鍍膜腔室(3)的側表面。

所述提升鈣鈦礦太陽能電池穩定性的方法包括以下步驟：

第一步：將鈣鈦礦電池置于專用治具上，專用治具可通過正面柵極或背面電極將鈣鈦礦電池托起。

第二步：將專用治具連同鈣鈦礦電池一同放入鍍膜腔室(3)內。

第三步：將鍍層原材料放入蒸發室(1)中，關閉蒸發室(1)，使用真空系統(4)將鍍膜腔室(3)抽真空至80mtorr以下。

第四步：通過程序控制蒸發室(1)逐步升溫，最高溫度小于160℃。

第五步：在蒸發室(1)開始升溫的同時將裂解室(2)溫度逐漸升至600℃至680℃之間，之后，鍍層經過升華和裂解會逐漸沉積在鈣鈦礦電池表面，形成水氧阻隔膜(g)。

2.根據權利要求1所述的一種提升鈣鈦礦太陽能電池穩定性的方法，其特征在于：所述水氧阻隔膜(g)由派瑞林膜組成、派瑞林膜與ALO_x膜組成、派瑞林膜與ZrO_x膜組成或由派瑞林膜、ALO_x膜和ZrO_x膜共同組成。

3.根據權利要求1所述的一種提升鈣鈦礦太陽能電池穩定性的方法，其特征在于：所述鈣鈦礦電池由基板(a)、導電透明電極(b)、多孔層(c)、MALI材料層(d)、空穴傳輸層(e)和背電極膜層(f)組成，所述基板(a)的底部設置有正面柵極(h)，所述背電極膜層(f)的頂部設置有背面電極(i)。