[發(fā)明專利]一種晶圓分選設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210269844.0
• 申請(qǐng)日: 2022-03-18
• 公開（公告）號(hào): CN114535139A
• 公開（公告）日: 2022-05-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡爭光;師利全;李小根;羅東;賀天文;甘恩榮;吳嘉睿
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市鑫三力自動(dòng)化設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): B07C5/34
• 分類號(hào): B07C5/34;B07C5/02;B07C5/36;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 深圳市中聯(lián)專利代理有限公司 44274
• 代理人: 尹懷勤

1.一種晶圓分選設(shè)備，包括機(jī)架(1)，機(jī)架(1)設(shè)有上料工位、分選工位，其特征在于，所述分選設(shè)備還包括：

安裝于上料工位處的上料機(jī)構(gòu)(2)，該上料機(jī)構(gòu)(2)懸裝于一架子上，其設(shè)有第一XYZ三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)及安裝于所述第一XYZ三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)上的晶圓盤夾持機(jī)構(gòu)(25)和Bin盤夾持機(jī)構(gòu)(26)；

晶圓平臺(tái)機(jī)構(gòu)(3)，具有安裝于所述機(jī)架(1)上的第一底座(31)、安裝于所述第一底座(31)上的第一YZ軸運(yùn)動(dòng)模組，所述第一YZ軸運(yùn)動(dòng)模組驅(qū)動(dòng)連接有晶盤組件，所述晶盤組件上分別安裝有晶圓固定機(jī)構(gòu)(34)、光源(35)和吸嘴擦拭裝置(36)；

晶圓頂針機(jī)構(gòu)(4)，安裝于所述第一底座(31)上，具有第二XYZ三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)和安裝于所述第二XYZ三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)上的頂針固定組件，所述頂針固定組件上可拆卸的安裝有頂針(46)；

擺臂機(jī)構(gòu)(5)，設(shè)于所述分選工位，具有第二底座(51)、安裝于所述第二底座(51)上的第一θ軸機(jī)構(gòu)(52)、安裝于所述第一θ軸機(jī)構(gòu)(52)并被所述第一θ軸機(jī)構(gòu)(52)驅(qū)動(dòng)做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)支架，所述旋轉(zhuǎn)支架上對(duì)稱的安裝有第一擺臂(53)和第二擺臂(54)；

Bin盤平臺(tái)機(jī)構(gòu)(6)，具有固定所述機(jī)架(1)上的第三底座(61)、裝設(shè)于所述第三底座(61)上的第二YZ軸運(yùn)動(dòng)模組、與所述第二YZ軸運(yùn)動(dòng)模組驅(qū)動(dòng)連接的第二θ軸機(jī)構(gòu)(64)，所述第二θ軸機(jī)構(gòu)(64)驅(qū)動(dòng)連接Bin盤組件，所述Bin盤組件上設(shè)置有Bin盤固定機(jī)構(gòu)(65)和光源(66)；

安裝于第三底座(61)上的Bin盤頂膜機(jī)構(gòu)(7)，該Bin盤頂膜機(jī)構(gòu)(7)具有第三X軸運(yùn)動(dòng)模組(71)、與所述第三X軸運(yùn)動(dòng)模組(71)驅(qū)動(dòng)連接并被所述第三X軸運(yùn)動(dòng)模組(71)驅(qū)動(dòng)做X軸向運(yùn)動(dòng)的頂膜機(jī)構(gòu)(72)；

安裝于第二底座(51)上的CCD對(duì)位系統(tǒng)(8)，該CCD對(duì)位系統(tǒng)(8)具有第一CCD視覺模塊(81)、第二CCD視覺模塊(82)，所述第一CCD視覺模塊(81)與所述第一擺臂(53)、第二擺臂(54)、頂針(46)的中心重合，所述第二CCD視覺模塊(82)與所述第一擺臂(53)、第二擺臂(54)的中心重合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓分選設(shè)備，其特征在于，所述第一XYZ三軸聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括：

第一X軸運(yùn)動(dòng)模組(21)；

與所述第一X軸運(yùn)動(dòng)模組(21)驅(qū)動(dòng)連接并被所述第一X軸運(yùn)動(dòng)模組(21)驅(qū)動(dòng)做X軸向運(yùn)動(dòng)的第一Y軸運(yùn)動(dòng)模組(22)，所述第一Y軸運(yùn)動(dòng)模組(22)驅(qū)動(dòng)連接有第一Y軸活動(dòng)部；

第一Z軸機(jī)構(gòu)(23)和第二Z軸機(jī)構(gòu)(24)，分別安裝于所述第一Y軸活動(dòng)部的左側(cè)和右側(cè)；

晶圓盤夾持機(jī)構(gòu)(25)，和所述第一Z軸機(jī)構(gòu)(23)驅(qū)動(dòng)連接；

Bin盤夾持機(jī)構(gòu)(26)，和所述第二Z軸機(jī)構(gòu)(24)驅(qū)動(dòng)連接；

所述第一X軸運(yùn)動(dòng)模組(21)安裝于架子上，其動(dòng)力源為第一同步帶電機(jī)，該第一同步帶電機(jī)通過同步帶組件驅(qū)動(dòng)連接X軸向活動(dòng)部；

所述第一Y軸運(yùn)動(dòng)模組(22)安裝于所述X軸向活動(dòng)部，其動(dòng)力源為第二同步帶電機(jī)，該第二同步帶電機(jī)驅(qū)動(dòng)連接Y軸向活動(dòng)部；

所述第一Z軸機(jī)構(gòu)(23)的動(dòng)力源為第三同步帶電機(jī)，該第三同步帶電機(jī)驅(qū)動(dòng)連接有第一Z軸活動(dòng)部，所述第一Z軸活動(dòng)部安裝所述晶圓盤夾持機(jī)構(gòu)(25)；

所述第二Z軸機(jī)構(gòu)(24)的動(dòng)力源為第四同步帶電機(jī)，該第四同步帶電機(jī)驅(qū)動(dòng)連接有第二Z軸活動(dòng)部，所述第二Z軸活動(dòng)部安裝所述Bin盤夾持機(jī)構(gòu)(26)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓分選設(shè)備，其特征在于，所述晶圓盤夾持機(jī)構(gòu)(25)的動(dòng)力源為第一夾持氣缸，該第一夾持氣缸驅(qū)動(dòng)連接有第一夾子，該第一夾子用于夾持第一晶圓盤；

所述Bin盤夾持機(jī)構(gòu)(25)的動(dòng)力源為第二夾持氣缸，該第二夾持氣缸驅(qū)動(dòng)連接有第二夾子，該第二夾子用于夾持第二晶圓盤。