[發(fā)明專利]一種壓差流量計

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210262511.5
• 申請日: 2022-03-17
• 公開（公告）號: CN114719917A
• 公開（公告）日: 2022-07-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃瑞奇
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市為朗儀表有限公司
• 主分類號: G01F1/38
• 分類號: G01F1/38
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 牛麗霞

本發(fā)明涉及測量技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種壓差流量計，包括底座組件及測量組件，底座組件包括底座、節(jié)流元件和底座蓋，底座具有第一流體通道和第二流體通道；節(jié)流元件與底座蓋均連接底座，底座蓋開設(shè)有第一高壓引壓孔和第一低壓引壓孔；測量組件包括金屬殼體、第一傳感器晶圓、第二傳感器晶圓、傳感器電路板和流量計電路板，金屬殼體連接底座蓋，第一傳感器晶圓和第二傳感器晶圓均連接于傳感器電路板，傳感器電路板電性連接流量計電路板，第一傳感器晶圓為壓差傳感器晶圓，第二傳感器晶圓為絕壓傳感器晶圓或表壓傳感器晶圓。本流量計將第一傳感器晶圓和第二傳感器晶圓集成于金屬殼體內(nèi)，能夠使得流量計的結(jié)構(gòu)緊湊，還能避免電磁干擾，提高測量精度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及測量技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種壓差流量計。

背景技術(shù)

壓差流量計是一種利用流體在流經(jīng)節(jié)流元件前后所產(chǎn)生的壓力差ΔP而計算出流體的流量體積的設(shè)備。在測量的過程中，需要測量流體的絕對壓力P，P可以通過絕壓傳感器直接測量獲得，也可以通過表壓傳感器測得流體表壓Pg后，加上當前大氣壓力Pa獲得(P＝Pg+Pa)。在本申請中，所說的絕對壓力P是指上述兩種中的任意一種。測量獲得絕對壓力P后，由公式Qn＝Q×(Tn/T)×(P/Pn)可以計算出標況流量Qn，其中，Tn是常數(shù),單位為開爾文K，Pn是常數(shù)，單位和P一致,T為當前流體的溫度，由溫度傳感器測量獲得。Q為流量計需要測量的流量值，Qn為標況后的流量計的最終輸出值，而Q的測量則與壓力差ΔP相關(guān)，因此，通過測量得到的ΔP，則可以測量得到Q，最終得到Qn。

現(xiàn)有技術(shù)中的壓差流量計，壓差傳感器和絕壓傳感器均為獨立的模塊，需要獨立安裝，對安裝過程的操作要求較高，這不僅僅影響著壓差流量計的裝配效率，還會導致壓差流量計的體積過大，各個模塊或電路板之間的距離過大，導致它們之間所連接的導線過長，從而引入電磁干擾，影響著壓差流量計的測量精度。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種壓差流量計，其結(jié)構(gòu)緊湊，體積較小，能夠減小電磁干擾，提高測量精度。

為解決上述問題，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案如下：一種壓差流量計，包括：底座組件，包括底座、節(jié)流元件和底座蓋，所述底座具有第一流體通道和第二流體通道，所述節(jié)流元件與所述底座蓋均連接所述底座，所述底座蓋開設(shè)有第一高壓引壓孔和第一低壓引壓孔，及測量組件，包括金屬殼體、第一傳感器晶圓、第二傳感器晶圓、傳感器電路板和流量計電路板，所述金屬殼體連接所述底座蓋，所述第一傳感器晶圓和所述第二傳感器晶圓均連接于所述傳感器電路板，且所述第一傳感器晶圓、所述第二傳感器晶圓和所述傳感器電路板均設(shè)于所述金屬殼體內(nèi)，所述傳感器電路板電性連接所述流量計電路板，且所述流量計電路板的信號地連接所述金屬殼體，所述第一傳感器晶圓為壓差傳感器晶圓，所述第二傳感器晶圓為絕壓傳感器晶圓或表壓傳感器晶圓；測量時，待測流體可依次流經(jīng)所述第一流體通道、所述節(jié)流元件和所述第二流體通道，所述第一高壓引壓孔可向所述第一傳感器晶圓引入流體的絕對壓力，并向所述第二傳感器晶圓引入所述節(jié)流元件的高壓，所述第一低壓引壓孔可向所述第二傳感器晶圓引入流體的絕對壓力，并向所述第二傳感器晶圓引入所述節(jié)流元件的低壓。

相比現(xiàn)有技術(shù)，上述技術(shù)方案的有益效果在于：本流量計可以將第一傳感器晶圓和第二傳感器晶圓一起集成于金屬殼體內(nèi)，不僅能夠減小流量計的體積，使得流量計的結(jié)構(gòu)緊湊，金屬殼體還能形成電磁屏蔽罩，減小第一傳感器晶圓和第二傳感器晶圓受到的電磁干擾，提高測量精度；同時，本流量計的第一傳感器晶圓和第二傳感器晶圓連接于傳感器電路板上，并與傳感器電路板一起集成于金屬殼體內(nèi)，傳感器電路板電性連接流量計電路板，無需額外引入長導線，能夠避免因引入長導線所帶來的電磁干擾，進一步地提高了測量的精度；且流量計電路板的信號地與金屬殼體連接，又能夠避免因人手觸摸流量計電路板或觸摸金屬殼體時所帶來的信號干擾，更進一步地提高了測量的精度；此外，在裝配時即可將第一傳感器晶圓和第二傳感器晶圓封裝于流量計內(nèi)，能夠提高流量計的裝配效率。