[發明專利]氣體輸送設備

在審

• 申請號: 202210258232.1
• 申請日: 2022-03-16
• 公開（公告）號: CN114636101A
• 公開（公告）日: 2022-06-17
• 發明（設計）人: 吳凱健;刁亞宇
• 申請（專利權）人: 江蘇正帆半導體設備有限公司;上海正帆科技股份有限公司
• 主分類號: F17C7/00
• 分類號: F17C7/00;F17C13/08;F17D1/02;F17D5/06;F17D3/01;A62C31/02
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 徐葉馨

1.一種氣體輸送設備，其特征在于，包括：

柜體，設有出氣口；

氣體輸送裝置，設于所述柜體內，用于向所述出氣口輸送氣體；

氣體偵測裝置，設于所述柜體外表面，用于檢測所述氣體輸送裝置是否漏氣；以及

控制裝置，設于所述柜體，并與所述氣體輸送裝置和所述氣體偵測裝置電性連接。

2.根據權利要求1所述的氣體輸送設備，其特征在于，所述氣體輸送裝置包括：

第一氣瓶和第二氣瓶；

供氣模塊，連接所述第一氣瓶和所述出氣口，用于將所述第一氣瓶中的氣體輸送至所述出氣口；

吹掃模塊，連接所述第二氣瓶和所述供氣模塊，用于將所述第二氣瓶中的氣體輸送至所述出氣口以進行吹掃；以及

尾氣處理模塊，連接所述供氣模塊和所述吹掃模塊，用于承接所述吹掃模塊和所述供氣模塊的排放氣體以進行尾氣處理。

3.根據權利要求2所述的氣體輸送設備，其特征在于，所述供氣模塊、所述吹掃模塊和所述尾氣處理模塊均設有多個閥體，所述多個閥體集成電磁閥組；

其中，所述控制裝置通過所述電磁閥組與所述氣體輸送裝置連接。

4.根據權利要求3所述的氣體輸送設備，其特征在于，所述氣體輸送裝置還包括：

輔助用氣模塊，連接所述第二氣瓶和所述電磁閥組，用于為所述電磁閥組供氣。

5.根據權利要求4所述的氣體輸送設備，其特征在于，所述輔助用氣模塊包括：依次連接的驅動氣源高壓手閥、驅動氣源調壓閥和驅動氣源低壓手閥；

其中，所述驅動氣源高壓手閥的輸入端連接所述第二氣瓶，所述驅動氣源低壓手閥的輸出端連接實施電磁閥組。

6.根據權利要求2所述的氣體輸送設備，其特征在于，所述供氣模塊包括：依次連接的供氣高壓測壓器、供氣過濾器墊片、供氣高壓氣閥、供氣調壓閥、供氣低壓測壓器、供氣過流保護器、供氣過濾器、供氣低壓氣閥和供氣低壓手閥；

其中，所述供氣高壓測壓器的輸入端連接所述第一氣瓶，所述供氣低壓手閥的輸出端連接所述出氣口。

7.根據權利要求2所述的氣體輸送設備，其特征在于，所述吹掃模塊包括：

第一支路，包括依次連接的第二氣瓶測壓器、吹掃過濾器墊片和吹掃高壓手閥；

第二支路，包括依次連接的吹掃調壓閥、吹掃微漏閥、第一吹掃單向閥和吹掃氣閥；

第三支路，包括依次連接的保壓調壓閥和保壓氣閥；以及

第四支路，包括依次連接的吹掃測壓器、第二吹掃單向閥和高壓吹掃氣閥；

其中，所述第一支路的輸入端與所述第二氣瓶相連；所述第一支路的輸出端與所述第二支路的輸入端和所述第三支路的輸入端相連；

所述第四支路的輸入端與所述第二支路的輸出端和所述第三支路的輸出端相連；所述第四支路的輸出端與所述供氣模塊相連。

8.根據權利要求2所述的氣體輸送設備，其特征在于，所述尾氣處理模塊包括：

尾氣處理器；

真空發生器，與所述尾氣處理器連接；

排放測壓器，與所述真空發生器連接；

第五支路，包括高壓排放氣閥；

第六支路，包括依次連接的低壓排放氣閥和低壓排放單向閥；以及

第七支路，包括依次連接的吹掃排放微漏閥和吹掃排放單向閥；

其中，所述第五支路的輸入端和所述第六支路的輸入端均與所述供氣模塊相連；所述第五支路的輸出端和所述第六支路的輸出端均與所述排放測壓器相連；

所述第七支路的輸入端與所述吹掃模塊相連；所述第七支路的輸出端與所述真空發生器相連。

9.根據權利要求1至8任一項所述的氣體輸送設備，其特征在于，所述氣體輸送設備還包括：

溫度檢測裝置，設于所述柜體內表面，并與所述控制裝置電性連接；以及

噴淋裝置，設于所述柜體內表面，并與所述控制裝置電性連接。

10.根據權利要求1所述的氣體輸送設備，其特征在于，所述柜體具有相對設置的第一表面和第二表面以及銜接所述第一表面和第二表面的側表面；

其中，所述出氣口設于所述第一表面，所述側表面上設有至少一個車輪、至少一個開門和/或至少一個扶手。