[發明專利]一種MEMS壓力傳感器自動標定線裝置

在審

• 申請號: 202210248646.6
• 申請日: 2022-03-14
• 公開（公告）號: CN114618796A
• 公開（公告）日: 2022-06-14
• 發明（設計）人: 周浩楠;陳廣忠;霍向明;張亞婷
• 申請（專利權）人: 北京智芯傳感科技有限公司
• 主分類號: B07C5/34
• 分類號: B07C5/34;B07C5/36;G01L27/00;G01L25/00
• 代理公司: 北京墨丘知識產權代理事務所(普通合伙) 11878
• 代理人: 唐忠仙;谷軼楠

本發明提供了一種MEMS壓力傳感器自動標定線裝置。該裝置包括：上料部件、溫控試驗箱、標定線皮帶傳輸、測試壓合部件、溫度測試區、下料部件(包含NG標識和不良品剔除機構)、測試標定系統及電氣控制系統，自動完成MEMS壓力傳感器的上料、低溫測試、常溫測試、高溫測試、參數寫入、復測、不良品標記、下料，進而完成MEMS壓力傳感器的標定。本標定線裝置縮短了溫度等待時間、減小溫度誤差、提高測試精度；其次不需要人工更換溫度、操作軟件系統等，并且降低了人工成本，實現MEMS壓力傳感器的多階校準。

技術領域

本發明涉及自動化生產標定系統(Automated production calibration system)技術領域，更具體地，涉及一種MEMS壓力傳感器自動標定線裝置。

背景技術

MEMS壓力傳感器標定系統是一種將傳感器芯片標定到指定參數范圍內的一種生產標定系統。其中主要包含溫控試驗箱，用于調節芯片所處環境溫度；壓力控制器，調節芯片所受壓力大?。患訅簻y試部件，芯片對數據進行采集，計算，寫入。寫入完成后，復測系統進行復測，數據滿足產品要求時，產品標定完成。上述MEMS壓力傳感器標定過程存在明顯缺陷。首先為使芯片適應各個溫區工作，要在不同溫度點采集數據傳統方法溫度等待時間較長；其次需要人工更換溫度，操作軟件系統等，人工成本較大；而且溫度控制精度不高導致測試精確度不高。

發明內容

為解決上述問題，提高測試精度和生產效率，實現多階校準，本發明提出一種MEMS壓力傳感器自動標定線裝置，包括：上料部件、多個溫控試驗箱、標定線皮帶、測試壓合部件、下料部件(包含NG標識和不良品剔除機構)、溫度測試區、測試標定系統及電氣控制系統，所述標定系統和所述壓合部件均設置在所述溫度測試區，所述溫度測試區包括低溫測試區、常溫測試區、高溫測試區、復測區和過渡區，多個所述溫控試驗箱分別設置于所述低溫測試區、所述常溫測試區、所述高溫測試區、所述復測區和所述過渡區，所述MEMS壓力傳感器自動標定裝置自動完成傳感器上料，所述標定線皮帶將MEMS壓力傳感器傳輸至所述低溫測試區、所述常溫測試區或所述高溫測試區進行標定測試，然后將所述MEMS壓力傳感器傳輸至所述復測區，進行參數寫入和復測，將不良品篩選、標識以及下料；所述電器控制系統控制所述上料部件、所述溫控試驗箱、所述標定線皮帶、所述測試壓合部件、所述下料部件以及所述測試標定系統運轉。

可選地，所述上料部件與所述下料部件結構相同，運行動作相反。

可選地，所述上料部件包括機架部件、升降結構、籃具傳輸機構、第一傳輸結構和防護罩部件；

所述上料部件包括機架部件、升降結構、籃具傳輸機構、第一傳輸結構；

升降結構包括伺服電機和用于驅動升降的氣缸，所述伺服電機包括至少一套滾珠絲杠升降件，所述滾珠絲杠升降件用于提升籃具以便所述標定線皮帶傳輸件取或放物料，所述氣缸驅動所述升降件，所述升降件作為籃具的緩存工位；

所述籃具傳輸機構包括一套行程1000毫米(mm)的直線模組和一套具有2個工位的叉手，所述直線模組由所述伺服電機驅動，所述直線模組用于籃具的上或下料，以及籃具在各個工位之間的傳遞，所述叉手用于承載籃具；

所述第一傳輸結構包括一套無桿氣缸(行程300mm)和一套由調速電機驅動的第二傳輸機構，所述無桿氣缸包括叉臂，所述叉臂用于從所述升降結構驅動籃具中取或放物料，所述第二傳輸機構用于制冷器中含配置冷量調節壓力傳感器將物料傳進或傳出所述溫控試驗箱。

可選地，還包括器件工裝，所述器件工裝設有定位槽，MEMS壓力傳感器放入所述器件工裝的所述定位槽內；

所述器件工裝以籃具的形式上料，所述籃具由人工取放，所述器件工裝由所述標定線皮帶傳輸到所述測試壓合部件處；

所述器件工裝材質為雙面玻纖，滿足所述雙面玻纖的溫度膨脹系數與傳感器的芯片匹配；