[發明專利]一種基于頻譜面探測的多波段多角度微納米測量裝置

在審

• 申請號: 202210238627.5
• 申請日: 2022-03-11
• 公開（公告）號: CN114777666A
• 公開（公告）日: 2022-07-22
• 發明（設計）人: 彭博方;盧紅亮;張衛;李曉茜;李煜純
• 申請（專利權）人: 復旦大學
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 上海正旦專利代理有限公司 31200
• 代理人: 陸飛;陸尤

1.一種基于頻譜面探測的多波段多角度光信息微納米測量裝置，其特征在于，將連續漸變的多個波段的光，各自以不同的角度入射至待測樣品上，并通過顯微物鏡采集，直至在頻譜面使用光電探測器同時采集獲得包含待測物形貌信息的光信號，并分析處理該光信號，進而獲得待測物體的形貌參數信息；該微納米測量裝置，包括：光源，濾波片，偏振片，中繼鏡組，分光鏡，顯微物鏡，后端鏡組，頻譜面；其中，線性漸變濾波片、偏振片、中繼鏡組依次按水平光路同軸布設，平面分光鏡設置于中繼鏡組后，分光鏡鏡面與水平方向成45度角；顯微物鏡設置于平面分光鏡下方，顯微物鏡對準待測樣品；后端鏡組和頻譜面依次設置于平面分光鏡上方，通過頻譜面采集頻譜信號圖；

光源經過光束整形后，入射光經過線性漸變濾波片進行連續濾波，然后經過偏振片，選取得到最佳的偏振態；經過中繼鏡組，進行再次整形；然后通過分光鏡，將光束入射至顯微物鏡，顯微物鏡將入射光束會聚之后，入射至待測樣品；入射至待測樣品上的光束，將發生散射與反射，這些反射與散射光，都通過顯微物鏡收集，再次經過分光鏡，進入后端鏡組；最終在頻譜面采集光信號。

2.根據權利要求1所述的微納米測量裝置，其特征在于，通過調整線性漸變濾波片的通光位置，調整入射光的波段范圍。