[發(fā)明專利]輔助WAT生產(chǎn)監(jiān)控的方法及裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210235438.2
• 申請(qǐng)日: 2022-03-11
• 公開（公告）號(hào): CN114609500A
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 余燕萍;刑陽陽
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力集成電路制造有限公司
• 主分類號(hào): G01R31/26
• 分類號(hào): G01R31/26;G01R31/28
• 代理公司: 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 劉昌榮

本發(fā)明提供一種輔助WAT生產(chǎn)監(jiān)控的方法，持續(xù)獲取多個(gè)WAT機(jī)臺(tái)的測(cè)試信息、機(jī)臺(tái)狀態(tài)以及置于WAT機(jī)臺(tái)中晶圓的lot信息；將多個(gè)WAT機(jī)臺(tái)的測(cè)試信息、機(jī)臺(tái)狀態(tài)以及置于WAT機(jī)臺(tái)中的lot信息整合至顯示界面，顯示界面用于顯示每個(gè)WAT機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的測(cè)試信息、機(jī)臺(tái)狀態(tài)以及l(fā)ot信息；根據(jù)顯示界面篩選出符合設(shè)置條件的WAT機(jī)臺(tái)中的lot信息。本發(fā)明的方法可監(jiān)控WAT機(jī)臺(tái)測(cè)試lot狀態(tài)，幫助判斷待測(cè)lot測(cè)試順序，提高了監(jiān)控效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種輔助WAT生產(chǎn)監(jiān)控的方法及裝置。

背景技術(shù)

WAT是英文Wafer Acceptance Test的縮寫，意思是晶圓接受測(cè)試，業(yè)界也稱WAT為工藝控制監(jiān)測(cè)(Process Control Monitor，PCM)。WAT是在晶圓產(chǎn)品流片結(jié)束之后和品質(zhì)檢驗(yàn)之前，測(cè)量特定測(cè)試結(jié)構(gòu)的電性參數(shù)。WAT的目的是通過測(cè)試晶圓上特定測(cè)試結(jié)構(gòu)的電性參數(shù)，檢測(cè)每片晶圓產(chǎn)品的工藝情況，評(píng)估半導(dǎo)體制造過程的質(zhì)量和穩(wěn)定性，判斷晶圓產(chǎn)品是否符合該工藝技術(shù)平臺(tái)的電性規(guī)格要求。WAT數(shù)據(jù)可以作為晶圓產(chǎn)品交貨的質(zhì)量憑證，另外WAT數(shù)據(jù)還可以反映生產(chǎn)線的實(shí)際生產(chǎn)情況，通過收集和分析WAT數(shù)據(jù)可以監(jiān)測(cè)生產(chǎn)線的情況，也可以判斷生產(chǎn)線變化的趨勢(shì)，對(duì)可能發(fā)生的情況進(jìn)行預(yù)警。

WAT測(cè)試可以分為inline(在線)WAT、Final(最終)WAT。Inline WAT是在inter-metal(金屬間化合物)階段對(duì)器件做測(cè)試，F(xiàn)inal WAT是在晶圓整個(gè)制程完成后對(duì)器件進(jìn)行測(cè)試。

現(xiàn)有技術(shù)中查看線上lot測(cè)試信息(如測(cè)試lot使用的探針卡，測(cè)試時(shí)間，預(yù)計(jì)結(jié)束時(shí)間等)需要逐個(gè)機(jī)臺(tái)查看；機(jī)臺(tái)逐漸增多，人為逐個(gè)機(jī)臺(tái)查詢較浪費(fèi)人力。

為此，需要一種輔助WAT生產(chǎn)監(jiān)控的方法快速查看所有WAT機(jī)臺(tái)信息(如機(jī)臺(tái)狀況、使用探針卡，測(cè)試lot信息)和待測(cè)lot的信息。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于提供一種輔助WAT生產(chǎn)監(jiān)控的方法，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中查看線上lot測(cè)試信息需要逐個(gè)機(jī)臺(tái)查看；機(jī)臺(tái)逐漸增多，人為逐個(gè)機(jī)臺(tái)查詢較浪費(fèi)人力的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本發(fā)明提供一種輔助WAT生產(chǎn)監(jiān)控的方法，包括：

步驟一、持續(xù)獲取多個(gè)WAT機(jī)臺(tái)的測(cè)試信息、機(jī)臺(tái)狀態(tài)以及置于所述WAT機(jī)臺(tái)中的lot信息；

步驟二、將多個(gè)所述WAT機(jī)臺(tái)的所述測(cè)試信息、所述機(jī)臺(tái)狀態(tài)以及置于所述WAT機(jī)臺(tái)中的所述lot信息整合至顯示界面，所述顯示界面用于顯示每個(gè)所述WAT機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的所述測(cè)試信息、所述機(jī)臺(tái)狀態(tài)以及所述lot信息；

步驟三、根據(jù)所述顯示界面篩選出符合設(shè)置條件的所述WAT機(jī)臺(tái)中的所述lot信息。

優(yōu)選地，步驟一中的所述測(cè)試信息包括每個(gè)所述WAT機(jī)臺(tái)的編號(hào)、每組所述lot的編號(hào)、探針卡、測(cè)試條件、每組所述lot的開始測(cè)試時(shí)間以及預(yù)計(jì)測(cè)試時(shí)間、每組所述lot的需測(cè)試的晶圓片數(shù)以及已測(cè)試晶圓片數(shù)。

優(yōu)選地，步驟二和步驟三中根據(jù)每個(gè)所述WAT機(jī)臺(tái)的編號(hào)按順序排列顯示在所述顯示界面。

優(yōu)選地，步驟一中所述測(cè)試信息由所述WAT機(jī)臺(tái)的EST_Info.txt文件獲取。

優(yōu)選地，步驟一中所述機(jī)臺(tái)狀態(tài)和所述lot信息均由制造執(zhí)行系統(tǒng)獲取。

優(yōu)選地，步驟一中的所述機(jī)臺(tái)狀態(tài)包括閑置、正常運(yùn)轉(zhuǎn)、維修、等待和檢測(cè)中。

優(yōu)選地，步驟三中所述WAT機(jī)臺(tái)中無需測(cè)試的所述lot，則不顯示所述lot的編號(hào)。

優(yōu)選地，步驟一至三中的所述WAT機(jī)臺(tái)包括在線測(cè)試和最終測(cè)試。