[發明專利]一種用于隔離的閥板和驅動所述閥板的驅動裝置以及閥在審

申請號：	202210230295.6	申請日：	2022-03-09
公開（公告）號：	CN114607784A	公開（公告）日：	2022-06-10
發明（設計）人：	張少雷;宋艷鵬;韓永超	申請（專利權）人：	北京真空電子科技有限公司
主分類號：	F16K3/02	分類號：	F16K3/02;F16K3/30;F16K31/04
代理公司：	北京愛普納杰專利代理事務所(特殊普通合伙) 11419	代理人：	何自剛
地址：	100015 ***	國省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種用于隔離驅動述閥板裝置以及
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【說明書】：

一種用于隔離的閥板,包括用于密封待密封通道的工作面和沿遠離所述工作面的方向延伸的承載所述工作面的閥板本體，其特征在于，所述閥板本體包括具有從所述工作面向所述遠離方向逐漸變窄的截面的第一被驅動部分和安裝回復力為遠離待密封通道的第一回復裝置的第二被驅動部分，還涉及驅動裝置以及用于真空密封的閥。

技術領域

本發明涉及真空領域，特別是一種用于隔離的閥板，驅動所述閥板的驅動裝置，還涉及包含所述閥板的驅動裝置的閥。

背景技術

真空作為半導體行業的基礎，是絕大多數半導體工藝的基礎條件。有真空就涉及到真空密封的問題，真空插板閥就是真空密封常用的部件。真空插板閥常用在抽氣管道與真空泵隔離、腔室之間隔離等場景。

如圖1所示，現有的插板閥常用的結構基本為兩塊閥板1，2中間設置鋼珠3，通過改變鋼珠3在閥板1，2之間的位置從而改變兩塊閥板1，2之間的距離使閥板1，2壓緊閥體4從而實現密封，此種結構都是機械硬碰撞，從而振動大，噪音大。

在真空行業，真空密封是個永久的話題，真空閘閥也是真空密封的常用構件，目前的插板閥技術普遍存在外形尺寸大，閥板動作不平滑導致的噪音大、振動大等問題，對于一些精密半導體類設備，這些缺陷會導致設備整體外形尺寸增大、空間浪費、成本增高，最重要的是較大的震動會影響設備的工藝精度，拉低設備的整體工藝精度及水平。

現有技術插板閥閥門開閉行程大，從而閥的外形尺寸較大，而且現有的閥門機構導致閥門關閉和開啟的時候振動大、噪音大。基于上述問題本發明提出了一種機構緊湊，外形尺寸小的閘閥，并且閥門運動平滑，無沖擊、噪音小。

發明內容

針對上述現存的問題，本技術方案提出了一種用于真空密封的閘閥，該閘閥運動平順，密封良好，很好地解決了閥板開關動作時噪音大、振動大的問題，并且尺寸較小，在一些精度要求高，空間緊張的精密設備上尤其具有優勢。

因此本申請人提出如下解決方案：

一種用于隔離的閥板,包括用于密封待密封通道的工作面和沿遠離所述工作面的方向延伸的承載所述工作面的閥板本體，所述閥板本體包括具有從所述工作面向所述遠離方向逐漸變窄的截面的第一被驅動部分和安裝回復力為遠離待密封通道的第一回復裝置的第二被驅動部分，還包括向上傾斜的第三被驅動部分。

還涉及一種用于驅動所述閥板的驅動裝置，包括與所述第二被驅動部分配合的允許所述閥門擺動的導向裝置。

最好，所述導向裝置包括設置于驅動支架上的長孔和與兩端設置在所述長孔中的橫桿。

優選地，所述驅動支架包括設置了所述長孔的第一臂和第二臂，和連接所述第一臂和第二臂的連接部，該連接部設有與所述第一被驅動部分配合第一斜面。

最好，還包括壓緊所述閥板并的壓緊滑塊，所述壓緊滑塊設有與所述第一被驅動部分配合的第二斜面。

優選地，還包括具有使得所述壓緊滑塊遠離所述驅動支架的回復力的第二回復裝置。

最好，還包括設置于閥體上的用于與所述第三被驅動部分配合的球形凸起。

優選地，還包括與所述驅動支架并聯的電機。