[發明專利]含有聚酰亞胺的聚合物、正型感光性樹脂組成物、負型感光性樹脂組成物及圖案形成方法

在審

• 申請號: 202210219992.1
• 申請日: 2022-03-08
• 公開（公告）號: CN115044040A
• 公開（公告）日: 2022-09-13
• 發明（設計）人: 浦野宏之;飯尾匡史;竹村勝也
• 申請（專利權）人: 信越化學工業株式會社
• 主分類號: C08G73/10
• 分類號: C08G73/10;G03F7/039;G03F7/038;G03F7/004
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

1.一種聚合物，其特征為：

包含下列通式(1)表示的結構單元；

式中，X₁為4價的有機基團，Z₁為2價的有機基團，k＝1～3的整數。

2.根據權利要求1所述的聚合物，其中，該通式(1)表示的結構單元是下列通式(2)表示者；

式中，Z₂為2價的有機基團，X₁及k與上述相同。

3.根據權利要求1或2所述的聚合物，除了該通式(1)表示的結構單元以外，更包含下列通式(3)表示的結構單元；

式中，X₂為2價的有機基團，Z₁及k與上述相同。

4.根據權利要求3所述的聚合物，其中，該通式(3)表示的結構單元是下列通式(4)表示者；

式中，Z₂為2價的有機基團，X₂及k與上述相同。

5.一種正型感光性樹脂組成物，其特征為包含：

(A)根據權利要求1至4中任一項所述的聚合物；

(B)因為光而產生酸且使對于堿性水溶液的溶解速度增大的感光劑，是具有醌二疊氮結構的化合物；及

(D)溶劑。

6.根據權利要求5所述的正型感光性樹脂組成物，其中，該正型感光性樹脂組成物更包含下列(C)成分；

(C)選自借甲醛或甲醛-醇改性的氨基縮合物、平均1分子中具有2個以上的羥甲基或烷氧羥甲基的苯酚化合物、多元苯酚的羥基的氫原子取代成環氧丙基的化合物、多元苯酚的羥基的氫原子取代成下列式(C-1)表示的取代基的化合物、及含有2個以上的下列式(C-2)表示的具有環氧丙基的氮原子的化合物中的1種或2種以上的交聯劑；

式中，虛線表示鍵結，Rc表示碳數1～6的直鏈狀、分支狀、或環狀的烷基，s表示1或2。

7.一種負型感光性樹脂組成物，其特征為包含：

(A’)根據權利要求1至4中任一項所述的聚合物；

(B’)光酸產生劑；

(C)選自借甲醛或甲醛-醇改性的氨基縮合物、平均1分子中具有2個以上的羥甲基或烷氧羥甲基的苯酚化合物、多元苯酚的羥基的氫原子取代成環氧丙基的化合物、多元苯酚的羥基的氫原子取代成下列式(C-1)表示的取代基的化合物、及含有2個以上的下列式(C-2)表示的具有環氧丙基的氮原子的化合物中的1種或2種以上的交聯劑；及

(D)溶劑；

式中，虛線表示鍵結，Rc表示碳數1～6的直鏈狀、分枝狀、或環狀的烷基，s表示1或2。

8.一種圖案形成方法，其特征為包括下列步驟：

(1)形成步驟，將根據權利要求5或6所述的正型感光性樹脂組成物涂布于基板上，形成感光材皮膜；

(2)加熱步驟，將該感光材皮膜加熱；

(3)曝光步驟，間隔光掩膜以波長190～500nm的高能射線或電子束對該感光材皮膜進行曝光；及

(4)顯影步驟，使用堿性水溶液的顯影液進行顯影。

9.一種圖案形成方法，其特征為包括下列步驟：

(I)形成步驟，將根據權利要求7所述的負型感光性樹脂組成物涂布于基板上，形成感光材皮膜；

(II)加熱步驟，將該感光材皮膜加熱；

(III)曝光步驟，間隔光掩膜以波長190～500nm的高能射線或電子束對該感光材皮膜進行曝光；及

(IV)顯影步驟，使用堿性水溶液的顯影液進行顯影。

10.根據權利要求9所述的圖案形成方法，其中，在該曝光步驟(III)與該顯影步驟(IV)之間，更包括該感光材皮膜的曝光后加熱步驟。