[發明專利]一種基于石墨烯的鈮酸鋰薄膜寬帶模式濾波器

在審

• 申請號: 202210214533.4
• 申請日: 2022-03-07
• 公開（公告）號: CN114325933A
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發明（設計）人: 鈕云飛;儲濤
• 申請（專利權）人: 之江實驗室
• 主分類號: G02B6/12
• 分類號: G02B6/12
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 奚麗萍

1.一種基于石墨烯的鈮酸鋰薄膜寬帶模式濾波器，其特征在于，包括自下而上依次設置的硅襯底層、二氧化硅層、鈮酸鋰薄膜、石墨烯和聚甲基丙烯酸甲酯波導；所述石墨烯設置于所述聚甲基丙烯酸甲酯波導的中心位置為基模濾波器；所述石墨烯設置于所述聚甲基丙烯酸甲酯波導的邊緣位置為一階模濾波器。

2.如權利要求1所述的一種基于石墨烯的鈮酸鋰薄膜寬帶模式濾波器，其特征在于，所述基模濾波器的石墨烯數量為1，所述一階模濾波器中的石墨烯數量為2。

3.如權利要求2所述的一種基于石墨烯的鈮酸鋰薄膜寬帶模式濾波器，其特征在于，所述一階模濾波器中所述石墨烯以所述聚甲基丙烯酸甲酯波導中心線為軸成軸對稱分布。

4.如權利要求1所述的一種基于石墨烯的鈮酸鋰薄膜寬帶模式濾波器，其特征在于，所述基模濾波器中所述石墨烯的寬度小于所述聚甲基丙烯酸甲酯波導的寬度。

5.如權利要求1所述的一種基于石墨烯的鈮酸鋰薄膜寬帶模式濾波器，其特征在于，所述一階模濾波器中所述石墨烯的寬度小于所述聚甲基丙烯酸甲酯波導寬度的1/2，且所述石墨烯設置于靠近所述聚甲基丙烯酸甲酯波導的側邊。

6.如權利要求1所述的一種基于石墨烯的鈮酸鋰薄膜寬帶模式濾波器，其特征在于，所述石墨烯為矩形，所述石墨烯的厚度為0.34nm。

7.如權利要求1所述的一種基于石墨烯的鈮酸鋰薄膜寬帶模式濾波器，其特征在于，所述基模濾波器中所述石墨烯的寬度為300nm-1μm，所述聚甲基丙烯酸甲酯波導的厚度為500nm。

8.如權利要求1所述的一種基于石墨烯的鈮酸鋰薄膜寬帶模式濾波器，其特征在于，所述一階模濾波器中所述石墨烯的寬度為300nm，相鄰所述石墨烯的間距為3.5μm -6μm，所述聚甲基丙烯酸甲酯波導的厚度為1μm。

9.如權利要求1所述的一種基于石墨烯的鈮酸鋰薄膜寬帶模式濾波器，其特征在于，所述聚甲基丙烯酸甲酯波導的寬度為2μm-4.5μm。

10.如權利要求1所述的一種基于石墨烯的鈮酸鋰薄膜寬帶模式濾波器，其特征在于，所述鈮酸鋰薄膜的厚度為300nm，晶體切向為X切。

11.如權利要求1所述的一種基于石墨烯的鈮酸鋰薄膜寬帶模式濾波器，其特征在于，所述二氧化硅層的厚度為2μm。

12.如權利要求1所述的一種基于石墨烯的鈮酸鋰薄膜寬帶模式濾波器，其特征在于，所述硅襯底層厚度為0.5mm。