[發明專利]基于晶圓傳送監管控制方法、系統、計算機設備和存儲介質

有效

• 申請號: 202210208127.7
• 申請日: 2022-03-04
• 公開（公告）號: CN115220400B
• 公開（公告）日: 2023-04-11
• 發明（設計）人: 申國莉;繆峰
• 申請（專利權）人: 彌費科技（上海）股份有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418;H01L21/67
• 代理公司: 北京清大紫荊知識產權代理有限公司 11718
• 代理人: 黃貞君;鄭純

本發明提供了一種基于晶圓傳送監管控制方法、系統、計算機設備和存儲介質，屬于晶圓傳送控制領域，方法包括制造執行單元生成傳輸指令，傳輸指令包含多條命令，多條命令根據指令序列共同組成第一傳送路徑；物料管控單元接收根據指令序列發送的傳輸指令；物料管控單元獲取傳輸指令中目標晶圓的傳輸狀態信息；物流管控單元根據傳輸狀態信息對傳送信息中的第一傳送路徑進行調整，并生成目標晶圓的目標傳送路徑，根據指令序列將目標傳送路徑發送給物料搬運單元；控制物料搬運單元根據物流管控單元發送來的目標傳送路徑對目標晶圓進行搬運。通過本申請的處理方案，一次性傳輸多條指令，減少不同單元之間傳輸的交互時間及次數，提高程序處理速度。

技術領域

本發明涉及半導體晶圓傳送控制領域，具體涉及一種基于晶圓傳送監管控制方法、系統、計算機設備和存儲介質。

背景技術

半導體元件在制作過程中通常包含一系列工藝，上述工藝按照特定的順序且通常在特定的時間段內利用各種設備實現。晶圓制造廠(Fab)中的物料流系統的主要功能在于在正確時間點將晶圓傳送到每一設備上，并追蹤整個制造過程中晶圓的位置以及狀態。

自動化物料搬運系統(AutomatedMaterialHandingSystem，AMHS)由于相對手動裝置能更有效、一致、以及安全地實現自動化功能，因而近年來被廣泛地用于物料流系統中。

當晶圓傳送盒(Front?Opening?Unified?Pod，FOUP)欲傳送時，制造執行系統(Manufacturing?Execution?System，MES)將給出目標存儲柜(Destination?Stocker)，之后，制造執行系統向自動化物料搬運系統中的物料控制系統(Material?Control?System，MCS)發出傳送命令，后者接受命令后，通知傳送管理者執行該傳送。上述執行該傳送過程中，MES僅能將傳輸指令一條一條發送給MCS，MCS需要和MES多次進行交互，然而這需要較長時間周期且成本較大。

發明內容

因此，為了克服上述現有技術的缺點，本發明提供一種基于晶圓傳送監管控制方法、系統、計算機設備和存儲介質。

為了實現上述目的，本發明提供一種基于晶圓傳送監管控制方法，包括：制造執行單元生成傳輸指令，所述傳輸指令攜帶有目標晶圓的傳送信息，傳輸指令包含多條命令，多條命令根據指令序列共同組成第一傳送路徑；物料管控單元接收所述生產單元根據指令序列發送的所述傳輸指令；所述物料管控單元獲取所述傳輸指令中所述目標晶圓的傳輸狀態信息；所述物料管控單元根據所述傳輸狀態信息對所述傳送信息中的第一傳送路徑進行調整，并生成所述目標晶圓的目標傳送路徑，根據指令序列將目標傳送路徑發送給物料搬運單元；控制物料搬運單元根據所述物料管控單元發送來的目標傳送路徑對目標晶圓進行搬運。

在其中一個實施例中，所述根據所述傳輸狀態信息對所述傳送信息中的第一傳送路徑進行調整，并生成所述目標晶圓的目標傳送路徑，包括：識別所述傳送信息中攜帶所述目標晶圓的第一傳送路徑、初始儲存位置以及目的儲存位置；獲取由所有儲存位置映射的路由節點列表，所述路由節點列表攜帶有與所述儲存位置對應的路由節點的屬性信息，所述屬性信息包括存儲狀態信息和權重；基于所述存儲狀態信息從所述路由節點列表中篩選可暫時存儲所述目標晶圓的傳送路由節點；根據所述傳送路由節點確定所述初始儲存位置以及所述目的儲存位置的第二傳送路徑，所述第二傳送路徑攜帶有各所述傳送路由節點的當前等待時間和預估當前轉移時間；將該第二傳送路徑與所述第一傳送路徑進行比對，生成所述目標晶圓的目標傳送路徑。

在其中一個實施例中，所述基于所述存儲狀態信息從所述路由節點列表中篩選可暫時存儲所述目標晶圓的傳送路由節點，包括：獲取所述路由節點列表中狀態為肯定狀態的各所述路由節點的排隊晶圓清單以及預設存儲閾值；根據所述預設存儲閾值、所述目標晶圓以及所述晶圓清單中的排隊晶圓確定可暫時存儲所述目標晶圓的傳送路由節點，并將不可存儲所述目標晶圓的路由節點在預設次數的傳送周次中的狀態設置為否定狀態。