[發明專利]刻蝕終點檢測方法及裝置

在審

• 申請號: 202210204493.5
• 申請日: 2022-03-02
• 公開（公告）號: CN114582700A
• 公開（公告）日: 2022-06-03
• 發明（設計）人: 常曉陽;王新河;林曉陽;趙巍勝
• 申請（專利權）人: 北京航空航天大學
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/66;H01J37/244
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 葉明川;董驍毅

1.一種刻蝕終點檢測方法，其特征在于，包括：

根據刻蝕脈沖信號的上升沿、光譜儀積分時間和光譜儀信號確定正向光譜積分數據；

根據刻蝕脈沖信號的下降沿、所述光譜儀積分時間和所述光譜儀信號確定負向光譜積分數據；

根據所述正向光譜積分數據和所述負向光譜積分數據確定目標光譜信號數據；

根據所述目標光譜信號數據檢測刻蝕終點。

2.根據權利要求1所述的刻蝕終點檢測方法，其特征在于，還包括：

根據光譜儀最小積分時間、刻蝕脈沖正向周期和刻蝕脈沖負向周期確定所述光譜儀積分時間。

3.根據權利要求2所述的刻蝕終點檢測方法，其特征在于，根據光譜儀最小積分時間、刻蝕脈沖正向周期和刻蝕脈沖負向周期確定所述光譜儀積分時間包括：

根據刻蝕脈沖正向周期與刻蝕脈沖負向周期的比較結果確定目標刻蝕脈沖周期；

根據所述目標刻蝕脈沖周期與所述光譜儀最小積分時間的比較結果確定所述光譜儀積分時間。

4.根據權利要求3所述的刻蝕終點檢測方法，其特征在于，根據所述目標刻蝕脈沖周期與所述光譜儀最小積分時間的比較結果確定所述光譜儀積分時間包括：

當所述光譜儀最小積分時間小于或等于所述目標刻蝕脈沖周期時，根據所述目標刻蝕脈沖周期確定所述光譜儀積分時間；

當所述光譜儀最小積分時間大于所述目標刻蝕脈沖周期時，根據所述光譜儀最小積分時間和所述目標刻蝕脈沖周期確定周期系數，根據所述周期系數和所述目標刻蝕脈沖周期確定所述光譜儀積分時間。

5.一種刻蝕終點檢測裝置，其特征在于，包括：

正向光譜積分數據模塊，用于根據刻蝕脈沖信號的上升沿、光譜儀積分時間和光譜儀信號確定正向光譜積分數據；

負向光譜積分數據模塊，用于根據刻蝕脈沖信號的下降沿、所述光譜儀積分時間和所述光譜儀信號確定負向光譜積分數據；

目標光譜信號數據模塊，用于根據所述正向光譜積分數據和所述負向光譜積分數據確定目標光譜信號數據；

刻蝕終點檢測模塊，用于根據所述目標光譜信號數據檢測刻蝕終點。

6.根據權利要求5所述的刻蝕終點檢測裝置，其特征在于，還包括：

光譜儀積分時間模塊，用于根據光譜儀最小積分時間、刻蝕脈沖正向周期和刻蝕脈沖負向周期確定所述光譜儀積分時間。

7.根據權利要求6所述的刻蝕終點檢測裝置，其特征在于，所述光譜儀積分時間模塊包括：

目標刻蝕脈沖周期單元，用于根據刻蝕脈沖正向周期與刻蝕脈沖負向周期的比較結果確定目標刻蝕脈沖周期；

光譜儀積分時間單元，用于根據所述目標刻蝕脈沖周期與所述光譜儀最小積分時間的比較結果確定所述光譜儀積分時間。

8.根據權利要求7所述的刻蝕終點檢測裝置，其特征在于，所述光譜儀積分時間單元具體用于：

當所述光譜儀最小積分時間小于或等于所述目標刻蝕脈沖周期時，根據所述目標刻蝕脈沖周期確定所述光譜儀積分時間；

當所述光譜儀最小積分時間大于所述目標刻蝕脈沖周期時，根據所述光譜儀最小積分時間和所述目標刻蝕脈沖周期確定周期系數，根據所述周期系數和所述目標刻蝕脈沖周期確定所述光譜儀積分時間。

9.一種計算機設備，包括存儲器、處理器及存儲在存儲器上并在處理器上運行的計算機程序，其特征在于，所述處理器執行所述計算機程序時實現權利要求1至4任一項所述的刻蝕終點檢測方法的步驟。

10.一種計算機可讀存儲介質，其上存儲有計算機程序，其特征在于，所述計算機程序被處理器執行時實現權利要求1至4任一項所述的刻蝕終點檢測方法的步驟。