[發明專利]一種二維壓電對稱驅動微納定位平臺

在審

• 申請號: 202210200095.6
• 申請日: 2022-03-02
• 公開（公告）號: CN114567204A
• 公開（公告）日: 2022-05-31
• 發明（設計）人: 黃衛清;廉鈞凱;安大偉
• 申請（專利權）人: 廣州大學
• 主分類號: H02N2/02
• 分類號: H02N2/02;H02N2/04
• 代理公司: 北京八月瓜知識產權代理有限公司 11543
• 代理人: 秦瑩

1.一種二維壓電對稱驅動微納定位平臺，其特征在于，包括：X方向驅動單元(5)、Y方向驅動單元(11)和連接組件；所述X方向驅動單元(5)和所述Y方向驅動單元(11)通過所述連接組件在豎直方向連接；

所述X方向驅動單元(5)包括：工作平臺(4)和兩個第一橋式位移放大機構(6)，兩個所述第一橋式位移放大機構(6)對稱串聯設置在所述工作平臺(4)的兩端；

所述Y方向驅動單元(11)包括：連接梁(9)和兩個第二橋式位移放大機構(12)，兩個所述第二橋式位移放大機構(12)對稱串聯設置在所述連接梁(9)的兩端；

所述工作平臺(4)和所述連接梁(9)平行正交。

2.根據權利要求1所述的二維壓電對稱驅動微納定位平臺，其特征在于，所述第一橋式位移放大機構(6)包括：壓電疊堆(3)、兩個彈性梁(13)和第一連接孔(2)；所述兩個彈性梁(13)對稱設置在所述壓電疊堆(3)的兩側；所述工作平臺(4)與其中一個所述彈性梁(13)連接，所述第一連接孔(2)設置在另一個所述彈性梁(13)的一側。

3.根據權利要求2所述的二維壓電對稱驅動微納定位平臺，其特征在于，所述第一橋式位移放大機構(6)還包括調整螺栓(8)，所述調整螺栓(8)與所述壓電疊堆(3)的一端連接。

4.根據權利要求1所述的二維壓電對稱驅動微納定位平臺，其特征在于，所述第二橋式位移放大機構(12)包括：壓電疊堆(3)、兩個彈性梁(13)和固定孔(10)；所述兩個彈性梁(13)對稱設置在所述壓電疊堆(3)的兩側；所述連接梁(9)與其中一個所述彈性梁(13)連接，所述固定孔(10)設置在另一個所述彈性梁(13)的一側。

5.根據權利要求4所述的二維壓電對稱驅動微納定位平臺，其特征在于，所述第二橋式位移放大機構(12)還包括調整螺栓(8)，所述調整螺栓(8)與所述壓電疊堆(3)的一端連接。

6.根據權利要求4所述的二維壓電對稱驅動微納定位平臺，其特征在于，所述固定孔(10)通過螺栓(1)與基座固定連接。

7.根據權利要求2所述的二維壓電對稱驅動微納定位平臺，其特征在于，所述連接梁(9)的兩端分別設置有一個第二連接孔(7)。

8.根據權利要求7所述的二維壓電對稱驅動微納定位平臺，其特征在于，所述連接組件為螺栓(1)，所述螺栓(1)先后穿過所述第一連接孔(2)和所述第二連接孔(7)。

9.根據權利要求2或權利要求4所述的二維壓電對稱驅動微納定位平臺，其特征在于，所述壓電疊堆(3)的最大自由伸長行程是20μm。

10.根據權利要求1所述的二維壓電對稱驅動微納定位平臺，其特征在于，所述X方向驅動單元(5)和所述Y方向驅動單元(11)采用金屬制成。