[發明專利]一種適用性強的半導體測試設備

在審

• 申請號: 202210199176.9
• 申請日: 2022-03-02
• 公開（公告）號: CN114545188A
• 公開（公告）日: 2022-05-27
• 發明（設計）人: 董福國;張強
• 申請（專利權）人: 深圳市卓晶微智能機器人科技有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 北京恒泰銘睿知識產權代理有限公司 11642
• 代理人: 李曉春

本發明涉及半導體檢測技術領域，且公開了一種適用性強的半導體測試設備，包括鏡體和基座，所述鏡體的底端設置有基座，所述基座的頂端設置有檢測托盤，檢測托盤受到晶片重量的下壓自動沉，檢測托盤下壓底端的活塞罐，使得活塞罐內部的清洗液通過噴水管噴灑在檢測托盤的內部，直至檢測托盤下沉到底端，使得引流管插入排水閥內部，同時檢測托盤的另一側下壓底端的聯動液壓柱，使得聯動推桿延展向前推動側向護板貼靠在檢測托盤，同時加壓風機同步啟動，使得半導體晶片表面殘留清洗液在高速氣流推動下快速脫落，使得半導體晶片表面無任何殘留液體，同時將表面的塵埃同步沖刷干凈，從而達到了自動清潔半導體表面。

技術領域

本發明涉及半導體檢測技術領域，具體為一種適用性強的半導體測試設備。

背景技術

現有的半導體檢測試設備需要使用顯微鏡才能觀測到半導體的結構是否存在缺陷，因此測試過程中需要顯微鏡觀測半導體晶片，在觀測時需要保證半導體表面無指紋，無損傷，同時半導體表面需要保持無塵狀態，而傳統顯微鏡缺乏清潔設備，對半導體進行檢測前需要預處理，處理后在運輸的過程中容易造成二次污染，影響設備半導體的檢測效果。

發明內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本發明提供了一種適用性強的半導體測試設備，具備自動清潔半導體表面的優點，解決了半導體測試前需要進行預處理，在運輸的過程中對半導體二次污染，影響設備半導體的檢測效果的問題。

(二)技術方案

為實現上述自動清潔半導體表面目的，本發明提供如下技術方案：一種適用性強的半導體測試設備，包括鏡體和基座，所述鏡體的底端設置有基座，所述基座的頂端設置有檢測托盤，所述檢測托盤的前端表面設置有引導傳送帶，所述檢測托盤的一側表面側向護板，所述基座的一側設置有儲水盒。

優選的，所述鏡體的頂端設置有觀察鏡，所述鏡體的底端設置與目鏡，所述鏡體通過數據線與外部顯示器連接，所述通過顯示器可實時觀測目鏡的檢測狀態。

優選的，所述基座的一側設置有電源開關，所述基座的前端表面設置有控制開關，所述控制開關與引導傳送帶電性連接，且通過控制開關控制引導傳送帶輸送速度。

優選的，所述檢測托盤的內部設置有排水閥，所述檢測托盤的頂端設置有噴水管，所述噴水管的一側設置有聯動液壓柱，所述檢測托盤的底端設置有活塞罐，所述活塞罐一側設置有廢水罐，所述廢水罐的頂端連接有引流管，所述檢測托盤通過排水閥與引流管結合將盤內部廢水排除，且通過引流管將廢水導入廢水罐的內部。

優選的，所述引導傳送帶的后端設置清潔軟布，所述引導傳送帶的一側設置有驅動電機，所述驅動電機的轉速可根據引導傳送帶的移速要求調節。

優選的，所述儲水盒的頂端設置有注水斗，所述注水斗的底端設置有進水泵，所述進水泵的前端設置輸水管，所述輸水管與檢測托盤底端的活塞罐固定連接。

優選的，所述側向護板的頂端設置有排氣孔，所述側向護板的后端設置有聯動推桿，所述聯動推桿的頂端設置有加壓風機，所述加壓風機與側向護板通過伸縮軟管固定連接，所述聯動推桿通過液壓管與聯動液壓柱之間連通。

優選的，所述噴水管的頂端設置有噴灑頭，所述噴灑頭的表面設置有壓水蓋，所述壓水蓋的后端設置有阻尼柱。

(三)有益效果

與現有技術相比，本發明提供了一種適用性強的半導體測試設備，具備以下有益效果：