[發(fā)明專利]一種非接觸式金屬表面非導(dǎo)電覆蓋層厚度測(cè)量方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210188561.3
• 申請(qǐng)日: 2022-02-28
• 公開（公告）號(hào): CN114383493A
• 公開（公告）日: 2022-04-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王飛;趙川梅;馬馳;杜壽兵;李代生
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國工程物理研究院總體工程研究所
• 主分類號(hào): G01B7/06
• 分類號(hào): G01B7/06
• 代理公司: 北京天奇智新知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11340
• 代理人: 葉明博

1.一種非接觸式金屬表面非導(dǎo)電覆蓋層厚度測(cè)量方法，其特征在于，包括以下步驟：

將檢測(cè)線圈靠近被測(cè)金屬表面設(shè)置；

測(cè)試獲得檢測(cè)線圈自身電感值L；

通過檢測(cè)線圈工作參數(shù)設(shè)計(jì)，使得在量程范圍內(nèi)d值與d₀呈線性關(guān)系，通過下部方程計(jì)算檢測(cè)線圈與金屬基底之間的距離d：

d＝k·L+d₀ (1)

其中，k，d₀均為方程系數(shù)，為通過工程標(biāo)定獲得；

檢測(cè)線圈與金屬基底之間的電容值C為檢測(cè)線圈與腐蝕層表面之間空氣電容值C₂和腐蝕層電容值C₁串聯(lián)獲得，根據(jù)電容串聯(lián)方程，有：

根據(jù)平板電容公式將上式中的C₁和C₂用腐蝕層厚度d₁和空氣層厚度d₂表達(dá)有：

其中，ε₀＝8.854187818×10^-12F/m,為真空介電常數(shù)；ε_r1,ε_r2為材料相對(duì)介電常數(shù)；S為檢測(cè)線圈在金屬基底上的投影面積；

根據(jù)尺寸鏈關(guān)系，有：

d＝d₁+d₂ (4)

聯(lián)立三個(gè)方程(1)、(3)、(4)，分別求得d₁,d₂，其中求得以L、C來表達(dá)d₁的表達(dá)式為：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種非接觸式金屬表面非導(dǎo)電覆蓋層厚度測(cè)量方法，其特征在于，測(cè)量時(shí)，檢測(cè)線圈與被測(cè)金屬表面之間間距小于0.2mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種非接觸式金屬表面非導(dǎo)電覆蓋層厚度測(cè)量方法，其特征在于，檢測(cè)線圈的外徑大于5mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種非接觸式金屬表面非導(dǎo)電覆蓋層厚度測(cè)量方法，其特征在于，檢測(cè)線圈的厚度小于0.3mm。