[發(fā)明專(zhuān)利]三維存儲(chǔ)器及其制作方法、存儲(chǔ)系統(tǒng)及電子設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210188480.3
• 申請(qǐng)日: 2022-02-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114551471A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-05-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李倩;伍術(shù);肖亮
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L27/11582
• 分類(lèi)號(hào): H01L27/11582;H01L27/1157;G11C5/02
• 代理公司: 深圳紫藤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 李鎮(zhèn)江

1.一種三維存儲(chǔ)器的制作方法，其特征在于，包括：

在襯底上形成疊層結(jié)構(gòu)；

形成溝道孔，所述溝道孔貫穿所述疊層結(jié)構(gòu)，并延伸至所述襯底內(nèi)；

在所述溝道孔的底部形成阻擋層；

在所述溝道孔中，形成位于所述阻擋層上的溝道結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維存儲(chǔ)器的制作方法，其特征在于，所述在所述溝道孔的底部形成阻擋層，具體包括：

在露出于所述溝道孔的底部的所述襯底表面上生長(zhǎng)阻擋層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維存儲(chǔ)器的制作方法，其特征在于，所述在所述溝道孔的底部形成阻擋層，具體包括：

對(duì)露出于所述溝道孔的底部的所述襯底表面進(jìn)行氧化處理而形成氧化物，所述氧化物從所述襯底中未被氧化的剩余襯底向所述溝道孔的底部?jī)?nèi)的方向延伸，以形成所述阻擋層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維存儲(chǔ)器的制作方法，其特征在于，所述在襯底上形成疊層結(jié)構(gòu)，具體包括：

在襯底上形成犧牲層；

在所述犧牲層上形成疊層結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的三維存儲(chǔ)器的制作方法，其特征在于，所述阻擋層相對(duì)于所述溝道孔底表面的高度不大于所述犧牲層相對(duì)于所述溝道孔底表面的高度。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的三維存儲(chǔ)器的制作方法，其特征在于，所述在所述溝道孔中，形成位于所述阻擋層上的溝道結(jié)構(gòu)，具體包括：

在所述溝道孔的側(cè)壁和所述阻擋層的表面上形成包括溝道層的溝道結(jié)構(gòu)；

且在所述溝道孔中，形成位于所述阻擋層上的溝道結(jié)構(gòu)之后，還包括：

去除所述襯底和所述阻擋層，并露出所述溝道層的端部；

形成覆蓋且連接所述溝道層的端部的共源極層。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的三維存儲(chǔ)器的制作方法，其特征在于，所述溝道結(jié)構(gòu)還包括存儲(chǔ)功能層，所述存儲(chǔ)功能層和所述溝道層依次形成于所述溝道孔的側(cè)壁和所述阻擋層的表面上，且所述去除所述襯底和所述阻擋層，并露出所述溝道層的端部，具體包括：

去除所述襯底和所述阻擋層，以露出所述犧牲層以及所述溝道結(jié)構(gòu)的端部；

去除所述犧牲層以及所述溝道結(jié)構(gòu)的端部中的存儲(chǔ)功能層，以露出所述溝道層的端部。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的三維存儲(chǔ)器的制作方法，其特征在于，在所述犧牲層上形成疊層結(jié)構(gòu)之前，還包括：

在所述犧牲層上形成停止層，所述疊層結(jié)構(gòu)位于所述停止層上，所述溝道孔貫穿所述停止層；

所述去除所述犧牲層以及所述溝道結(jié)構(gòu)的端部中的存儲(chǔ)功能層，以露出所述溝道層的端部，具體包括：

以所述停止層為刻蝕停止層，相對(duì)于所述溝道層，選擇性刻蝕去除所述犧牲層以及所述溝道結(jié)構(gòu)的端部中的存儲(chǔ)功能層，以露出所述停止層以及所述溝道層的端部。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維存儲(chǔ)器的制作方法，其特征在于，所述在襯底上形成疊層結(jié)構(gòu)，具體包括：

在襯底上形成第一堆棧結(jié)構(gòu)；

形成第一溝道孔，所述第一溝道孔貫穿所述第一堆棧結(jié)構(gòu)，并延伸至所述襯底內(nèi)；

在所述第一溝道孔中形成犧牲材料層；

在所述第一堆棧結(jié)構(gòu)和所述犧牲材料層上形成第二堆棧結(jié)構(gòu)，以得到包括所述第一堆棧結(jié)構(gòu)和所述第二堆棧結(jié)構(gòu)的疊層結(jié)構(gòu)；

所述在疊層結(jié)構(gòu)中形成溝道孔，具體包括：

形成貫穿所述第二堆棧結(jié)構(gòu)的第二溝道孔，所述第二溝道孔暴露出所述犧牲材料層；

經(jīng)由所述第二溝道孔去除所述犧牲材料層，以得到包括所述第一溝道孔和所述第二溝道孔的溝道孔。