[發(fā)明專利]在線高空間和時(shí)間分辨極紫外輻照損傷泵浦-探測(cè)系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210185571.1
• 申請(qǐng)日: 2022-02-28
• 公開（公告）號(hào): CN114527057A
• 公開（公告）日: 2022-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李文斌;潘劉洋;李淑慧;馬彬;王占山
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 同濟(jì)大學(xué)
• 主分類號(hào): G01N17/00
• 分類號(hào): G01N17/00;G01B11/28
• 代理公司: 上海科盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31225
• 代理人: 翁惠瑜

1.一種在線高空間和時(shí)間分辨極紫外輻照損傷泵浦-探測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，包括激光光源組件(1)、激光等離子體光源組件(2)、極紫外納秒泵浦光路組件(3)、紅外飛秒探測(cè)成像光路組件(5)和激光延時(shí)探測(cè)組件(6)，所述激光等離子體光源組件(2)和極紫外納秒泵浦光路組件(3)形成用于放置樣品(803)的真空腔體，其中，

所述激光光源組件(1)包括紅外飛秒激光器(101)和紅外納秒激光器(104)，所述紅外飛秒激光器(101)和紅外納秒激光器(104)基于設(shè)定時(shí)序控制產(chǎn)生紅外飛秒探測(cè)激光和紅外納秒泵浦光，所述紅外納秒泵浦光依次經(jīng)激光等離子體光源組件(2)和極紫外納秒泵浦光路組件(3)后，產(chǎn)生極紫外納秒泵浦光并輻照樣品(803)，形成損傷區(qū)，所述紅外飛秒探測(cè)光經(jīng)紅外飛秒探測(cè)成像光路組件(5)后，輻照樣品(803)的損傷區(qū)，損傷區(qū)的散射光經(jīng)極紫外納秒泵浦光路組件(3)和紅外飛秒探測(cè)成像光路組件(5)實(shí)現(xiàn)成像，獲得樣品損傷區(qū)域形貌圖；

所述激光延時(shí)探測(cè)組件(6)分別連接激光等離子體光源組件(2)和紅外飛秒探測(cè)成像光路組件(5)，測(cè)量飛秒探測(cè)激光電信號(hào)和納秒泵浦光電信號(hào)的時(shí)間抖動(dòng)均方根誤差，獲得系統(tǒng)的時(shí)間分辨率。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在線高空間和時(shí)間分辨極紫外輻照損傷泵浦-探測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述激光光源組件(1)還包括相連接的兩個(gè)脈沖信號(hào)發(fā)生器，各所述脈沖信號(hào)發(fā)生器分別對(duì)應(yīng)連接紅外飛秒激光器(101)和紅外納秒激光器(104)，所述脈沖信號(hào)發(fā)生器與紅外飛秒探測(cè)成像光路組件(5)連接，以觸發(fā)成像。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的在線高空間和時(shí)間分辨極紫外輻照損傷泵浦-探測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述脈沖信號(hào)發(fā)生器為DG645脈沖信號(hào)發(fā)生器，所述紅外飛秒激光器(101)為Ti:Sapphire紅外飛秒激光器，所述紅外納秒激光器(104)為Nd:YAG紅外納秒激光器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在線高空間和時(shí)間分辨極紫外輻照損傷泵浦-探測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述激光等離子體光源組件(2)包括用于放置靶材(208)的靶材真空腔室(201)，該靶材真空腔室(201)外設(shè)置第一高反鏡(202)和第一分光鏡(203)，靶材真空腔室(201)內(nèi)設(shè)置有聚焦鏡(205)和平板石英玻璃(206)，靶材真空腔室(201)的腔壁上開設(shè)有多個(gè)安裝有第一石英玻璃窗(204)的通孔，所述紅外納秒激光器(104)發(fā)出的紅外納秒泵浦光依次經(jīng)第一高反鏡(202)、第一分光鏡(203)、第一石英玻璃窗(204)、聚焦鏡(205)和平板石英玻璃(206)聚焦于可旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的靶材(208)上，產(chǎn)生激光等離子體光源。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的在線高空間和時(shí)間分辨極紫外輻照損傷泵浦-探測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述極紫外納秒泵浦光路組件(3)包括用于放置樣品(803)的物鏡腔室(302)，該物鏡腔室(302)與靶材真空腔室(201)連通，形成所述真空腔體，物鏡腔室(302)內(nèi)設(shè)置有改進(jìn)型施瓦茲希爾德物鏡(301)、反射鏡(303)和鋯濾片(304)，所述激光等離子體光源依次經(jīng)鋯濾片(304)、反射鏡(303)和改進(jìn)型施瓦茲希爾德物鏡(301)后，聚焦于樣品(803)表面，所述反射鏡(303)以半擋光的形式設(shè)置。