[發(fā)明專利]一種真空密封型光學鏡片調(diào)節(jié)裝置

在審

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• 申請日: 2022-02-25
• 公開（公告）號: CN114296202A
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發(fā)明（設計）人: 黃良玉;鮑江徽;江紫環(huán);賈方石;傅云清;姚科
• 申請（專利權）人: 復旦大學
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00;G02B7/20
• 代理公司: 上海德昭知識產(chǎn)權代理有限公司 31204
• 代理人: 程宗德

本發(fā)明提供了一種真空密封型光學鏡片調(diào)節(jié)裝置，設置在真空系統(tǒng)中的配套裝置上，用于安裝和調(diào)節(jié)光學鏡片，其特征在于，包括：鏡片安裝部，用于安裝光學鏡片，包括鏡片安裝板和緊固件；密封固定部，用于將鏡片安裝部安裝在真空系統(tǒng)中的配套裝置上，包括法蘭主板以及設置在法蘭主板上的透視窗和密封組件；以及調(diào)節(jié)部，用于調(diào)節(jié)光學鏡片的位置和角度，包括至少3個調(diào)節(jié)螺桿和至少2個拉力彈簧，其中，拉力彈簧的一端與鏡片安裝板連接，另一端與法蘭主板連接，調(diào)節(jié)螺桿可移動地穿設在法蘭主板上，一端與鏡片安裝板抵接，另一端用于供使用者在調(diào)節(jié)時捏握。

技術領域

本發(fā)明涉及光學領域，具體涉及一種真空密封型光學鏡片調(diào)節(jié)裝置。

背景技術

在使用激光裝置時，常常需要對真空環(huán)境中的光學鏡片進行多維調(diào)節(jié)。

在現(xiàn)有技術中，通常通過鏡架上的調(diào)節(jié)螺桿將光學鏡片調(diào)整好位置和角度后再進行真空密封，真空密封后不能再對光學鏡片進行二次調(diào)節(jié)，安裝有光學鏡片的鏡架放置在真空環(huán)境內(nèi)，整個鏡架需要滿足真空環(huán)境中材料放氣的要求，對材質(zhì)的要求較高，增加制造成本，且占據(jù)空間較大。

在現(xiàn)有技術中，若要實時調(diào)節(jié)真空環(huán)境中的光路，則需使用電動調(diào)節(jié)機構替代常規(guī)機械調(diào)節(jié)螺桿來調(diào)節(jié)真空環(huán)境中光學鏡片的角度和位置。此方式雖然可解決真空密封后鏡片的調(diào)節(jié)問題，但結構較為復雜，大幅度增加裝置的制造成本，占據(jù)空間較大，且同樣對材質(zhì)要求較高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是為了解決上述問題而進行的，目的在于提供一種真空密封型光學鏡片調(diào)節(jié)裝置。為此，本發(fā)明提供以下技術方案：

本發(fā)明提供了一種真空密封型光學鏡片調(diào)節(jié)裝置，設置在真空系統(tǒng)中的配套裝置上，用于安裝和調(diào)節(jié)光學鏡片，其特征在于，包括：鏡片安裝部，用于安裝光學鏡片，包括鏡片安裝板和緊固件；密封固定部，用于將鏡片安裝部安裝在真空系統(tǒng)中的配套裝置上，包括法蘭主板以及設置在法蘭主板上的透視窗和密封組件；以及調(diào)節(jié)部，用于調(diào)節(jié)光學鏡片的位置和角度，包括至少3個調(diào)節(jié)螺桿和至少2個拉力彈簧，其中，拉力彈簧的一端與鏡片安裝板連接，另一端與法蘭主板連接，調(diào)節(jié)螺桿可移動地穿設在法蘭主板上，一端與鏡片安裝板抵接，另一端用于供使用者在調(diào)節(jié)時捏握。

在本發(fā)明提供的真空密封型光學鏡片調(diào)節(jié)裝置中，還可以具有這樣的特征：其中，法蘭主板上開設有透視孔，透視窗包括窗口鏡片和窗口法蘭，窗口法蘭用于將窗口鏡片固定在透視孔內(nèi)。

在本發(fā)明提供的真空密封型光學鏡片調(diào)節(jié)裝置中，還可以具有這樣的特征：其中，窗口法蘭靠近法蘭主板的一側為經(jīng)過機械加工處理的光滑表面，真空密封方式為平面靜密封。

在本發(fā)明提供的真空密封型光學鏡片調(diào)節(jié)裝置中，還可以具有這樣的特征：其中，密封組件包括主板密封膠墊和窗口密封膠圈，主板密封膠墊設置在法蘭主板上，窗口密封膠圈設置在透視孔內(nèi)。

在本發(fā)明提供的真空密封型光學鏡片調(diào)節(jié)裝置中，還可以具有這樣的特征：其中，鏡片安裝板為矩形，拉力彈簧設置為4個，4個拉力彈簧分別安裝在鏡片安裝板的4個角部。

在本發(fā)明提供的真空密封型光學鏡片調(diào)節(jié)裝置中，還可以具有這樣的特征：其中，調(diào)節(jié)螺桿設置為3個，3個調(diào)節(jié)螺桿之間的距離都相等。

在本發(fā)明提供的真空密封型光學鏡片調(diào)節(jié)裝置中，還可以具有這樣的特征：其中，調(diào)節(jié)部還包括密封調(diào)節(jié)螺桿套，密封調(diào)節(jié)螺桿套穿設在法蘭主板上，用于與調(diào)節(jié)螺桿密封連接。

在本發(fā)明提供的真空密封型光學鏡片調(diào)節(jié)裝置中，還可以具有這樣的特征：其中，調(diào)節(jié)螺桿、密封調(diào)節(jié)螺桿套以及拉力彈簧沿垂直于法蘭主板的方向設置。

在本發(fā)明提供的真空密封型光學鏡片調(diào)節(jié)裝置中，還可以具有這樣的特征：其中，密封固定部還包括主板固定螺栓，法蘭主板通過主板固定螺栓可拆卸地連接在配套裝置上。

在本發(fā)明提供的真空密封型光學鏡片調(diào)節(jié)裝置中，還可以具有這樣的特征：其中，法蘭主板為不銹鋼材質(zhì)。