[發明專利]固體汽化器

在審

• 申請號: 202210179970.7
• 申請日: 2022-02-25
• 公開（公告）號: CN114959643A
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: B·卡多佐;J·托馬斯
• 申請（專利權）人: 恩特格里斯公司
• 主分類號: C23C16/448
• 分類號: C23C16/448;C23C16/50;C23C16/455
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 李婷

1.一種用于可汽化固體源材料的汽化器容器，其包含：

汽化器容器主體，其包括限定內部容積的內表面；

入口，其配置用于將載氣引入所述汽化器容器的所述內部容積，使所述載氣流過所述內部容積以與所述可汽化固體源材料接觸從而形成載氣/固體源蒸汽混合物；和

出口，其配置成允許從所述汽化器容器中排出所述載氣/固體源蒸汽混合物；以及

至少一個導熱試劑支撐面板，其位于所述內部容積內并在所述內表面處接合到所述汽化器容器主體，當所述汽化器容器主體定向為所述出口在縱向方向上處于所述容器的端部時，所述至少一個導熱試劑支撐面板中的每一個在水平方向上延伸穿過所述內部容積，使得所述可汽化固體源材料的至少一部分可以擱置在所述導熱試劑支撐面板上，在所述可汽化固體源材料的所述部分的上表面與所述汽化器容器的所述內表面或所述至少一個導熱試劑支撐面板中的另一個之間存在空隙空間，

其中所述至少一個導熱試劑支撐面板中的每一個通過導熱接頭接合到所述汽化器容器主體。

2.根據權利要求1所述的汽化器容器，其中所述汽化器容器包括多個所述導熱試劑支撐面板。

3.根據權利要求2所述的汽化器容器，其中所述多個導熱試劑支撐面板中的每一個各自彼此平行。

4.根據權利要求2所述的汽化器容器，其中所述多個導熱試劑支撐面板中的每一個從所述汽化器容器主體的所述內表面延伸到所述內部容積的中心線。

5.根據權利要求1所述的汽化器容器，其中所述至少一個導熱試劑支撐面板中的每一個通過多個所述導熱接頭接合到所述汽化器容器主體的所述內表面。

6.根據權利要求1所述的汽化器容器，其中開口包括填充端口，所述填充端口與所述導熱試劑支撐面板間隔開，使得所述填充端口與由所述至少一個導熱試劑支撐面板限定的所有空間連通。

7.一種填充用于可汽化固體源材料的汽化器容器的方法，

所述汽化器容器包括汽化器容器主體，所述汽化器容器主體包括：包括填充端口的端部；以及限定內部容積的內表面；以及

至少一個導熱試劑支撐面板，其位于所述內部容積內并在所述內表面處接合到所述汽化器容器主體，所述至少一個導熱試劑支撐面板中的每一個延伸穿過所述內部容積，

其中所述至少一個導熱試劑支撐面板中的每一個通過導熱接頭接合到所述汽化器容器主體，

所述方法包含：

定向所述汽化器容器，使得所述至少一個導熱試劑支撐面板中的每一個在豎直方向上延伸并且所述填充端口設置在所述汽化器容器的頂部；以及

借助于所述填充端口將至少一種可汽化固體源材料添加到所述汽化器容器的所述內部容積，使得在由所述至少一個導熱試劑支撐面板和所述內表面限定的每個空間中存在至少一種可汽化固體源材料。

8.根據權利要求7所述的方法，其中當所述至少一種可汽化固體源材料被添加到所述汽化器容器的所述內部容積時，所述至少一種可汽化固體源材料呈粉末形式。

9.一種汽化可汽化固體源材料的方法，其包含：

定向其中容納有固體的汽化器容器，所述汽化器容器包含：

汽化器容器主體，其包括限定內部容積的內表面；

入口；

出口；以及

至少一個導熱試劑支撐面板，其位于所述內部容積內并在所述內表面處接合到所述汽化器容器主體，所述至少一個導熱試劑支撐面板中的每一個延伸穿過所述內部容積；

其中所述汽化器容器定向為使得所述至少一個導熱試劑支撐面板中的每一個在水平方向上延伸，并且所述可汽化固體源材料的至少部分擱置在所述至少一個導熱試劑支撐面板中的一或多個上；

加熱所述汽化器容器主體，

借助于導熱接頭將熱量從所述汽化器容器主體轉移到所述至少一個導熱試劑支撐面板，其中所述至少一個導熱試劑支撐面板接合到所述汽化器容器主體的所述內表面，

將熱量從所述至少一個導熱試劑支撐面板中的每一個轉移到與所述導熱試劑支撐面板接觸的所述可汽化固體源材料，以汽化所述可汽化固體源材料。

10.根據權利要求9所述的方法，其進一步包含借助于所述出口從所述汽化器容器中提取包括至少一些所述可汽化固體源材料的蒸汽。