[發明專利]電池內部溫度測量的柔性薄膜傳感器、制備方法和電池在審
| 申請號： | 202210179913.9 | 申請日： | 2022-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN114636485A | 公開（公告）日： | 2022-06-17 |
| 發明（設計）人： | 張旻;馬天成 | 申請（專利權）人： | 清華大學深圳國際研究生院 |
| 主分類號： | G01K7/18 | 分類號： | G01K7/18;H01M10/48;H01M10/0525 |
| 代理公司： | 深圳新創友知識產權代理有限公司 44223 | 代理人： | 王震宇 |
| 地址： | 518055 廣東省深圳市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電池 內部 溫度 測量 柔性 薄膜 傳感器 制備 方法 | ||
1.一種用于電池內部溫度測量的柔性薄膜傳感器，其特征在于，包括金屬敏感層與上下兩層聚酰亞胺膜，所述金屬敏感層位于兩層聚酰亞胺膜之間，構成三疊層結構，其中所述金屬敏感層用于將電池內部的溫度變化轉化為電阻的變化，并通過電極引出，從而感知電池內部的溫度。
2.如權利要求1所述的柔性薄膜傳感器，其特征在于，所述金屬敏感層包括蛇形結構的金屬柵區。
3.如權利要求1至2任一項所述的柔性薄膜傳感器，其特征在于，所述金屬柵區中的單根金屬柵的柵長為5-10mm，柵寬為20-120μm，柵與柵之間的間隙為20-120μm，所述金屬柵區的總寬度為5-10mm。
4.如權利要求1至3任一項所述的柔性薄膜傳感器，其特征在于，所述金屬敏感層包括黏附在下層聚酰亞胺膜上的鉻層以及附著在所述鉻層上的溫度敏感金屬膜層。
5.如權利要求4所述的柔性薄膜傳感器，其特征在于，所述溫度敏感金屬膜層為金層或鉑層。
6.如權利要求5所述的柔性薄膜傳感器，其特征在于，所述鉻層的厚度為5nm-15nm，所述金層或鉑層的厚度為70nm-130nm。
7.如權利要求1至6任一項所述的柔性薄膜傳感器，其特征在于，下層聚酰亞胺薄膜的厚度為7-12μm，上層聚酰亞胺薄膜的厚度為3-6μm。
8.一種制備如權利要求1至7任一項所述的柔性薄膜傳感器的方法，其特征在于，包括：形成上下兩層聚酰亞胺膜和位于兩層聚酰亞胺膜之間的金屬敏感層的三疊層結構，其中所述金屬敏感層用于將電池內部的溫度變化轉化為電阻的變化，并通過電極引出，從而感知電池內部的溫度。
9.如權利要求8所述的方法，其特征在于，包括如下步驟：
形成下層聚酰亞胺膜；
在所述下層聚酰亞胺膜上蒸鍍金屬敏感層；
通過光刻工藝在所述金屬敏感層上方制作蛇形金屬層圖案；
通過濕法刻蝕將所述蛇形金屬層圖案轉移到所述金屬敏感層上；
在所述金屬敏感層上形成上層聚酰亞胺膜。
10.一種電池，其特征在于，包括設置在所述電池內部的如權利要求1至7任一項所述的柔性薄膜傳感器。
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