[發明專利]致動器在審
| 申請號： | 202210177825.5 | 申請日： | 2016-03-08 |
| 公開（公告）號： | CN114607701A | 公開（公告）日： | 2022-06-10 |
| 發明（設計）人： | 吉田達矢 | 申請（專利權）人： | 住友重機械工業株式會社 |
| 主分類號： | F16C29/02 | 分類號： | F16C29/02 |
| 代理公司： | 廣州三環專利商標代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝傳鑫 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 致動器 | ||
1.一種致動器，其具備：沿一個方向延伸的引導件；相對于該引導件能夠沿軸向移動的滑塊，所述致動器的特征在于，
所述引導件的至少一個面的一部分被開放，
所述滑塊構成為具有被多個排氣槽包圍且噴出壓縮氣體的空氣墊及用于驅動該滑塊的氣動伺服室，并且所述滑塊在相對于所述引導件浮起的狀態下被所述引導件引導，
所述引導件及所述滑塊由非磁性體材料制成。
2.根據權利要求1所述的致動器，其特征在于，
所述引導件具有凹形剖面，所述滑塊構成為受構成所述凹形剖面的三個面的約束，并且所述滑塊在相對于所述引導件浮起的狀態下被所述引導件引導。
3.根據權利要求1所述的致動器，其特征在于，
所述滑塊具有四方形剖面，所述滑塊構成為構成所述四方形剖面的多個面中的至少三個面被約束，并且所述滑塊在相對于所述引導件浮起的狀態下被所述引導件引導。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的致動器，其特征在于，
所述排氣槽包括沿所述軸向延伸的部分。
5.根據權利要求1所述的致動器，其特征在于，
所述滑塊具有四方形剖面，所述滑塊構成為構成所述四方形剖面的多個面中的四個面被約束，并且所述滑塊在相對于所述引導件浮起的狀態下被所述引導件引導。
6.一種致動器，其具備：沿一個方向延伸的引導件；相對于該引導件能夠沿軸向移動的滑塊，所述致動器的特征在于，
所述滑塊構成為，一個面被開放，并且具有被多個排氣槽包圍且噴出壓縮氣體的空氣墊及多個氣動伺服室，并且所述滑塊在相對于所述引導件浮起的狀態下被所述引導件引導，
所述引導件及所述滑塊由非磁性體材料制成。
7.根據權利要求6所述的致動器，其特征在于，
所述引導件具有方形剖面，所述滑塊具有凹形剖面，
所述引導件配置在所述滑塊的內表面側。
8.一種致動器，其具備：沿一個方向延伸的引導件；相對于該引導件能夠沿軸向移動的滑塊，所述致動器的特征在于，
所述引導件的至少一個面的一部分被開放，
所述滑塊構成為具有被多個排氣槽包圍且噴出壓縮氣體的空氣墊及多個氣動伺服室，并且所述滑塊在相對于所述引導件浮起的狀態下被所述引導件引導，
所述致動器還具備磁力機構，
所述引導件及所述滑塊由非磁性體材料制成。
9.一種致動器，其具備：沿一個方向延伸的引導件；相對于該引導件能夠沿軸向移動的滑塊，所述致動器的特征在于，
所述引導件的至少一個面的一部分被開放，
所述滑塊構成為具有被多個排氣槽包圍且噴出壓縮氣體的空氣墊及多個氣動伺服室，并且所述滑塊在相對于所述引導件浮起的狀態下被所述引導件引導，
該致動器還具備線性引導件機構，
所述引導件及所述滑塊由非磁性體材料制成。
10.一種載物臺裝置，其特征在于，
具備權利要求1至9中任一項所述的致動器。
11.一種曝光裝置，其特征在于，
具備權利要求10所述的載物臺裝置。
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