[發(fā)明專利]顯示面板及其制備方法、顯示裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202210172451.8 | 申請(qǐng)日： | 2022-02-24 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN114583091A | 公開（公告）日： | 2022-06-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉建欣 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L51/56 | 分類號(hào)： | H01L51/56;H01L51/50;H01L51/52;C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570 | 代理人： | 唐秀萍 |
| 地址： | 518132 廣東省深*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 顯示 面板 及其 制備 方法 顯示裝置 | ||
本申請(qǐng)公開了一種顯示面板及其制備方法、顯示裝置，所述顯示面板的制備方法，包括以下步驟：提供一基板；以及在所述基板上制備出OLED器件；其中，所述在所述基板上制備出OLED器件的步驟包括：采用同一張光罩在所述基板上制備出電子傳輸層和陰極層。本申請(qǐng)?zhí)岣呱a(chǎn)產(chǎn)能，降低生產(chǎn)成本。
技術(shù)領(lǐng)域
本申請(qǐng)涉及顯示領(lǐng)域，具體涉及一種顯示面板及其制備方法、顯示裝置。
背景技術(shù)
在AMOLED顯示屏制作過程中，即便是有噴墨打印技術(shù)，OLED器件里仍然包含了電子傳輸層(ETL)、陰極層(Cathode)兩層蒸鍍層，因此需要使用蒸鍍光罩來遮擋不需要蒸鍍的區(qū)域。因?yàn)殛帢O需要在非顯示區(qū)搭接到金屬走線上，所以兩者的蒸鍍光罩開口大小是不一樣的，需要首先用普通光罩(Common Mask)蒸鍍完電子傳輸層之后，卸下該光罩，裝載陰極光罩(Cathode Mask)并換蒸鍍腔后，再繼續(xù)蒸鍍陰極。光罩一卸一裝，非常浪費(fèi)時(shí)間，效能較低，導(dǎo)致產(chǎn)能瓶頸。
發(fā)明內(nèi)容
本申請(qǐng)的目的在于，提供一種顯示面板及其制備方法、顯示裝置，可以解決現(xiàn)有的顯示面板制程中電子傳輸層與陰極層的制備使用不同光罩蒸鍍，浪費(fèi)時(shí)間，效能較低，導(dǎo)致產(chǎn)能瓶頸等技術(shù)問題。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N顯示面板的制備方法，包括以下步驟：提供一基板；以及在所述基板上制備出OLED器件；其中，所述在所述基板上制備出OLED器件的步驟包括：采用同一張光罩在所述基板上制備出電子傳輸層和陰極層。
進(jìn)一步地，所述OLED器件包括顯示區(qū)以及圍繞所述顯示區(qū)的非顯示區(qū)；所述非顯示區(qū)包括搭接區(qū)，所述搭接區(qū)用以搭接陰極層與金屬走線。
進(jìn)一步地，所述采用同一張光罩在所述基板上制備出電子傳輸層和陰極層的步驟包括：采用一光罩蒸鍍出電子傳輸層；將蒸鍍裝置從所述顯示區(qū)移動(dòng)至所述搭接區(qū)，用以蒸鍍陰極層；采用所述光罩在所述電子傳輸層上以及所述搭接區(qū)內(nèi)蒸鍍陰極材料，形成陰極層。
進(jìn)一步地，所述采用同一張光罩在所述基板上制備出電子傳輸層和陰極層的步驟包括：在待蒸鍍的基板上設(shè)置第一對(duì)位點(diǎn)和第二對(duì)位點(diǎn)，所述第一對(duì)位點(diǎn)為蒸鍍電子傳輸層時(shí)基板與蒸鍍裝置的對(duì)位點(diǎn)，所述第二對(duì)位點(diǎn)為蒸鍍陰極層時(shí)基板與蒸鍍裝置的對(duì)位點(diǎn)。
進(jìn)一步地，所述采用同一張光罩在所述基板上制備出電子傳輸層和陰極層的步驟還包括：按照所述第一對(duì)位點(diǎn)對(duì)位待蒸鍍的基板與蒸鍍裝置；采用一光罩蒸鍍出電子傳輸層；按照所述第二對(duì)位點(diǎn)對(duì)位待蒸鍍的基板與蒸鍍裝置，用以蒸鍍陰極層；采用所述光罩在所述電子傳輸層上以及所述搭接區(qū)內(nèi)蒸鍍陰極材料，形成陰極層。
進(jìn)一步地，所述第一對(duì)位點(diǎn)與所述第二對(duì)位點(diǎn)之間的相對(duì)距離為所述光罩平移的距離。
進(jìn)一步地，在所述基板上制備出OLED器件的步驟還包括：在所述基板上制備出陣列層；在所述陣列層上制備出陽(yáng)極層；在所述陽(yáng)極層上制備出空穴注入層以及空穴傳輸層；以及在所述空穴傳輸層上制備出發(fā)光層，所述電子傳輸層設(shè)于所述發(fā)光層遠(yuǎn)離所述空穴傳輸層的一側(cè)。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)還提供一種顯示面板，包括：基板；OLED器件，設(shè)于所述基板上；其中，所述OLED器件中的空穴傳輸層以及陰極層由同一張光罩蒸鍍而成。
進(jìn)一步地，所述OLED器件由如前文所述的顯示面板的制備方法制備而成。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)還提供一種顯示裝置，包括如前文所述的顯示面板。
本申請(qǐng)的技術(shù)效果在于，在蒸鍍電子傳輸層以及陰極層時(shí)采用同一張光罩，可有效避免光罩安裝以及拆除過程中的時(shí)間浪費(fèi)，改善蒸鍍效能，提高生產(chǎn)產(chǎn)能，降低生產(chǎn)成本。
附圖說明
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機(jī)材料作有源部分或使用有機(jī)材料與其他材料的組合作有源部分的固態(tài)器件；專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設(shè)備
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