[發(fā)明專利]存儲(chǔ)器的檢測(cè)方法、檢測(cè)系統(tǒng)、可讀介質(zhì)及電子設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210171942.0
• 申請(qǐng)日: 2022-02-24
• 公開（公告）號(hào): CN114512174A
• 公開（公告）日: 2022-05-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楚西坤;劉東;第五天昊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G11C29/12
• 分類號(hào): G11C29/12
• 代理公司: 北京律智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11438
• 代理人: 王輝

本公開提供了一種存儲(chǔ)器的檢測(cè)方法、檢測(cè)系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)及電子設(shè)備，該檢測(cè)方法包括：向多條所述第一位線連接的存儲(chǔ)單元寫入第一電壓，向多條第二位線連接的存儲(chǔ)單元寫入第二電壓，所述第一位線與所述第二位線交替設(shè)置，第一電壓大于第二電壓；第二電壓為零電壓或負(fù)電壓；經(jīng)過加長(zhǎng)的預(yù)設(shè)暫停時(shí)間使所述存儲(chǔ)單元進(jìn)行漏電后，讀取所述第一位線或所述第二位線的連接所述存儲(chǔ)單元，并判斷各所述存儲(chǔ)單元的讀取結(jié)果是否等于其寫入的所述第一電壓或所述第二電壓；若所述存儲(chǔ)單元的讀取結(jié)果不等于其寫入的所述第一電壓或所述第二電壓，則判斷所述存儲(chǔ)器存在同軸字線雙位元電容漏電。能夠提前判斷出存儲(chǔ)器是否存在同軸字線雙位元電容漏電。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開涉及存儲(chǔ)器技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種存儲(chǔ)器的檢測(cè)方法、存儲(chǔ)器的檢測(cè)系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)及電子設(shè)備。

背景技術(shù)

動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(DRAM，Dynamic Random Access Memory)包括用于存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的多個(gè)存儲(chǔ)單元，每個(gè)存儲(chǔ)單元可以包括晶體管和電容器，晶體管用作數(shù)據(jù)向存儲(chǔ)單元的流動(dòng)以及數(shù)據(jù)從存儲(chǔ)單元的流動(dòng)的門控，電容器用于以電荷的形式來存儲(chǔ)數(shù)據(jù)。

由于DRAM的結(jié)構(gòu)過于精細(xì)，量產(chǎn)工藝復(fù)雜繁瑣，在DRAM的電容工藝制程中，形成電容器的電容柱體之間容易相互傾斜，導(dǎo)致臨近的電容單元容易產(chǎn)生故障。

需要說明的是，在上述背景技術(shù)部分公開的信息僅用于加強(qiáng)對(duì)本發(fā)明的背景的理解，因此可以包括不構(gòu)成對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的現(xiàn)有技術(shù)的信息。

發(fā)明內(nèi)容

本公開實(shí)施例的目的在于提供一種存儲(chǔ)器的檢測(cè)方法、存儲(chǔ)器的檢測(cè)系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)及電子設(shè)備，能夠提前判斷出存儲(chǔ)器是否存在同軸字線雙位元電容漏電。

根據(jù)本公開實(shí)施例的一個(gè)方面，提供了一種存儲(chǔ)器的檢測(cè)方法，用于測(cè)試待測(cè)存儲(chǔ)器，所述檢測(cè)方法包括：

向多條第一位線連接的存儲(chǔ)單元寫入第一電壓，向多條第二位線連接的存儲(chǔ)單元寫入第二電壓，所述第一位線與所述第二位線交替設(shè)置，所述第一電壓大于所述第二電壓；所述第二電壓為零電壓或負(fù)電壓；

經(jīng)過加長(zhǎng)的預(yù)設(shè)暫停時(shí)間使所述存儲(chǔ)單元進(jìn)行漏電后，讀取所述第一位線或所述第二位線連接的所述存儲(chǔ)單元，并判斷各所述存儲(chǔ)單元的讀取結(jié)果是否等于其寫入的所述第一電壓或所述第二電壓；

若所述存儲(chǔ)單元的讀取結(jié)果不等于其寫入的所述第一電壓或所述第二電壓，則判斷所述存儲(chǔ)器存在同軸字線雙位元電容漏電。

在本公開的一種示例性實(shí)施例中，向多條所述第一位線連接的存儲(chǔ)單元寫入第一電壓，包括：

控制連接感應(yīng)放大器的目標(biāo)電荷泵開啟以生成第一電壓，控制連接所述第一電壓和所述感應(yīng)放大器的目標(biāo)開關(guān)元件開啟，以對(duì)所述感應(yīng)放大器輸入所述第一電壓；

通過所述感應(yīng)放大器向多條所述第一位線連接的所述存儲(chǔ)單元中寫入所述第一電壓。

在本公開的一種示例性實(shí)施例中，所述第一電壓高于待檢測(cè)存儲(chǔ)器的電源電壓。

在本公開的一種示例性實(shí)施例中，向多條所述第一位線連接的存儲(chǔ)單元寫入第二電壓，包括：

控制連接感應(yīng)放大器的目標(biāo)電荷泵開啟以生成第二電壓，控制連接所述第二電壓和所述感應(yīng)放大器的目標(biāo)開關(guān)元件開啟，以對(duì)所述感應(yīng)放大器輸入所述第二電壓；

通過所述感應(yīng)放大器向多條所述第二位線連接的所述存儲(chǔ)單元中寫入所述第二電壓。

在本公開的一種示例性實(shí)施例中，讀取所述第一位線或所述第二位線連接的所述存儲(chǔ)單元，并判斷各所述存儲(chǔ)單元的讀取結(jié)果是否等于其寫入的所述第一電壓或所述第二電壓，包括：

讀取所述第二位線連接的所述存儲(chǔ)單元，并判斷各所述存儲(chǔ)單元的讀取結(jié)果是否等于其寫入的所述第二電壓。