[發明專利]顯示面板及其制備方法

在審

• 申請號: 202210171529.4
• 申請日: 2022-02-24
• 公開（公告）號: CN114583081A
• 公開（公告）日: 2022-06-03
• 發明（設計）人: 肖雁東
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 張惠

本發明提供了一種顯示面板及其制備方法，顯示面板包括輔助陰極、介質層、面陰極層以及第一阻隔層，其中，介質層設置于輔助陰極上，并具有貫穿介質層的開口，且介質層與輔助陰極之間形成有空腔，開口與空腔相連通；面陰極層設置于介質層上，并從開口處延伸至空腔內而與輔助陰極搭接；第一阻隔層覆蓋面陰極層以及空腔的側壁，本發明所提供的顯示面板，通過沉積一層覆蓋面陰極層和空腔側壁的第一阻隔層，使得液體與氣體無法通過該第一阻隔層而進入顯示面板內部，從而保證了該顯示面板可以具有較好的密封性。

技術領域

本發明總體上涉及顯示技術領域，具體的，涉及一種顯示面板及其制備方法。

背景技術

由于有機電致發光(Organic Light Emitting Diode，OLED)顯示裝置具有例如：自發光、全固態、驅動電壓低、發光效率高、響應時間短、清晰度與對比度高、近180℃視角、使用溫度范圍寬、可實現柔性顯示以及可實現大面積全彩顯示等諸多優點，被業界公認為是最有發展潛力的顯示裝置。

然而，如何保證有機發光顯示裝置的密封性以及穩定性，是目前需要解決的問題。

發明內容

為了解決上述問題或其他問題，本發明提供了以下技術方案。

第一方面，本發明提供了一種顯示面板，包括：

輔助陰極；

介質層，設置于所述輔助陰極上，并具有貫穿所述介質層的開口，所述介質層與所述輔助陰極之間形成有空腔，所述開口與所述空腔相連通；

面陰極層，設置于所述介質層上，所述面陰極層從所述開口處延伸至所述空腔內而與所述輔助陰極搭接；以及，

第一阻隔層，覆蓋所述面陰極層以及所述空腔的側壁。

根據本發明一實施例的顯示面板，其中，所述第一阻隔層的材料包括氧化鋁、二氧化硅以及二氧化鈦其中至少之一。

根據本發明一實施例的顯示面板，其中，所述顯示面板還包括應力抵抗層，所述應力抵抗層設置于所述第一阻隔層上，并填充于所述空腔以及所述開口內。

根據本發明一實施例的顯示面板，其中，所述應力抵抗層的材料包括固化的流動型樹脂。

根據本發明一實施例的顯示面板，其中，所述顯示面板還包括第二阻隔層，所述第二阻隔層設置于所述應力抵抗層上。

根據本發明一實施例的顯示面板，其中，所述第二阻隔層的材料包括氧化硅、氮化硅以及氮氧化硅其中至少之一。

第二方面，本發明提供了一種顯示面板的制備方法，所述制備方法包括：

在輔助陰極上形成介質層以及貫穿所述介質層的開口，其中，所述介質層與所述輔助陰極之間形成有空腔，所述開口與所述空腔相連通；

在所述介質層上形成面陰極層，所述面陰極層從所述開口處延伸至所述空腔內而與所述輔助陰極搭接；以及，

形成覆蓋所述面陰極層以及所述空腔的側壁的第一阻隔層。

根據本發明一實施例的制備方法，其中，使用原子層沉積法形成所述第一阻隔層。

根據本發明一實施例的制備方法，其中，在所述形成覆蓋所述面陰極層以及所述空腔的側壁的第一阻隔層的步驟之后，還包括：

在所述第一阻隔層上形成應力抵抗層，其中，所述應力抵抗層填充于所述空腔以及所述開口內。

根據本發明一實施例的制備方法，其中，于所述在所述第一阻隔層上形成應力抵抗層的步驟之后，還包括：

使用化學氣相沉積法在所述應力抵抗層上形成第二阻隔層。