[發(fā)明專利]電容薄膜真空計的膜片預緊裝置、預緊系統(tǒng)及預緊方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210170273.5
• 申請日: 2022-02-24
• 公開（公告）號: CN114228181A
• 公開（公告）日: 2022-03-25
• 發(fā)明（設計）人: 劉喬;郭可升;施瑞菊;侯少毅;王鳳雙;胡強
• 申請（專利權(quán)）人: 季華實驗室
• 主分類號: B29C65/78
• 分類號: B29C65/78;G01L21/00
• 代理公司: 佛山市海融科創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 44377
• 代理人: 陳志超

本發(fā)明涉及測量儀器技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種電容薄膜真空計的膜片預緊裝置、預緊系統(tǒng)及預緊方法，其中，預緊裝置包括：工作臺，用于承托中心膜片；夾具組件，用于夾持中心膜片，多個夾具組件滑動安裝在工作臺上，且能沿中心膜片徑向滑動；驅(qū)動組件，與工作臺連接，用于驅(qū)動夾具組件相對于中心膜片同步進行徑向滑動；該預緊裝置能利用驅(qū)動組件同步驅(qū)動夾具組件進行相對于中心膜片中心位置的徑向滑動而對中心膜片施加多個方向的徑向向外的拉力，實現(xiàn)中心膜片的周向性張緊，不會對中心膜片施加豎直方向的剪切力，故不會產(chǎn)生應力集中的問題，能確保中心膜片順利地被張緊的同時，能對中心膜片施加更強的張緊作用。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及測量儀器技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種電容薄膜真空計的膜片預緊裝置、預緊系統(tǒng)及預緊方法。

背景技術(shù)

電容薄膜真空計（又稱電容薄膜規(guī)）是一種全壓強真空測量儀器，具有高穩(wěn)定性、高精度、耐腐蝕性等優(yōu)點，廣泛應用在航天航空、核工業(yè)、半導體裝備等重要領(lǐng)域。

電容薄膜真空計主要是根據(jù)彈性元件（中心膜片）在壓差作用下產(chǎn)生應變而引起電容變化的原理制成。電容薄膜真空計的關(guān)鍵部件是中心膜片，中心膜片的性能決定了電容薄膜真空計測量的準確性和使用壽命。

中心膜片在焊接裝配前必須預先調(diào)整為彈性張緊狀態(tài)，并且預緊力的大小和均勻性直接決定了電容薄膜真空計產(chǎn)品的量程和性能。其中，量程越小的電容薄膜真空計對于中心膜片的預緊力大小及均勻性分布要求越高。

現(xiàn)有的中心膜片的預緊裝置一般是在中心膜片上下端面設置壓緊器（壓圈或壓塊或壓環(huán)，呈圓柱狀或圓環(huán)狀）將中心膜片朝向一端壓緊推出，利用該壓緊作用將施加在膜片上的壓力轉(zhuǎn)化為周向性的拉力，從而將該中心膜片張緊；這種張緊方式會使得中心膜片在與壓緊器接觸的區(qū)域形成上下方向的剪切力，造成較大的應力集中，若進一步提高預緊力則容易導致中心膜片損毀，從而制約了張緊力的上限，只能用于產(chǎn)出預緊力要求較低的中心膜片，限制了電容薄膜真空計性能的提升。

針對上述問題，目前尚未有有效的技術(shù)解決方案。

發(fā)明內(nèi)容

本申請的目的在于提供一種電容薄膜真空計的膜片預緊裝置、預緊系統(tǒng)及預緊方法，解決應力集中的問題，從而能對中心膜片施加更大的張緊力。

第一方面，本申請?zhí)峁┝艘环N電容薄膜真空計的膜片預緊裝置，用于張緊電容薄膜真空計的中心膜片，所述預緊裝置包括：

工作臺，用于承托所述中心膜片；

夾具組件，用于夾持所述中心膜片，多個所述夾具組件滑動安裝在所述工作臺上，且能沿所述中心膜片徑向滑動；

驅(qū)動組件，與所述工作臺連接，用于驅(qū)動所述夾具組件相對于所述中心膜片同步進行徑向滑動。

本申請的一種電容薄膜真空計的膜片預緊裝置，能利用驅(qū)動組件同步驅(qū)動夾具組件進行相對于中心膜片中心位置的徑向滑動而對中心膜片施加多個方向的徑向向外的拉力，實現(xiàn)中心膜片的周向性張緊。

所述的一種電容薄膜真空計的膜片預緊裝置，其中，所述驅(qū)動組件包括：

升降塊，所述夾具組件均通過連桿與所述升降塊連接；

升降機構(gòu)，所述升降機構(gòu)與所述工作臺連接，用于驅(qū)動所述升降塊相對于所述工作臺位置升降。

在該示例的一種電容薄膜真空計的膜片預緊裝置中，升降塊進行升降運動時，夾具組件在與升降塊連接的連桿傾擺作用下進行水平滑動，各個夾具組件均通過對應的連桿與升降塊連接，使得升降塊進行升降運動時能同步驅(qū)動所有夾具組件進行滑動，以使所有夾具組件朝向或背離中心膜片進行相對于中心膜片徑向的滑動。

所述的一種電容薄膜真空計的膜片預緊裝置，其中，所述工作臺包括：

環(huán)形盤；

承托板，設置在所述環(huán)形盤內(nèi)，且與環(huán)形盤固定連接，用于承托所述中心膜片；

所述環(huán)形盤上設有多個滑軌，所述夾具組件滑動安裝在所述滑軌上。