[發(fā)明專(zhuān)利]一種反射式偏振雙聚焦等離子體超透鏡及其制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202210166929.6 | 申請(qǐng)日： | 2022-02-23 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN114488366A | 公開(kāi)（公告）日： | 2022-05-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王瑞;王欽華;孫倜;楊惠榮 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 蘇州大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G02B3/08 | 分類(lèi)號(hào)： | G02B3/08;G02B1/04;G02B1/10;G02B5/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 蘇州博格華瑞知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32558 | 代理人： | 匡立嶺 |
| 地址： | 215000*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 反射 偏振 聚焦 等離子體 透鏡 及其 制備 方法 | ||
1.一種反射式偏振雙聚焦等離子體超透鏡，包括：若干聚甲基丙烯酸甲酯納米柱以及基板，其特征在于：
所述納米柱在固定周期內(nèi)呈現(xiàn)各向異性，且所述納米柱頂部與底部均覆蓋有Au層，若干所述納米柱在所述基板上同時(shí)具備梯度變化的橫向尺寸，以及梯度變化的高度，所述納米柱對(duì)0°和90°線偏振入射光具備獨(dú)立的相位調(diào)制。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種反射式偏振雙聚焦等離子體超透鏡，其特征在于：所述納米柱在整個(gè)超透鏡中呈方形的周期排列。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種反射式偏振雙聚焦等離子體超透鏡，其特征在于：0°和90°線偏振(LP)入射光被超透鏡反射后聚焦在不同的空間位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種反射式偏振雙聚焦等離子體超透鏡，其特征在于：位于所述納米柱頂部以及底部的Au層厚度一致。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種反射式偏振雙聚焦等離子體超透鏡的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
S1：在SiO2襯底上產(chǎn)生具有不同橫向尺寸和高度的聚甲基丙烯酸甲酯納米柱陣列；
S2：通過(guò)熱蒸鍍將金層整體鍍?cè)诩{米柱陣列結(jié)構(gòu)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種反射式偏振雙聚焦等離子體超透鏡的制備方法，其特征在于：通過(guò)3D激光直寫(xiě)光刻在SiO2襯底上產(chǎn)生所述納米柱。
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