[發明專利]一種高效太陽能電池用旋轉陶瓷靶材在審
| 申請號： | 202210165564.5 | 申請日： | 2022-02-23 |
| 公開（公告）號： | CN114620996A | 公開（公告）日： | 2022-06-14 |
| 發明（設計）人： | 馬超寧;許積文;黃誓成;孟紅波;姚遠;侯遠欣 | 申請（專利權）人： | 洛陽晶聯光電材料有限責任公司;桂林電子科技大學 |
| 主分類號： | C04B35/01 | 分類號： | C04B35/01;C04B35/453;C04B35/622;C04B35/63;C23C14/08;C23C14/35;C03C17/00;C03C17/245 |
| 代理公司： | 桂林文必達專利代理事務所(特殊普通合伙) 45134 | 代理人： | 白洪 |
| 地址： | 471133 河南省*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 高效 太陽能電池 旋轉 陶瓷 | ||
1.一種高效太陽能電池用旋轉陶瓷靶材，其特征在于，所述陶瓷靶材的組份為97-98wt%的氧化銦以及0.5-2wt%的氧化錫和1-2.5wt%的摻雜氧化物；所述摻雜氧化物為氧化鈦、氧化鎢、氧化鉬、氧化鋯、氧化鈰、氧化硅中的3-5種。
2.根據權利要求1所述的陶瓷靶材，其特征在于，所述陶瓷靶材的制備方法包括：
將成型后的陶瓷靶材素坯置于燒結爐中燒結，其燒結溫度制度如下：
（1）第一溫度區間：室溫-120℃，升溫速度1℃/min；
（2）第二溫度區間：120-400℃，升溫速度0.8℃/min；
（3）第三溫度區間：400-750℃，升溫速度0.5℃/min；
（4）第四溫度區間：750-1000℃，升溫速度1℃/min；
（5）第五溫度區間：1000-1150℃，升溫速度0.5℃/min；
（6）第六溫度區間：1150-1300℃，升溫速度2℃/min；
（7）第七溫度區間：1300-1550℃,升溫速度0.2℃/min；
（8）第八溫度區間：到達最高溫度1550℃后以10℃/min的降溫速度先降溫到1520℃并保溫5-10h，再以同樣速度降溫到1490℃并保溫15-25h；
（9）第九溫度區間：1490-1000℃，降溫速度0.6℃/min；
（10）第十溫度區間：1000℃-室溫，關閉熱源自然降溫。
3.根據權利要求2所述的陶瓷靶材，其特征在于，所述制備方法中，將成型后的陶瓷靶材素坯置于燒結爐中燒結，升溫到300℃后開始通入凈化空氣，溫度達到1000℃時切換為純氧氣，純氧氣通入直至降溫到1300℃停止。
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