[發明專利]一種集成微流腔的二維范德華復合結構光學生物傳感器

在審

• 申請號: 202210164857.1
• 申請日: 2022-02-23
• 公開（公告）號: CN114624188A
• 公開（公告）日: 2022-06-14
• 發明（設計）人: 魏晨崴;陳宗正;吳恒博
• 申請（專利權）人: 深圳市犀銳生物科技有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/41;G01N21/63;B81B1/00;B81C1/00
• 代理公司: 蘇州市方略專利代理事務所(普通合伙) 32267
• 代理人: 石磊

1.一種集成微流腔的二維范德華復合結構光學生物傳感器，其特征在于，包括基底及附于基底上的二維范德華復合結構，在二維范德華復合結構上集成微流腔以傳輸、檢測生物樣本。

2.根據權利要求1所述的一種集成微流腔的二維范德華復合結構光學生物傳感器，其特征在于，所述微流腔中集成生物樣本檢測元件；所述生物樣本檢測元件包括但不限于病毒、抗體或者酶。

3.根據權利要求1所述的一種集成微流腔的二維范德華復合結構光學生物傳感器，其特征在于，所述二維范德華復合結構由金屬層和二維范德華材料組成。

4.根據權利要求3所述的一種集成微流腔的二維范德華復合結構光學生物傳感器，其特征在于，所述金屬層中的金屬選自金或者銀。

5.根據權利要求3所述的一種集成微流腔的二維范德華復合結構光學生物傳感器，其特征在于，所述二維范德華材料選自α型三氧化鉬、黑磷、石墨烯中的一種。

6.根據權利要求3所述的一種集成微流腔的二維范德華復合結構光學生物傳感器，其特征在于，所述金屬層的厚度為1-100nm。

7.根據權利要求3所述的一種集成微流腔的二維范德華復合結構光學生物傳感器，其特征在于，所述二維范德華材料的層數為1-10層。

8.根據權利要求3所述的一種集成微流腔的二維范德華復合結構光學生物傳感器，其特征在于，所述金屬層中的金屬選自金，厚度為40-50nm；所述二維范德華材料選自α型三氧化鉬，層數為5-7層。

9.如權利要求8所述的一種集成微流腔的二維范德華復合結構光學生物傳感器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

1）基底和金屬層的制備：選取石英基底，在基底上通過物理氣相沉積法鍍金膜形成金屬層；

2）二維范德華材料層制備：選用α型三氧化鉬，使用低壓物理氣相沉積法制備出α型三氧化鉬薄片，隨后將α型三氧化鉬薄片通過聚碳酸酯基工藝轉移到金屬層上；

3）微流腔的制備：首先制備微流腔頂部，截取矩形的聚合塑料通過激光電子束加工微流腔的入口和出口，其次，通過膠膜連接聚合塑料和已制備完成的二維范德華復合結構，由膠膜和聚合塑料構成微流腔。

10.根據權利要求1-8任一項所述的所述的集成微流腔的二維范德華復合結構光學生物傳感器，其特征在于，所述集成于二維范德華復合結構上的微流腔的頂部由聚合塑料構成，長度為10-100 mm，寬度為2-20 mm，微流腔側壁由20-100 um膠膜構成，通過激光微加工在微流腔加工入口和出口，孔徑為0.1-2 mm，孔間隔為10-80 mm，膠膜和聚合塑料共同決定了微流腔的輪廓。