[發(fā)明專利]一種三軸霍爾角度傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202210160921.9 | 申請日： | 2022-02-22 |
| 公開（公告）號： | CN114609559B | 公開（公告）日： | 2023-06-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 樊華;王江名;許童睿;趙攀峰;馮全源;蘇華英;王國松 | 申請（專利權(quán)）人： | 電子科技大學(xué) |
| 主分類號： | G01R33/07 | 分類號： | G01R33/07 |
| 代理公司： | 電子科技大學(xué)專利中心 51203 | 代理人： | 陳一鑫 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 霍爾 角度 傳感器 | ||
1.一種三軸霍爾角度傳感器，包括4個垂直霍爾器件和4個水平霍爾器件，4個垂直霍爾器件分別為：X1、X2、Y1和Y2，4個水平霍爾器件分別為：Z1、Z2、Z3和Z4，所述垂直霍爾器件用于測量水平方向磁場，結(jié)構(gòu)為4個相同的三接觸極垂直霍爾結(jié)構(gòu)串聯(lián)結(jié)構(gòu)，每個霍爾結(jié)構(gòu)三個接觸極的中間電極用于提供偏置或感應(yīng)霍爾電壓，兩邊的電極用于與該結(jié)構(gòu)內(nèi)霍爾結(jié)構(gòu)的電極連接；X1和X2用于測量X方向的磁場，Y1和Y2用于測量Y方向的磁場；X1、Y1、X2和Y2圍成一個正方形，X1和X2相對；所述水平霍爾器件用于測量垂直磁場，4個水平霍爾器件均勻的陣列于4個垂直霍爾器件圍成的正方形內(nèi)；
所述X1中四個霍爾結(jié)構(gòu)的中間電極依次為AX1、BX1、CX1、DX1，所述X2中四個霍爾結(jié)構(gòu)的中間電極依次為AX2、BX2、CX2、DX2；測量X方向磁場時，對X1，在AX1與CX1接觸極之間施加電流偏置，測量DX1與BX1接觸極之間的霍爾電壓VHallX1；同時在BX2與DX2之間施加電流偏置，測量AX2與CX2之間產(chǎn)生的霍爾電壓VHallX2；
所述Y1中四個霍爾結(jié)構(gòu)的中間電極依次為AY1、BY1、CY1、DY1，Y2中四個霍爾結(jié)構(gòu)的中間電極依次為AY2、BY2、CY2、DY2；測量Y方向磁場時，在AY1與CY1之間施加偏置電流，測量BY1與DX1接觸極之間的霍爾電壓VHallY1；同時在BY2與DY2之間施加偏置電流，測量CY2與AY2感應(yīng)霍爾電壓VHallY2；
所述4個水平霍爾器件Z1、Z2、Z3和Z4的四個電極依次分別為AZ1、BZ1、CZ1、DZ1，AZ2、BZ2、CZ2、DZ2，AZ3、BZ3、CZ3、DZ3，AZ4、BZ4、CZ4、DZ4；測量垂直磁場時，在AZ1與CZ1之間施加偏置電流，測量DZ1與BZ1之間產(chǎn)生的霍爾電壓VHallZ1；在BZ2與DZ2之間施加電流偏置，測量AZ2與CZ2之間的霍爾電壓VHallZ2；在CZ3與AZ3之間施加偏置電流，測量BZ3與DZ3之間的霍爾電壓VHallZ3；在DZ4與BZ4之間施加偏置電流，測量CZ4與AZ4之間的霍爾電壓VHallZ4。
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