[發明專利]一種三軸霍爾角度傳感器有效

申請號：	202210160921.9	申請日：	2022-02-22
公開（公告）號：	CN114609559B	公開（公告）日：	2023-06-02
發明（設計）人：	樊華;王江名;許童睿;趙攀峰;馮全源;蘇華英;王國松	申請（專利權）人：	電子科技大學
主分類號：	G01R33/07	分類號：	G01R33/07
代理公司：	電子科技大學專利中心 51203	代理人：	陳一鑫
地址：	611731 四川省成***	國省代碼：	四川;51
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種霍爾角度傳感器
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【權利要求書】：

1.一種三軸霍爾角度傳感器，包括4個垂直霍爾器件和4個水平霍爾器件，4個垂直霍爾器件分別為：X1、X2、Y1和Y2，4個水平霍爾器件分別為：Z1、Z2、Z3和Z4，所述垂直霍爾器件用于測量水平方向磁場，結構為4個相同的三接觸極垂直霍爾結構串聯結構，每個霍爾結構三個接觸極的中間電極用于提供偏置或感應霍爾電壓，兩邊的電極用于與該結構內霍爾結構的電極連接；X1和X2用于測量X方向的磁場，Y1和Y2用于測量Y方向的磁場；X1、Y1、X2和Y2圍成一個正方形，X₁和X2相對；所述水平霍爾器件用于測量垂直磁場，4個水平霍爾器件均勻的陣列于4個垂直霍爾器件圍成的正方形內；

所述X1中四個霍爾結構的中間電極依次為A_X1、B_X1、C_X1、D_X1，所述X2中四個霍爾結構的中間電極依次為A_X2、B_X2、C_X2、D_X2；測量X方向磁場時，對X₁，在A_X1與C_X1接觸極之間施加電流偏置，測量D_X1與B_X1接觸極之間的霍爾電壓V_HallX1；同時在B_X2與D_X2之間施加電流偏置，測量A_X2與C_X2之間產生的霍爾電壓V_HallX2；

所述Y1中四個霍爾結構的中間電極依次為A_Y1、B_Y1、C_Y1、D_Y1，Y2中四個霍爾結構的中間電極依次為A_Y2、B_Y2、C_Y2、D_Y2；測量Y方向磁場時，在A_Y1與C_Y1之間施加偏置電流，測量B_Y1與D_X1接觸極之間的霍爾電壓V_HallY1；同時在B_Y2與D_Y2之間施加偏置電流，測量C_Y2與A_Y2感應霍爾電壓V_HallY2；

所述4個水平霍爾器件Z1、Z2、Z3和Z4的四個電極依次分別為A_Z1、B_Z1、C_Z1、D_Z1，A_Z2、B_Z2、C_Z2、D_Z2，A_Z3、B_Z3、C_Z3、D_Z3，A_Z4、B_Z4、C_Z4、D_Z4；測量垂直磁場時，在A_Z1與C_Z1之間施加偏置電流，測量D_Z1與B_Z1之間產生的霍爾電壓V_HallZ1；在B_Z2與D_Z2之間施加電流偏置，測量A_Z2與C_Z2之間的霍爾電壓V_HallZ2；在C_Z3與A_Z3之間施加偏置電流，測量B_Z3與D_Z3之間的霍爾電壓V_HallZ3；在D_Z4與B_Z4之間施加偏置電流，測量C_Z4與A_Z4之間的霍爾電壓V_HallZ4。