[發(fā)明專利]石墨盤烘烤夾具及烘烤裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210154369.2
• 申請日: 2022-02-21
• 公開（公告）號: CN114199031B
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 谷禮杰;堯舜;胡斌;劉晨暉;董國亮;康聯(lián)鴻;湯秀娟
• 申請（專利權(quán)）人: 華芯半導(dǎo)體研究院（北京）有限公司;華芯半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C30B25/10;F27D5/00;F27B17/00
• 代理公司: 北京中知法苑知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11226
• 代理人: 李明;趙吉陽

本申請公開了一種石墨盤烘烤夾具及烘烤裝置，所述石墨盤烘烤夾具包括烘烤架(1)，所述烘烤架(1)上安裝有多個(gè)橫梁(2)，每個(gè)所述橫梁(2)上均設(shè)有凹槽(3)，對應(yīng)所述凹槽(3)構(gòu)成石墨盤(7)的圓周邊；所述烘烤架(1)上還設(shè)有兩組平行相對的長通孔(4)，所述橫梁(2)的兩端分別設(shè)于一所述長通孔(4)內(nèi)，在外力作用下，所述橫梁(2)旋轉(zhuǎn)和/或沿所述長通孔(4)移動(dòng)，以調(diào)整所述圓周邊的半徑。本申請實(shí)施例的石墨盤烘烤夾具，其烘烤架上設(shè)有可供橫梁移動(dòng)和選擇的長通孔，橫梁能夠通過旋轉(zhuǎn)和/或移動(dòng)來調(diào)整支撐角度和支撐位置，從而可以適用于不同半徑長度和不同形狀的石墨盤。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請屬于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種石墨盤烘烤夾具及使用該石墨盤烘烤夾具的烘烤裝置。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，反應(yīng)腔內(nèi)石墨件的種類也越來越多，烤盤爐及烤盤夾具的使用也越來越廣泛，因此，各項(xiàng)影響因素也在不斷改善中。目前烤盤夾具主要根據(jù)石墨件的尺寸制作，功能單一。

發(fā)明內(nèi)容

本申請旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提供一種石墨盤烘烤夾具及使用該石墨盤烘烤夾具的烘烤裝置。

根據(jù)本申請實(shí)施例的第一方面，提供了一種石墨盤烘烤夾具，包括烘烤架，所述烘烤架上安裝有多個(gè)橫梁，每個(gè)所述橫梁上均設(shè)有凹槽，對應(yīng)所述凹槽構(gòu)成石墨盤的圓周邊；

所述烘烤架上還設(shè)有兩組平行相對的長通孔，所述橫梁的兩端分別設(shè)于一所述長通孔內(nèi)，在外力作用下，所述橫梁旋轉(zhuǎn)和/或沿所述長通孔移動(dòng)，以調(diào)整所述圓周邊的半徑。

可選的，所述橫梁包括：

梁本體，所述凹槽設(shè)于所述梁本體上；

導(dǎo)向桿，每個(gè)所述梁本體的兩端均同軸連接所述導(dǎo)向桿，所述橫梁通過所述導(dǎo)向桿設(shè)于所述長通孔內(nèi)；

緊固件，所述緊固件設(shè)于所述導(dǎo)向桿上，用于將所述橫梁固定在所處位置。

可選的，所述導(dǎo)向桿穿設(shè)在所述長通孔內(nèi)，所述緊固件設(shè)于在所述導(dǎo)向桿穿過所述長通孔的一端。

可選的，所述緊固件包括緊固螺栓，所述緊固螺栓套設(shè)于所述導(dǎo)向桿穿過所述長通孔的一端。

可選的，所述橫梁的兩端設(shè)有導(dǎo)向板，所述導(dǎo)向板與所述烘烤架間隙配合。

可選的，每組所述長通孔包括上通孔和下通孔；其中：

所述下通孔設(shè)于所述圓周邊的圓心下方，且水平設(shè)置，部分所述橫梁的設(shè)于所述下通孔內(nèi)；

所述上通孔對稱的設(shè)于所述圓周邊的圓心兩側(cè)，且向上彎曲設(shè)置，其余所述橫梁對稱的設(shè)于所述上通孔內(nèi)。

可選的，所述上通孔內(nèi)對稱的設(shè)有兩個(gè)所述橫梁；所述下通孔內(nèi)對稱的設(shè)有兩個(gè)所述橫梁。

可選的，所述上通孔包括弧形段和水平段，所述水平段對稱的設(shè)于所述弧形段的側(cè)面，且所述水平段與所述弧形段連通。

可選的，所述凹槽的側(cè)面或側(cè)面的開口部分向槽外傾斜。

根據(jù)本申請實(shí)施例的第二方面，提供了一種烘烤裝置，包括第一方面中任一項(xiàng)實(shí)施例所述的石墨盤烘烤夾具。

本申請的上述技術(shù)方案具有如下有益的技術(shù)效果：

本申請實(shí)施例的石墨盤烘烤夾具，其烘烤架上設(shè)有可供橫梁移動(dòng)和選擇的長通孔，橫梁能夠通過旋轉(zhuǎn)和/或移動(dòng)來調(diào)整支撐角度和支撐位置，從而可以適用于不同半徑長度和不同形狀的石墨盤。

附圖說明

圖 1是本申請示例性實(shí)施例中一種石墨盤烘烤夾具的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1的側(cè)視圖；