[發明專利]一種單晶爐冷卻裝置在審
| 申請號: | 202210154035.5 | 申請日: | 2022-02-20 |
| 公開(公告)號: | CN114351242A | 公開(公告)日: | 2022-04-15 |
| 發明(設計)人: | 周旺超;黃劍雄 | 申請(專利權)人: | 無錫松瓷機電有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 無錫永樂唯勤專利代理事務所(普通合伙) 32369 | 代理人: | 孫際德 |
| 地址: | 214000 江蘇省無錫*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 單晶爐 冷卻 裝置 | ||
1.一種單晶爐冷卻裝置,其特征在于,所述單晶爐冷卻裝置包括安裝座、固定支撐座、滑動支撐座、伸縮殼體、對接殼體及冷卻器,其中:
所述固定支撐座固定連接在所述安裝座上;
所述滑動支撐座滑動連接在所述安裝座上,所述滑動支撐座被配置為能夠朝向或遠離所述固定支撐座滑動;
所述伸縮殼體的第一端連接在所述滑動支撐座上,所述伸縮殼體的第二端連接在所述固定支撐座上;
所述對接殼體的第一端連接在所述固定支撐座上并與所述伸縮殼體貫通,所述對接殼體的第二端用于連接所述單晶爐的爐口;
所述冷卻器的第一端連接在所述滑動支撐座上并位于所述伸縮殼體內,所述滑動支撐座朝向所述固定支撐座滑動時,所述冷卻器的第二端依次穿過所述固定支撐座及所述對接殼體并穿入至所述單晶爐內。
2.如權利要求1所述的單晶爐冷卻裝置,其特征在于,所述單晶爐冷卻裝置還包括設置在所述安裝座上的平移驅動機構,所述平移驅動機構用于驅動所述滑動支撐座朝向或遠離所述固定支撐座滑動。
3.如權利要求2所述的單晶爐冷卻裝置,其特征在于,所述平移驅動機構包括沿同步帶、用于支撐和驅動所述同步帶的同步帶驅動機構;
所述滑動支撐座與所述同步帶的一側帶體連接,所述滑動支撐座在所述同步帶的帶動下朝向或遠離所述固定支撐座滑動。
4.如權利要求1所述的單晶爐冷卻裝置,其特征在于,所述伸縮殼體的第一端經第一連接法蘭連接在所述滑動支撐座上,所述伸縮殼體的第二端經第二連接法蘭連接在所述固定支撐座上。
5.如權利要求1所述的單晶爐冷卻裝置,其特征在于,所述單晶爐冷卻裝置還包括設置在所述安裝座上的用于支撐所述伸縮殼體的伸縮殼體支撐機構。
6.如權利要求5所述的單晶爐冷卻裝置,其特征在于,所述伸縮殼體支撐機構包括支撐架及卡箍,其中:所述支撐架滑動連接在所述安裝座上,所述卡箍連接在所述支撐架上并卡箍在所述伸縮殼體上;
所述伸縮殼體在所述滑動支撐座的帶動下伸縮時,所述伸縮殼體支撐機構在所述伸縮殼體的帶動下在所述安裝座上滑動。
7.如權利要求1所述的單晶爐冷卻裝置,其特征在于,所述對接殼體的第一端經第三連接法蘭連接在所述固定支撐座上,所述對接殼體的第二端設置有用于連接所述單晶爐的爐口的第四連接法蘭。
8.如權利要求1所述的單晶爐冷卻裝置,其特征在于,所述單晶爐冷卻裝置還包括設置在所述安裝座上的用于支撐所述對接殼體的對接殼體支撐機構。
9.如權利要求8所述的單晶爐冷卻裝置,其特征在于:
所述對接殼體可伸縮;
所述對接殼體支撐機構包括氣缸、安裝板及卡鉗,其中,所述氣缸安裝在所述安裝座上,所述安裝板連接在所述氣缸的活塞桿上,所述卡鉗安裝在所述安裝板上,所述對接殼體的第二端卡扣在所述卡鉗上;
所述氣缸驅動所述卡鉗朝向所述單晶爐的爐口移動時,所述對接殼體的第二端在所述卡鉗的帶動下與所述單晶爐的爐口對接,所述氣缸驅動所述卡鉗遠離所述單晶爐的爐口移動時,所述對接殼體的第二端在所述卡鉗的帶動下與所述單晶爐的爐口分離。
10.如權利要求1所述的單晶爐冷卻裝置,其特征在于,所述冷卻器由一水冷管道經若干次迂回彎折形成,所述水冷管道的兩端均穿出所述固定支撐座以形成所述冷卻器的進水口及出水口。
11.如權利要求1所述的單晶爐冷卻裝置,其特征在于:
所述滑動支撐座或所述固定支撐座上設置有充氣嘴,所述充氣嘴用于將氬氣充入至所述單晶爐內;
所述滑動支撐座或所述固定支撐座上設置有抽氣嘴,所述抽氣嘴用于抽去所述單晶爐內的空氣。
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