[發(fā)明專利]一種用于半導(dǎo)體加工的殘次品維修臺(tái)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210153652.3
• 申請(qǐng)日: 2022-02-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114309870A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張樂(lè);單黎羚;彭保生;李振東;王毅;黃麗慧;梁春曉;皮進(jìn);孫壽福
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市贏創(chuàng)智聯(lián)科技有限公司
• 主分類號(hào): B23K3/08
• 分類號(hào): B23K3/08;B25H1/08
• 代理公司: 蘇州和氏璧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32390
• 代理人: 查銀河

1.一種用于半導(dǎo)體加工的殘次品維修臺(tái)，其特征在于，包括：工作臺(tái)（1），所述工作臺(tái)（1）的頂部分別固定連接有支架（2）和固定臺(tái)（3），所述支架（2）的頂部安裝有導(dǎo)向機(jī)構(gòu)（4），所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)（4）的頂部固定連接有連接塊（5），所述連接塊（5）的一側(cè)固定連接有橫向?qū)粰C(jī)構(gòu)（6），所述橫向?qū)粰C(jī)構(gòu)（6）的表面活動(dòng)連接有連接環(huán)（7），所述連接環(huán)（7）的正面安裝有升降機(jī)構(gòu)（8），所述升降機(jī)構(gòu)（8）的伸縮端固定連接有移動(dòng)板（9），所述移動(dòng)板（9）的頂部開(kāi)設(shè)有安裝槽，且安裝槽的內(nèi)壁安裝有真空吸盤（10），所述固定臺(tái)（3）的頂部固定連接有定位板（11）和定位機(jī)構(gòu)（12），所述連接環(huán)（7）的底部固定連接有連接板（13），所述連接板（13）的底部安裝有照明燈（14）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體加工的殘次品維修臺(tái)，其特征在于，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)（4）包括第一電機(jī)（41）、第一導(dǎo)軌（42）、第一螺紋桿（43）和導(dǎo)位塊（44），所述第一電機(jī)（41）和第一導(dǎo)軌（42）均固定連接在支架（2）的頂部，所述第一螺紋桿（43）轉(zhuǎn)動(dòng)連接在第一導(dǎo)軌（42）的內(nèi)壁，所述第一螺紋桿（43）靠近第一電機(jī)（41）的一端延伸至第一導(dǎo)軌（42）外部并與第一電機(jī)（41）的輸出軸固定連接，所述導(dǎo)位塊（44）螺紋連接在第一螺紋桿（43）的表面，所述導(dǎo)位塊（44）固定連接在連接塊（5）的底部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體加工的殘次品維修臺(tái)，其特征在于，所述橫向?qū)粰C(jī)構(gòu)（6）包括第二電機(jī)（61）、第二導(dǎo)軌（62）、第二螺紋桿（63）和滑塊（64），所述第二導(dǎo)軌（62）固定連接連接塊（5）的側(cè)面，所述第二螺紋桿（63）轉(zhuǎn)動(dòng)連接在第二導(dǎo)軌（62）的內(nèi)壁，所述第二螺紋桿（63）靠近第二電機(jī)（61）的一端延伸至第二導(dǎo)軌（62）外部并與第二電機(jī)（61）的輸出軸固定連接，所述第二導(dǎo)軌（62）遠(yuǎn)離連接塊（5）的一端固定連接有保護(hù)殼（15），所述第二電機(jī)（61）固定連接在保護(hù)殼（15）的內(nèi)壁，所述滑塊（64）螺紋連接在第二導(dǎo)軌（62）的內(nèi)壁，所述滑塊（64）的頂部與連接環(huán)（7）內(nèi)壁的頂部固定連接，所述連接環(huán)（7）內(nèi)壁的形狀與第二導(dǎo)軌（62）表面的形狀相適配。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體加工的殘次品維修臺(tái)，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)（8）包括安裝板（81）和電動(dòng)伸縮桿（82），所述安裝板（81）固定連接在連接環(huán)（7）的正面，所述電動(dòng)伸縮桿（82）安裝在安裝板（81）的頂部，所述安裝板（81）的頂部開(kāi)設(shè)有通槽，所述電動(dòng)伸縮桿（82）的伸縮端穿過(guò)通槽與移動(dòng)板（9）的頂部固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于半導(dǎo)體加工的殘次品維修臺(tái)，其特征在于，所述移動(dòng)板（9）的頂部固定連接有導(dǎo)位桿（16），所述安裝板（81）的頂部開(kāi)設(shè)有導(dǎo)位槽（17），所述導(dǎo)位桿（16）的表面與導(dǎo)位槽（17）的內(nèi)壁滑動(dòng)連接，所述導(dǎo)位桿（16）的頂部固定連接有限位塊（18）。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體加工的殘次品維修臺(tái)，其特征在于，所述定位機(jī)構(gòu)（12）包括第一固定板（121）、第二固定板（122）和彈簧（123），所述第一固定板（121）固定連接在固定臺(tái)（3）的頂部，所述彈簧（123）的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述彈簧（123）以經(jīng)過(guò)第一固定板（121）的中心豎直面為對(duì)稱面對(duì)稱設(shè)置，所述彈簧（123）的一端與第一固定板（121）的表面固定連接，所述彈簧（123）的另一端與第二固定板（122）的表面固定連接,所述第二固定板（122）的表面固定連接有圓桿（19），所述彈簧（123）套接在圓桿（19）的表面，所述圓桿（19）的一端貫穿第一固定板（121）延伸至遠(yuǎn)離第二固定板（122）的一側(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于半導(dǎo)體加工的殘次品維修臺(tái)，其特征在于，所述第二固定板（122）靠近第一固定板（121）的表面固定連接有拉桿（20），所述第一固定板（121）的表面開(kāi)設(shè)有圓槽（21），所述圓槽（21）的內(nèi)壁與拉桿（20）的表面滑動(dòng)連接。