[發明專利]電鍍頭單元、電鍍設備及電鍍方法

在審

• 申請號: 202210153386.4
• 申請日: 2022-02-18
• 公開（公告）號: CN116657211A
• 公開（公告）日: 2023-08-29
• 發明（設計）人: 史蒂文·賀·汪;林鵬鵬
• 申請（專利權）人: 新陽硅密（上海）半導體技術有限公司
• 主分類號: C25D7/12
• 分類號: C25D7/12;C25D17/06;C25D21/10
• 代理公司: 北京市盈科律師事務所 11344
• 代理人: 陳晨;申晨

1.一種電鍍頭單元，其特征在于，

所述電鍍頭單元包括母鍍頭、子鍍頭、旋轉組件，所述子鍍頭位于旋轉組件上隨旋轉組件旋轉，所述子鍍頭的軸線與所述母鍍頭的軸線不重合，所述子鍍頭的數量為至少一個。

2.如權利要求1所述的電鍍頭單元，其特征在于，

所述子鍍頭的數量為至少兩個，所述旋轉組件根據子鍍頭數量調整相應適配結構，所述各個子鍍頭位于旋轉組件上且互不干涉。

3.如權利要求1所述的電鍍頭單元，其特征在于，

當子鍍頭數量為至少兩個時，所述子鍍頭均分位于旋轉組件一定半徑的圓周位置上。

4.如權利要求1所述的電鍍頭單元，其特征在于，

所述子鍍頭包括定子組件和動子組件，所述定子組件位于旋轉組件上隨旋轉組件旋轉。

5.如權利要求4所述的電鍍頭單元，其特征在于，

所述動子組件沿動子組件軸線自轉。

6.如權利要求5所述的電鍍頭單元，其特征在于，

每個動子組件的轉速可以獨立控制。

7.如權利要求1所述的電鍍頭單元，其特征在于，

所述旋轉組件包括支撐件、第一轉動件、第二轉動件；所述第一轉動件和第二轉動件位于支撐件上；所述第一轉動件帶動第二轉動件轉動，所述第一轉動件與驅動裝置連接，所述子鍍頭位于所述第二轉動件上。

8.如權利要求7所述的電鍍頭單元，其特征在于，

當子鍍頭數量為至少兩個時，所述子鍍頭均分位于第二轉動件一定半徑的圓周位置上。

9.如權利要求1所述的電鍍頭單元，其特征在于，

電鍍頭單元還包括夾持機構，所述夾持機構位于子鍍頭上，所述夾持機構夾持晶圓。

10.如權利要求9所述的電鍍頭單元，其特征在于，

所述夾持機構夾持晶圓后，晶圓的圓心與所述母鍍頭的軸線不重合，晶圓的圓心與子鍍頭的軸線重合。

11.一種電鍍設備，其特征在于，

包括如權利要求1-10所述的任意一項電鍍頭單元。

12.如權利要求11所述的電鍍設備，其特征在于，

還包括電鍍槽，所述子鍍頭在電鍍時放入電鍍槽。

13.如權利要求11所述的電鍍設備，其特征在于，

還包括機械手，所述機械手用于移動電鍍頭單元。

14.一種電鍍方法，其特征在于，

所述電鍍方法使用如權利要求11-13中任意一項所述的電鍍設備進行電鍍。

15.如權利要求14所述的電鍍方法，其特征在于，

電鍍設備包括電鍍頭單元、機械手和電鍍槽，電鍍頭單元還包括夾持機構；

所述電鍍方法包括如下步驟：

夾持機構分別夾持晶圓；

機械手移動電鍍頭單元至電鍍工藝位置；

將子鍍頭放入電鍍槽內；

旋轉組件帶動子鍍頭轉動。

16.如權利要求15所述的電鍍方法，其特征在于，

子鍍頭包括動子組件和定子組件，

所述電鍍方法還包括步驟：子鍍頭的動子組件沿動子組件軸線自轉。

17.如權利要求16述的電鍍方法，其特征在于，

還包括步驟：獨立調整每個子鍍頭的動子組件的轉速。

18.如權利要求15所述的電鍍方法，其特征在于，

旋轉組件包括支撐件、第一轉動件、第二轉動件；第一轉動件與驅動裝置連接；

所述電鍍方法還包括步驟：驅動裝置驅動第一轉動件旋轉，第一轉動件帶動第二轉動件轉動，第二轉動件帶動子鍍頭轉動。