[發(fā)明專利]多肽、包括其的光刻膠組合物、和使用其形成圖案的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210149247.4
• 申請日: 2022-02-18
• 公開（公告）號: CN115368442A
• 公開（公告）日: 2022-11-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭焞天;金起男;金智恩;金鎮(zhèn)夏;樸焌盛
• 申請（專利權(quán)）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: C07K14/00
• 分類號: C07K14/00;G03F7/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 金擬粲

多肽、包括其的光刻膠組合物和使用其形成圖案的方法。多肽包括區(qū)域A和區(qū)域B，其中區(qū)域A具有20％或更大的丙氨酸含量并且包括至少一個具有4?10個連續(xù)氨基酸殘基的序列的第一重復(fù)單元，和區(qū)域B具有10％或更大的酪氨酸含量并且包括至少一個具有4?10個連續(xù)氨基酸殘基的序列的第二重復(fù)單元。

對相關(guān)申請的交叉引用

本申請要求在韓國知識產(chǎn)權(quán)局于2021年5月20日提交的韓國專利申請No.10-2021-0064955和于2021年7月8日提交的韓國專利申請No.10-2021-0089947的優(yōu)先權(quán)、以及由其產(chǎn)生的所有權(quán)益，將其公開內(nèi)容全部通過引用引入本文中。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開內(nèi)容的實施方式涉及多肽、包括所述多肽的光刻膠組合物、和使用所述光刻膠組合物形成圖案的方法。

背景技術(shù)

對于半導(dǎo)體器件的高度集成的需求已經(jīng)對在這樣的器件的制造中對于更精細且更精確的圖案化的增長的需求作出貢獻。可被化學放大的材料被常規(guī)地用于光刻膠；然而，在這樣的材料中的酸擴散可常常是實現(xiàn)精細圖案的障礙。而且，用于將所述光刻膠顯影的材料也可為有毒的或?qū)θ祟惤】涤泻Φ囊约皩Νh(huán)境有害的。

因此，存在對于生態(tài)友好的光刻膠材料的需求，所述生態(tài)友好的光刻膠材料適合于實現(xiàn)精細圖案，并且釋放極少的可不利地影響人類健康或環(huán)境的化學物質(zhì)(如果有的話)。

發(fā)明內(nèi)容

提供多肽(所述多肽作為光刻膠)和包括所述多肽的光刻膠組合物。另外，提供使用所述光刻膠組合物形成生態(tài)友好的圖案的方法。

另外的方面將部分地在隨后的描述中闡明，且部分地將由所述描述明晰，或者可通過本公開內(nèi)容的所呈現(xiàn)的實施方式的實踐獲悉。

根據(jù)一種實施方式的方面，多肽包括區(qū)域A和區(qū)域B，其中區(qū)域A具有20百分數(shù)(％)或更大的丙氨酸含量并且包括至少一個具有4-10個連續(xù)氨基酸殘基的序列的第一重復(fù)單元，和區(qū)域B具有10％或更大的酪氨酸含量并且包括至少一個具有4-10個連續(xù)氨基酸殘基的序列的第二重復(fù)單元。

所述第一重復(fù)單元的重復(fù)數(shù)對所述第二重復(fù)單元的重復(fù)數(shù)的比率可為約1:1至約1:x，其中x為大于1的實數(shù)。

所述第一重復(fù)單元的重復(fù)數(shù)對所述第二重復(fù)單元的重復(fù)數(shù)的比率可為約1:1至約1:4。

所述第一重復(fù)單元可由式1表示，和所述第二重復(fù)單元可由式2表示：

式1

X₁₁-(Ala-X₁₂)_n11-X₁₃

式2

X₂₁-(X₂₂-X₂₃)_n21-Tyr

在式1和2中，

X₁₁和X₁₂各自獨立地為Gly或Ala，

X₁₃為Ser或Ala，且n11為1-4的整數(shù)，

X₂₁和X₂₃各自獨立地為Gly或Ala，

X₂₂為Gly、Ala或Val，且n21為1-4的整數(shù)。

X₁₁和X₁₂可為Gly，X₁₃可為Ser，且n11可為1或2。

X₂₁和X₂₃可為Gly，X₂₂可為Ala或Val，且n21可為1、2或3。