[發明專利]一種大角度的UVW對位平臺

在審

• 申請號: 202210146815.5
• 申請日: 2022-02-17
• 公開（公告）號: CN114346983A
• 公開（公告）日: 2022-04-15
• 發明（設計）人: 林邦羽;朱斌;劉衛東
• 申請（專利權）人: 立川(無錫)半導體設備有限公司
• 主分類號: B25H1/16
• 分類號: B25H1/16
• 代理公司: 杭州寒武紀知識產權代理有限公司 33271
• 代理人: 殷篩網

1.一種大角度的UVW對位平臺，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的上方設置有升降機構(3)，所述升降機構(3)包括一號外殼(301)、橡膠套(302)、偏心輪(303)、蝸桿(304)、蝸輪(305)、一號轉桿(306)、二號外殼(307)、條形齒(308)、齒輪(309)，所述一號外殼(301)的底部與底板(1)的頂部固定連接，所述偏心輪(303)的表面固定安裝在蝸桿(304)的一端，所述蝸桿(304)的另一端貫穿一號外殼(301)的外壁后通過一號軸承與一號外殼(301)的內壁轉動連接，所述一號轉桿(306)的兩端分別通過二號軸承、三號軸承與一號外殼(301)的內壁前后兩側轉動連接，所述齒輪(309)、蝸輪(305)分別固定套設在一號轉桿(306)的表面前后兩側，所述蝸桿(304)與蝸輪(305)嚙合，所述二號外殼(307)的底部與底板(1)的頂部固定連接，所述條形齒(308)位于二號外殼(307)內部，所述二號外殼(307)的一側開設有一號孔，所述齒輪(309)通過一號孔與條形齒(308)嚙合，所述條形齒(308)的頂部依次貫穿二號外殼(307)、一號外殼(301)的內壁，所述條形齒(308)的表面與二號外殼(307)的內側接觸。

2.根據權利要求1所述的一種大角度的UVW對位平臺，其特征在于：所述升降機構(3)的上方設置有平移機構(4)，所述平移機構(4)包括安裝板(401)、T型塊(402)、螺栓(403)、一號電機(404)、二號轉桿(405)、連桿(406)、圓環(407)、鉸接塊(408)、一號弧形塊(409)、一號延伸塊(4010)、二號延伸塊(4011)、二號弧形塊(4012)、固定柱(4013)、T型滑塊(4014)、條形塊(4015)，所述一號電機(404)固定安裝在T型塊(402)的表面，所述一號電機(404)的輸出端通過連軸器固定安裝有二號轉桿(405)，所述二號轉桿(405)的表面固定連接有三根連桿(406)，三根所述連桿(406)的另一端與圓環(407)的內側固定連接，所述鉸接塊(408)的背面通過一號銷鉸接在任意一根所述連桿(406)的表面，所述一號弧形塊(409)的中心處開設有一號弧形滑孔，所述鉸接塊(408)的表面與所述一號弧形滑孔的內壁滑動連接，所述一號延伸塊(4010)的一端固定安裝在圓環(407)的表面，所述一號延伸塊(4010)的另一端呈弧形且通過二號銷鉸接在T型塊(402)的正面，所述條形塊(4015)的底部固定安裝在T型塊(402)的頂部，所述條形塊(4015)的頂部開設有T型滑槽，所述T型滑塊(4014)位于T型滑槽內，所述T型滑塊(4014)的表面與所述T型滑槽的內壁接觸且滑動連接，所述二號延伸塊(4011)的一端固定安裝在一號弧形塊(409)的表面，所述二號延伸塊(4011)的另一端與二號弧形塊(4012)的表面固定連接，所述二號弧形塊(4012)的中心處開設有二號弧型滑孔，所述固定柱(4013)的一端固定安裝在T型滑塊(4014)的正面，所述固定柱(4013)的另一端穿過所述二號弧型滑孔且與二號弧型滑孔的內側接觸，所述安裝板(401)的底部與條形齒(308)的頂部固定連接。

3.根據權利要求2所述的一種大角度的UVW對位平臺，其特征在于：所述平移機構(4)的上方設置有轉動機構(5)，所述箱體(501)、二號電機(502)、三號轉桿(503)、一號齒輪(504)、二號齒輪(505)、四號轉桿(506)、轉盤(507)，所述箱體(501)的底部固定安裝在T型滑塊(4014)的頂部，所述二號電機(502)固定安裝在箱體(501)的內壁，所述二號電機(502)的輸出端通過聯軸器與三號轉桿(503)的一端固定連接，所述三號轉桿(503)的另一端通過四號軸承與箱體(501)的內壁轉動連接，所述一號齒輪(504)固定套設在三號轉桿(503)的表面，所述二號齒輪(505)固定套設在四號轉桿(506)的表面，所述四號轉桿(506)的一端通過五號軸承與箱體(501)的內壁轉動連接，所述一號齒輪(504)與二號齒輪(505)嚙合，所述四號轉桿(506)的另一端貫穿箱體(501)的內壁與轉盤(507)的底部固定連接。

4.根據權利要求3所述的一種大角度的UVW對位平臺，其特征在于：所述底板(1)的四角處分別開設有四個螺紋孔，所述底板(1)的四角處分別開設的四個螺紋孔內分別螺紋連接有四個地腳螺栓(2)。