[發明專利]一種可升降的載物臺及用其對外延片進行檢測的方法

在審

• 申請號: 202210144979.4
• 申請日: 2022-02-18
• 公開（公告）號: CN114324341A
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發明（設計）人: 伊文君;張奇;徐杰;賈偵華
• 申請（專利權）人: 北京中拓光電科技有限公司
• 主分類號: G01N21/84
• 分類號: G01N21/84;G01N21/01
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種可升降的載物臺，包括機架，載片臺（20），頂針組件，升降機構，以及驅動組件；其特征在于，驅動組件可通過升降機構驅動載片臺（20）升降，從而使得頂針組件中的頂針（12）的頂部處于突出于載片臺（20）的上表面一定距離、與載片臺（20）的上表面齊平、或者低于載片臺（20）上表面一定距離的位置，當頂針（12）的頂部處于突出于載片臺（20）的上表面一定距離的位置時，可實現外延片的自動取放；當頂針（12）的頂部處于與載片臺（20）的上表面齊平、或者低于該上表面一定距離的位置時，可實現外延片的吸附固定、以及檢測時的自動調焦。

技術領域

本發明涉及一種可升降的載物臺，用于外延片的檢測，屬于外延片檢測技術領域。

背景技術

近年來，下游應用市場的繁榮帶動我國LED產業迅猛發展，外延片市場也迎來發展良機。國內LED外延片產能快速提升，技術水平不斷進步，外延片是LED核心器件中的前端高技術產品。因此對于外延片檢測設備需要快速、有效、低成本。對于自動檢測外延片設備上的載物臺，需要更加靈活的升降調節到最佳檢測位置、機械手取放片的最佳位置。

現有的外延片檢測裝置采用交叉滾子導軌型滑臺，如附圖1所示。其基本結構為：驅動馬達001輸出軸上設置有聯軸器002，絲杠003通過聯軸器002與驅動馬達001連接，交叉滾子型滑臺內含有三組交叉滾子導軌，分別是沿斜面的XZ交叉滾子導軌006、X交叉滾子導軌005、Z交叉滾子導軌004。斜臺009固定在絲杠螺帽007上，隨著絲杠003的轉動，絲杠螺帽007帶動斜臺009沿著X交叉滾子導軌005與XZ交叉滾子導軌006左右移動，斜臺009帶動升降塊010沿著XZ交叉滾子導軌006與Z交叉滾子導軌004上下移動。交叉滾子型滑臺和本發明相比零件的加工精度要求高，加工有難度，加工成本比較高；圓柱滾子本身尺寸比較大（比例），升降行程小；交叉滾子導軌的耐沖擊性弱，掉落或對其施力過大，將會產生滑動異常，在未可靠安裝固定前，滾子保持器組件受外力作用時，可能會造成滾子掉落，在使用時需要特別注意，給安裝增加了難度。該滑臺加工安裝精度要求高，不方便安裝，Z軸升降行程小，性價比不高。

該滑臺的升降塊010上設置有載物臺011，該載物臺011的中心有機械手取放片的凹槽，如附圖2所示，凹槽是機械手取放片可以伸進伸出的位置，如沒有凹槽機械手沒辦法取放片。該帶有凹槽的載物臺會導致外延片吸附面不是一個平面，從而影響外延片吸附固定的效果，同時也會使得透明的外延片檢測時背景不一致，進而影響檢測的準確度。

發明內容

本發明的目的是針對現有技術中存在的上述問題，提供一種可自動升降的載物臺，通過將載物臺升降到不同的位置這一個動作，可實現機械手自動取放外延片、檢測背景一致、且可自動調整位置實現對焦。

本發明的目的可通過下列技術方案來實現：

一種可升降的載物臺，包括機架，載片臺，頂針組件，升降機構，以及驅動組件；驅動組件可通過升降機構驅動載片臺升降，從而使得頂針組件中的頂針的頂部處于突出于載片臺的上表面一定距離、與載片臺的上表面齊平、或者低于載片臺上表面一定距離的位置，當頂針的頂部處于突出于載片臺的上表面一定距離的位置時，可實現外延片的自動取放；當頂針的頂部處于與載片臺的上表面齊平、或者低于該上表面一定距離的位置時，可實現外延片的吸附固定、以及檢測時的自動調焦。

優選的，驅動組件包括電機和聯軸器，升降機構通過聯軸器與電機的輸出軸傳動連接。

優選的，升降機構包括絲杠，絲杠支座，絲杠螺帽，滑塊推板，惰輪，惰輪支座，Z軸上板；絲杠可轉動地設置在絲杠座上，絲杠座固定在絲杠支座上，絲杠支座固定在Z軸底板上，絲杠的一端通過聯軸器與電機的輸出軸傳動連接，另一端套設有絲杠螺帽；絲杠螺帽上固定連接有滑塊推板，惰輪與滑塊推板的斜面相抵接且可沿該斜面滑動，惰輪通過惰輪支座與機架滑動連接，可沿著機架上下滑動；惰輪支座的頂部設置有Z軸上板，Z軸上板的頂部與載片臺固定連接。