[發明專利]一種用于掩膜電解加工的自吸式沖液加工裝置

有效

• 申請號: 202210144848.6
• 申請日: 2022-02-17
• 公開（公告）號: CN114367711B
• 公開（公告）日: 2022-11-11
• 發明（設計）人: 王國乾;江山;凌興源;倪受東
• 申請（專利權）人: 南京工業大學
• 主分類號: B23H3/00
• 分類號: B23H3/00;B23H3/10
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 胡建華

1.一種用于掩膜電解加工的自吸式沖液加工裝置，其特征在于，包括掩模板(2)、夾具體(3)、旋轉輪(6)以及孔板式陰極(7)；所述夾具體(3)設有進液口(4)和出液口(5)；所述的掩模板(2)與夾具體(3)形成相對密閉的電解液流道腔；所述電解液流道腔被孔板式陰極(7)隔成排液腔(18)和反應腔(17)，所述排液腔(18)包括一個以上的獨立封閉的泵室(19)，泵室(19)內設有旋轉輪(6)，泵室(19)設有出液口(5)，所述出液口(5)位于旋轉輪(6)背離孔板式陰極(7)的一側；所述進液口(4)連通反應腔(17)且只能夠使電解液單向進入，所述旋轉輪(6)只能夠使電解液單向流出出液口(5)；所述旋轉輪(6)轉動時，電解液從反應腔(17)透過孔板式陰極(7)吸入泵室(19)。

2.根據權利要求1所述的一種用于掩膜電解加工的自吸式沖液加工裝置，其特征在于，所述泵室(19)為兩個以上，相互之間由隔板分隔，每個泵室設有獨立的出液口。

3.根據權利要求2所述的一種用于掩膜電解加工的自吸式沖液加工裝置，其特征在于，所述的旋轉輪(6)可以為齒輪或者葉輪。

4.根據權利要求3所述的一種用于掩膜電解加工的自吸式沖液加工裝置，其特征在于，所述的旋轉輪(6)為一對相互嚙合的齒輪，包括主動齒輪(6a)和從動齒輪(6b)；所述主動齒輪(6a)順時針轉動，從動齒輪(6b)逆時針轉動。

5.根據權利要求3所述的一種用于掩膜電解加工的自吸式沖液加工裝置，其特征在于，包括電機(8)和機械傳動裝置(9)，電機(8)包括電機輸出軸(8-1)，機械傳動裝置(9)包括傳動裝置輸入軸(9-1)和傳動裝置輸出軸(9-2)，旋轉輪(6)的一端與傳動裝置輸出軸(9-2)相連，傳動裝置輸入軸(9-1)與電機(8)的電機輸出軸(8-1)相連。

6.根據權利要求5所述的一種用于掩膜電解加工的自吸式沖液加工裝置，其特征在于，所述的孔板式陰極(7)采用多孔金屬板。

7.根據權利要求6所述的一種用于掩膜電解加工的自吸式沖液加工裝置，其特征在于，包括供液管路(14)和電解液槽(13)，所述進液口(4)通過供液管路(14)連接電解液槽(13)。

8.根據權利要求7所述的一種用于掩膜電解加工的自吸式沖液加工裝置，其特征在于，包括回液管路(15)，所述出液口(5)通過回液管路(15)連通電解液槽(13)。

9.根據權利要求8所述的一種用于掩膜電解加工的自吸式沖液加工裝置，其特征在于，所述電解液槽(13)裝有電解液，包括凈液槽(13a)和回液槽(13b)，凈液槽(13a)連通供液管路(14)，回液槽(13b)連通回液管路(15)，凈液槽(13a)和回液槽(13b)之間設有過濾器(16)。

10.根據權利要求9所述的一種用于掩膜電解加工的自吸式沖液加工裝置，其特征在于，工件陽極（ 1） 通過正極線路(11)與電源(10)相連，孔板式陰極(7)通過負極線路(12)與電源(10)相連。