[發明專利]一種波長可調的寬光譜光電器件

在審

• 申請號: 202210143878.5
• 申請日: 2022-02-17
• 公開（公告）號: CN114520269A
• 公開（公告）日: 2022-05-20
• 發明（設計）人: 熊錫成;李敏
• 申請（專利權）人: 河南工程學院
• 主分類號: H01L31/0328
• 分類號: H01L31/0328;H01L31/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種波長可調的寬光譜光電器件，主要包括：由(1)～(5)構成的基本結構。(1)是硅層，位于結構上部，是光線的入射面；(2)是β-FeSi₂層，位于結構中部；(3)是硅層，位于結構下部，是光線的出射面；(4)是上表面金屬電極，與硅層形成歐姆接觸；(5)是下表面金屬電極，與硅層形成歐姆接觸；(4)的面積占(1)面積的一小部分，保證足夠的光線入射；(5)的面積占(3)面積的一部分，允許部分光線射出，或者占全部，可以把透射而來的光線反射回結構內部；(1)、(2)、(3)材料的厚度均小于其趨膚深度；基本結構可以單獨使用或互相組合形成新的結構，以構成種波長可調的寬光譜光電器件。

2.根據權利要求1所述的一種波長可調的寬光譜光電器件，其特征在于：通過各層材料厚度的變化完成傳輸光線波長的選擇調整，獲得透射光，光電流或光電信號；各層材料的厚度均小于其趨膚深度；基本結構單獨或互相組合形成的結構；光線從上表面照射入射，光的入射角度可以調整。