[發明專利]一種松弛方法

在審

• 申請號: 202210143857.3
• 申請日: 2022-02-16
• 公開（公告）號: CN114466501A
• 公開（公告）日: 2022-05-10
• 發明（設計）人: 樊啟文;王華;孟波
• 申請（專利權）人: 中國原子能科學研究院
• 主分類號: H05H7/00
• 分類號: H05H7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種松弛方法，其特征在于，該方法是通過為剝離膜提供負壓，將剝離膜在垂直方向向下延伸至所需深度，以對剝離膜進行松弛。

2.根據權利要求1所述的松弛方法，其特征在于，所述剝離膜是固定在靶框上，且松弛前剝離膜表面保持濕潤。

3.根據權利要求1所述的松弛方法，其特征在于，所述剝離膜向下松弛深度為1～3mm。

4.根據權利要求1所述的松弛方法，其特征在于，所述剝離膜松弛過程中時邊松弛邊烘烤。

5.根據權利要求1所述的松弛方法，其特征在于，所述松弛方法是利用松弛裝置實現的，其中松弛裝置包括：

松弛室，用于支撐剝離膜；所述松弛室內設置有垂直方向上貫穿的第一通孔，該第一通孔所在空間為儲氣室；剝離膜放置于該第一通孔上端；

供氣室，用于提供壓縮空氣以及為儲氣室提供負壓環境，其位于松弛室下方；所述供氣室包括供氣管、變徑管、出氣管及壓縮空氣氣源，壓縮空氣按照壓縮空氣氣源、供氣管、變徑管、出氣管的方向流動；其中變徑管為按照壓縮空氣流動方向直徑由大到小的變徑管道，且變徑管上側管壁上設置有與儲氣室通孔相對應的第二孔道；壓縮空氣流經第一通孔時，為儲氣室提供負壓環境，剝離膜垂直方向上向下延伸。

6.根據權利要求5所述的松弛方法，其特征在于，所述供氣管的一端與壓縮空氣氣源連接，另一端與變徑管直徑較大的一端連接，壓縮空氣由供氣管進入至變徑管；所述出氣管的一端位于變徑管內第二孔道的壓縮空氣流出側，另一端位于變徑管外，出氣管與變徑管的軸心位于同一水平位置上。

7.根據權利要求5或6所述的松弛方法，其特征在于，所述出氣管位于變徑管內的一端是通過出氣管外壁與變徑管內壁設置的螺紋連接的，通過螺紋可調節出氣管與供氣管間的距離。

8.根據權利要求5所述的松弛方法，其特征在于，所述供氣管中壓縮空氣的壓強為標準大氣壓的1.2～1.8倍。

9.根據權利要求5所述的松弛方法，其特征在于，所述供氣管中壓縮空氣的流量為0.5～2L/min。

10.根據權利要求5所述的松弛方法，其特征在于，供氣室的數量為1個以上；松弛裝置還包括主供氣部件，主供氣部件為所有供氣室提供壓縮空氣。

11.根據權利要求5所述的松弛方法，其特征在于，所述第一通孔的直徑上端放置有軟性墊片，該軟性墊片用于支撐剝離膜。

12.根據權利要求5所述的松弛方法，其特征在于，松弛裝置還包括烘干裝置。

13.根據權利要求5所述的松弛方法，所述剝離膜固定在靶框上放置在第一通孔上端，其中第一通孔的尺寸小于靶框尺寸且大于剝離膜尺寸。