[發(fā)明專利]基于先驗信息的規(guī)則晶片定位方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210139366.1
• 申請日: 2022-02-16
• 公開（公告）號: CN114187294B
• 公開（公告）日: 2022-05-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 謝佩;曲東升;李長峰;李波;陳輝;熊繼淙;冀偉;劉梟梟
• 申請（專利權(quán)）人: 常州銘賽機器人科技股份有限公司
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00;G06T7/13;G06T7/73
• 代理公司: 常州至善至誠專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32409
• 代理人: 朱麗莎

本發(fā)明公開了一種基于先驗信息的規(guī)則晶片定位方法，具體步驟如下：第一步驟、晶片初始位置的定位，定位出晶圓上所有晶片的初始位置；第二步驟、選擇固定的拍照方式，拍攝多張圖像，多張圖像的晶片區(qū)域有重疊；第三步驟、按照第一步驟中定位的晶片初始位置，選擇每塊晶片的起點拍攝位置，然后按照第二步驟中的固定拍照方式進(jìn)行拍照；第四步驟、選取一組圖像作為模板，根據(jù)每幅圖像上晶片的信息來提取一定的先驗信息，后面其他的晶片采用模板的先驗信息去定位。該基于先驗信息的規(guī)則晶片定位方法，具有在圖像精度滿足需求的小視野圖像中準(zhǔn)確定位出晶片位置的優(yōu)點。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及規(guī)則晶片定位方法的技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種基于先驗信息的規(guī)則晶片定位方法。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展迅速，在晶圓生成過程中需要對晶片做一些瑕疵檢測，如對劃傷、破裂、崩邊等瑕疵的檢測，在檢測之前需要準(zhǔn)確定位晶片的位置，實際生產(chǎn)中，由于晶片的種類不一樣，因此它們的定位方式也不一樣。

對于有一些固有特征的晶片，其位置定位可以根據(jù)這些特征來定位。但是對于表面光滑無特征的晶片，則沒有固有特征來定位，需要不同場景不同分析。尤其是不同類型的晶片，其尺寸、大小不一樣，對于可以完全呈現(xiàn)在圖像視野中的晶片，則可以通過正常的定位方法定位出晶片位置，如晶片的外部輪廓。但是對于一些比較大的晶片，圖像視野拍不全整個晶片，甚至有些只能拍出晶片的一條邊。這些都是現(xiàn)有檢測中需要關(guān)注解決的問題。

為了解決以上問題，目前主要考慮是通過改善硬件，擴大視野，將晶片拍全，然后定位，但是這種方法存在一定的缺陷，一是成本上的增加，另外需要考慮之前的機構(gòu)是否可以安轉(zhuǎn)，而且改善硬件的時候不會無限制的擴大視野，有時雖然視野擴大了，但精度降低了，反而導(dǎo)致后面的檢測精度不滿足，所以在圖像精度滿足需求的小視野圖像中準(zhǔn)確定位出晶片位置有重要意義。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。

為此，本發(fā)明提出一種基于先驗信息的規(guī)則晶片定位方法，具有在圖像精度滿足需求的小視野圖像中準(zhǔn)確定位出晶片位置的優(yōu)點。

根據(jù)本發(fā)明實施例的基于先驗信息的規(guī)則晶片定位方法，具體步驟如下：第一步驟、晶片初始位置的定位，定位出晶圓上所有晶片的初始位置；第二步驟、選擇固定的拍照方式，拍攝多張圖像，多張圖像的晶片區(qū)域有重疊；第三步驟、按照第一步驟中定位的晶片初始位置，選擇每塊晶片的起點拍攝位置，然后按照第二步驟中的固定拍照方式進(jìn)行拍照；第四步驟、選取一組圖像作為模板，根據(jù)每幅圖像上晶片的信息來提取一定的先驗信息，后面其他的晶片采用模板的先驗信息去定位。

本發(fā)明的有益效果是，本發(fā)明在現(xiàn)有硬件條件下拍攝圖像，針對晶片在圖像中不同的位置做定位，準(zhǔn)確定位出每張圖像中的晶片位置，在圖像精度滿足需求的圖像小視野中準(zhǔn)確定位晶片的位置，以完成檢測需求。

根據(jù)本發(fā)明一個實施例，所述固定的拍照方式為多行多列的拍照方式。

根據(jù)本發(fā)明一個實施例，所述固定的拍照方式為3行3列，在9個拍攝位置處一共獲得9張圖像。

根據(jù)本發(fā)明一個實施例，在第四步驟中，采用形狀特征模板匹配方法或者灰度匹配方法來制作模板。

根據(jù)本發(fā)明一個實施例，當(dāng)拍照位置處拍攝的圖像中有晶片的角點，該拍照位置的定位按照晶片角點來定位，提取包含角點的區(qū)域做模板。

根據(jù)本發(fā)明一個實施例，當(dāng)拍照位置處拍攝的圖像中都是晶片，后面在該拍照位置拍攝的圖像都作為檢測晶片區(qū)域。

根據(jù)本發(fā)明一個實施例，當(dāng)拍照位置處拍攝的圖像中出現(xiàn)晶片上邊緣，提取區(qū)域作為模板區(qū)域，在該提取區(qū)域提取上邊緣，將上邊緣擬合為一條直線，保存直線的參數(shù)，將該提取區(qū)域制作為灰度匹配模板，并且保存晶片區(qū)域參數(shù)信息。