[發明專利]一種集成微納粒子和光波導的光子學器件結構

在審

• 申請號: 202210135028.0
• 申請日: 2022-02-14
• 公開（公告）號: CN114296185A
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發明（設計）人: 黎永前;余洋;劉金澤;喬大勇
• 申請（專利權）人: 西北工業大學
• 主分類號: G02B6/12
• 分類號: G02B6/12
• 代理公司: 西北工業大學專利中心 61204
• 代理人: 呂湘連

1.一種集成微納粒子和光波導的光子學器件結構，包括微納粒子(101)，光波導(201)，以及基底層(301)，其特征在于：微納粒子(101)位于光波導(201)的軸線延長線方向；微納粒子(101)的對稱軸與光波導(201)的軸線相平行；微納粒子(101)和光波導(201)屬于橫向光散射層(200)；橫向光散射層制備在基底層(301)上。

2.如權利要求1所述的集成微納粒子和光波導的光子學器件結構，其特征在于，所述微納粒子和光波導的材料為相同或不同的電介質材料。

3.如權利要求2所述的集成微納粒子和光波導的光子學器件結構，其特征在于，所述微納粒子和光波導的材料為硅、鍺、或者氮化硅。

4.如權利要求1所述的集成微納粒子和光波導的光子學器件結構，其特征在于，所述微納粒子是單個微納粒子，或者多個微納粒子組成一維或者二維陣列。

5.如權利要求4所述的集成微納粒子和光波導的光子學器件結構，其特征在于，所述微納粒子組成陣列時，沿著光波導軸線方向，微納粒子的陣列周期等于入射光波的波長的整數倍。

6.如權利要求1所述的集成微納粒子和光波導的光子學器件結構，其特征在于，所述微納粒子及其陣列位于單根光波導的端部，或者位于兩根光波導端部之間。

7.如權利要求1所述的集成微納粒子和光波導的光子學器件結構，其特征在于，所述光子學器件結構是單個結構，或者多個光子學器件結構組成一維陣列。

8.如權利要求1所述的集成微納粒子和光波導的光子學器件結構，其特征在于，所述微納粒子的結構形式為V形結構粒子、圓柱形或矩形塊。

9.如權利要求8所述的集成微納粒子和光波導的光子學器件結構，其特征在于，當所述微納粒子的結構形式為V形結構粒子時，所述V形結構粒子為夾角為0～180度的兩段結構組成。