[發(fā)明專利]一種單晶硅橢圓形旋片隔離閥機構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210131948.5
• 申請日: 2022-02-14
• 公開（公告）號: CN114165602B
• 公開（公告）日: 2022-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 尹嘉琦;李歡;辛珊;江佳飛
• 申請（專利權(quán)）人: 新沂中大節(jié)能科技有限公司;連城凱克斯科技有限公司
• 主分類號: F16K1/00
• 分類號: F16K1/00;F16K1/32;F16K1/36;F16K27/02;F16K31/12;C30B15/02;C30B29/06
• 代理公司: 無錫蘇元專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32471
• 代理人: 王清偉

本發(fā)明涉及單晶硅加工技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種單晶硅橢圓形旋片隔離閥機構(gòu)。一種單晶硅橢圓形旋片隔離閥機構(gòu)，包括前閥體、后閥體、閥板、第一驅(qū)動氣缸、第二驅(qū)動氣缸和外殼，所述前閥體的側(cè)面固定安裝有后閥體，前閥體的內(nèi)部安裝有閥板，前閥體的上方固定安裝有真空接口，前閥體和后閥體之間安裝有鎖緊套，前閥體的前端固定安裝有檢測視窗，所述閥板的側(cè)面固定設(shè)置有閥臂。本發(fā)明的有益效果是：該單晶硅橢圓形旋片隔離閥機構(gòu)，在現(xiàn)有的基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn)，利用前閥體和后閥體使得該裝置的安裝空間能得到充分利用，設(shè)備結(jié)構(gòu)更加緊湊，同等條件廠房中可以布局更多數(shù)量的設(shè)備，提高拉晶產(chǎn)能。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及單晶硅加工技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種單晶硅橢圓形旋片隔離閥機構(gòu)。

背景技術(shù)

電子元件的生產(chǎn)需要使用到單晶硅材料，單晶硅材料在生產(chǎn)的過程中需要進(jìn)行拉晶步驟，拉晶的過程中，則需要使用到隔離閥對原料的落料進(jìn)行控制，保證晶體的成型效果，現(xiàn)有的一些單晶硅晶體生產(chǎn)用隔離閥機構(gòu)在使用時還存在一些缺陷。

現(xiàn)有的閥腔為方形結(jié)構(gòu)，占用爐蓋上面空間較大，不利于設(shè)備整體布局，隨著晶棒規(guī)格逐步增大，對閥腔的內(nèi)徑尺寸也越來越大，若仍采用方形腔體，其所占空間較大，設(shè)備結(jié)構(gòu)變得松散，從而使設(shè)備安裝所需空間變得更大，而且現(xiàn)有的單晶硅隔離閥在使用時，不能對裝置整體進(jìn)行準(zhǔn)確定位，也不能對隔離閥進(jìn)行多個支點的穩(wěn)定固定，穩(wěn)定性較差，也不便于后續(xù)進(jìn)行對中工作。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題，提供一種單晶硅橢圓形旋片隔離閥機構(gòu)，來解決上述中提到的現(xiàn)有的隔離閥在使用時不能對裝置整體進(jìn)行準(zhǔn)確定位，而且不便于后續(xù)進(jìn)行對中工作的問題。

本發(fā)明解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下：一種單晶硅橢圓形旋片隔離閥機構(gòu)，包括前閥體、后閥體、閥板、第一驅(qū)動氣缸、第二驅(qū)動氣缸和外殼，所述前閥體的側(cè)面固定安裝有后閥體，前閥體的內(nèi)部安裝有閥板，前閥體的上方固定安裝有真空接口，前閥體和后閥體之間安裝有鎖緊套，前閥體的前端固定安裝有檢測視窗，所述閥板的側(cè)面固定設(shè)置有閥臂，閥臂的表面安裝有閥軸鎖緊環(huán)，閥軸鎖緊環(huán)的上方安裝有閥軸安裝座，所述閥軸安裝座的底端固定設(shè)置有密封法蘭套，閥軸安裝座的左側(cè)連接有第一驅(qū)動氣缸，第一驅(qū)動氣缸的前端轉(zhuǎn)動安裝有升降杠桿，升降杠桿的內(nèi)部設(shè)置有旋片閥軸，旋片閥軸的頂部固定安裝有旋轉(zhuǎn)臂，旋轉(zhuǎn)臂的前端連接有第二驅(qū)動氣缸，所述升降杠桿的側(cè)面安裝有杠桿支架，升降杠桿的前端連接有提升把手，第二驅(qū)動氣缸的前端安裝有氣缸支架，所述外殼的內(nèi)部活動安裝有用于固定前閥體和后閥體的內(nèi)接板，外殼頂部的四周固定安裝有支柱。

本發(fā)明的有益效果是：

該單晶硅橢圓形旋片隔離閥機構(gòu)效果更好，本發(fā)明中在現(xiàn)有的基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn)，該裝置閥腔外形改為類似橢圓形，在滿足閥板完全打開的前提下，縮小了閥臂旋轉(zhuǎn)幅度，從而減小了前后方向長度，利用前閥體和后閥體使得該裝置的安裝空間能得到充分利用，設(shè)備結(jié)構(gòu)更加緊湊，同等條件廠房中可以布局更多數(shù)量的設(shè)備，提高拉晶產(chǎn)能。

該單晶硅橢圓形旋片隔離閥機構(gòu)效果更好，該裝置在使用時能夠通過裝置上的第四牽引鋼繩拉動周圍的拉桿，使得各處激光頭同時張開或收納，提升了裝置的使用效果，同時該裝置在使用時還能夠適應(yīng)不同形狀和尺寸的閥體進(jìn)行穩(wěn)定安裝，首先通過拉動裝置上的螺栓然后將螺栓安裝進(jìn)相應(yīng)的螺孔中，從而對裝置上各處支撐組件的位置以及彈力進(jìn)行適應(yīng)性調(diào)節(jié)工作，同時該裝置還能夠利用牽引組件來對板簧進(jìn)行向內(nèi)拉動，從而使得板簧的上下兩側(cè)能夠撐緊閥體，使得該裝置在使用時能夠適應(yīng)不同形狀和尺寸的閥體進(jìn)行固定，而且在固定時可以進(jìn)行多個位置的穩(wěn)定支撐，提升了裝置的使用效果，該裝置在使用時還能利用裝置底部的激光頭配合牽引組件實現(xiàn)對爐口和閥體的對中工作，保證后續(xù)的拉晶質(zhì)量，提升了裝置的實用性。

在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還可以做如下改進(jìn)。