[發(fā)明專利]一種雙軸傾轉(zhuǎn)樣品桿

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210127168.3
• 申請(qǐng)日: 2022-02-11
• 公開（公告）號(hào): CN114360992A
• 公開（公告）日: 2022-04-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 廖洪鋼
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廈門超新芯科技有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/20
• 分類號(hào): H01J37/20;H05K1/18;G01N23/20025;G01N23/04
• 代理公司: 廈門市精誠新創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 35218
• 代理人: 戚東升

本發(fā)明涉及透射電子顯微鏡配件技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種雙軸傾轉(zhuǎn)樣品桿，包括桿身、內(nèi)推桿、連桿和芯片載臺(tái)，芯片載臺(tái)可繞傾轉(zhuǎn)軸線傾轉(zhuǎn)地設(shè)在桿身前端，傾轉(zhuǎn)軸線垂直于樣品桿軸向，內(nèi)推桿活動(dòng)穿設(shè)在桿身內(nèi)，其前端通過連桿與芯片載臺(tái)連接，內(nèi)推桿可沿樣品桿軸向運(yùn)動(dòng)，并通過連桿帶動(dòng)芯片載臺(tái)繞傾轉(zhuǎn)軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，芯片載臺(tái)包括載臺(tái)主體、壓蓋和導(dǎo)電橋，桿身內(nèi)穿設(shè)有柔性電路板，壓蓋固定在載臺(tái)主體上，柔性電路板的前端、芯片和導(dǎo)電橋夾設(shè)在載臺(tái)主體和壓蓋之間，導(dǎo)電橋的兩端分別與芯片和柔性電路板電接觸連接。在推拉內(nèi)推桿帶動(dòng)芯片載臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，由于柔性電路板可彎曲，芯片可通過導(dǎo)電橋保持與柔性電路板電連接。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及透射電子顯微鏡配件技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種雙軸傾轉(zhuǎn)樣品桿。

背景技術(shù)

透射電子顯微鏡作為一種顯微觀察設(shè)備，可以對(duì)材料的亞顯微結(jié)構(gòu)或超微結(jié)構(gòu)進(jìn)行有效展示，方便對(duì)材料的研究。現(xiàn)有的TEM(透射電子顯微鏡)樣品桿多為單軸傾轉(zhuǎn)樣品桿，芯片載臺(tái)只可繞X軸(樣品桿軸向)旋轉(zhuǎn)。

公告號(hào)為CN105758876B的專利文獻(xiàn)公開了一種雙軸傾轉(zhuǎn)樣品桿，其芯片載臺(tái)可繞X軸旋轉(zhuǎn)，還可繞Y軸(垂直于樣品桿軸向)旋轉(zhuǎn)，但是其功能單一，不具有對(duì)芯片進(jìn)行電路連接的功能。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述問題，本發(fā)明提供一種雙軸傾轉(zhuǎn)樣品桿。

具體地，本發(fā)明的技術(shù)方案是：

一種雙軸傾轉(zhuǎn)樣品桿，包括桿身、內(nèi)推桿、連桿和芯片載臺(tái)，芯片載臺(tái)可繞傾轉(zhuǎn)軸線傾轉(zhuǎn)地設(shè)在桿身前端，傾轉(zhuǎn)軸線垂直于樣品桿軸向，內(nèi)推桿活動(dòng)穿設(shè)在桿身內(nèi)，其前端通過連桿與芯片載臺(tái)連接，內(nèi)推桿可沿樣品桿軸向運(yùn)動(dòng)，并通過連桿帶動(dòng)芯片載臺(tái)繞傾轉(zhuǎn)軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，芯片載臺(tái)包括載臺(tái)主體、壓蓋和導(dǎo)電橋，桿身內(nèi)穿設(shè)有柔性電路板，壓蓋固定在載臺(tái)主體上，柔性電路板的前端、芯片和導(dǎo)電橋夾設(shè)在載臺(tái)主體和壓蓋之間，導(dǎo)電橋的兩端分別與芯片和柔性電路板電接觸連接。

優(yōu)選地，所述導(dǎo)電橋固定在壓蓋上，載臺(tái)主體上設(shè)有定位凸起，芯片的后端和柔性電路板的前端抵靠定位凸起設(shè)置。

優(yōu)選地，所述壓蓋上設(shè)有多個(gè)導(dǎo)電橋，多個(gè)導(dǎo)電橋并排設(shè)置。

優(yōu)選地，所述載臺(tái)主體為U型結(jié)構(gòu)，包括底部和相對(duì)設(shè)置的第一側(cè)壁、第二側(cè)壁，第一側(cè)壁薄于第二側(cè)壁，連桿與第一側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接，定位凸起設(shè)在載臺(tái)主體底部上表面，第一側(cè)壁和第二側(cè)壁用于限制柔性電路板和芯片平行于傾轉(zhuǎn)軸線運(yùn)動(dòng)，載臺(tái)主體底部上表面還設(shè)有限位臺(tái)階，限位臺(tái)階和定位凸起限制芯片沿樣品桿軸向運(yùn)動(dòng)，限位臺(tái)階、定位凸起、第一側(cè)壁和第二側(cè)壁圍成芯片安裝槽。

優(yōu)選地，所述限位臺(tái)階上表面設(shè)有讓位槽，讓位槽與芯片安裝槽連通。

優(yōu)選地，所述載臺(tái)主體和壓蓋上分別設(shè)有觀察通孔，觀察通孔的位置與芯片安裝槽對(duì)應(yīng)。

優(yōu)選地，所述壓蓋的后端與載臺(tái)主體轉(zhuǎn)動(dòng)連接，壓蓋的前端以可拆卸的方式固定在載臺(tái)主體上。

優(yōu)選地，所述桿身包括桿身主體和U型框體，U型框體的開放端固定在桿身主體前端，內(nèi)推桿的前端從桿身主體前端穿出，芯片載臺(tái)和連桿設(shè)在U型框體內(nèi)側(cè)，芯片載臺(tái)與U型框體轉(zhuǎn)動(dòng)連接，連桿的兩端分別與內(nèi)推桿和芯片載臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

優(yōu)選地，所述桿身主體上設(shè)有沿樣品桿軸向的讓位通孔和導(dǎo)向通孔，內(nèi)推桿穿過導(dǎo)向通孔，內(nèi)推桿與桿身主體之間設(shè)有密封圈；柔性電路板穿過讓位通孔，插入載臺(tái)主體與壓蓋之間，柔性電路板與桿身主體之間密封設(shè)置。

優(yōu)選地，所述桿身主體內(nèi)設(shè)有驅(qū)動(dòng)單元，驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)端與內(nèi)推桿的后端連接，用于驅(qū)動(dòng)內(nèi)推桿前后運(yùn)動(dòng)。

本發(fā)明的有益技術(shù)效果：

通過導(dǎo)電橋建立柔性電路板與芯片之間的電連接，在推拉內(nèi)推桿帶動(dòng)芯片載臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，由于柔性電路板可彎曲，芯片可保持與柔性電路板電連接，實(shí)現(xiàn)在轉(zhuǎn)動(dòng)芯片載臺(tái)時(shí)，保持對(duì)芯片的電路連接。

附圖說明