[發(fā)明專利]測試探針清潔方法的粘性吸附方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210126255.7
• 申請日: 2020-11-28
• 公開（公告）號: CN114414862B
• 公開（公告）日: 2023-03-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 賀濤;金永斌;丁寧;朱偉
• 申請（專利權(quán)）人: 法特迪精密科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R1/067;B08B1/00;B08B13/00
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• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明測試探針清潔方法的粘性吸附方法涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域；具體為：啟動傳動電機順時針轉(zhuǎn)動，帶動主動梯形齒輪順時針轉(zhuǎn)動，主動梯形齒輪帶動螺紋套筒逆時針轉(zhuǎn)動，帶動傳動軸向下運動，通過固定片帶動清潔軟膠向下運動至與測試探針的上端面相抵靠，清潔軟膠在與測試探針的梅花探頭部分的接觸作用由接觸、抵靠、碾壓發(fā)生形變，將梅花探頭上端面的雜質(zhì)和灰塵粘在清潔軟膠的表面上，調(diào)節(jié)傳動電機逆時針轉(zhuǎn)動，將之前的動作逆方向完成，清潔軟膠相上運動至與測試探針的上端面相分離，以完成粘性吸附清潔工作；本發(fā)明應(yīng)用于測試探針清潔方法，能夠有效代替人工清潔，保證了清潔質(zhì)量和測試效率。

本申請是發(fā)明專利申請《測試探針清潔方法及摩阻刮除、粘性吸附和探針固定方法》的分案申請。

原案申請日：2020-11-28。

原案申請?zhí)枺?020113656141。

原案發(fā)明名稱：測試探針清潔方法及摩阻刮除、粘性吸附和探針固定方法。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明測試探針清潔方法的粘性吸附方法涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體制造的最后一個制程為測試，測試制程可分為初步測試與最終測試，其主要目的除了發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體組件的瑕疵之外，也將依規(guī)格劃分半導(dǎo)體組件的等級。在測試半導(dǎo)體組件例如芯片的過程中，探針會與半導(dǎo)體組件上的接腳，例如錫球，進行電性接觸，以測試該半導(dǎo)體組件的相關(guān)電性能，以及評估其功能是否正常，但是由于待測芯片底面的錫球是由金屬材料所制成，在重復(fù)測試過程中，探針尖端在反復(fù)接觸錫球后，錫球上的金屬氧化物及其它有機材料會堆積在探針尖端。當這些雜質(zhì)累積一定數(shù)量時，需要及時清理，否則會影響探針尖端的特性，使得測試結(jié)果變得不準確，甚至沉積嚴重時還需更換整個測試插座上的測試探針，現(xiàn)有應(yīng)用較為廣泛的探針的探頭多為梅花狀，尤其是四爪梅花探針應(yīng)用及其廣泛，針對四爪梅花探頭的清潔工作主要存在以下問題：

第一、主要清潔方式為人工利用刷子進行清潔，存在清潔質(zhì)量參差不齊，會影響測試結(jié)果；

第二、即使采用人工清潔，需要將測試插座從測試基座上拆下，在將探針從測試插座中拆卸分離，然后清理，待清理完成后，在逐一安裝，會造成生產(chǎn)線停運，影響測試效率和產(chǎn)出；

第三、如何針對梅花探頭的形狀，將沉積在梅花探頭棱角端面的雜質(zhì)去除；

第四、如何將清除的雜質(zhì)灰塵徹底從探頭上清除，以保持探頭的測試結(jié)果的準確性。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述不足，本發(fā)明提供了一種測試探針清潔方法，用以解決現(xiàn)有的如何有效代替人工清潔和如何將探頭徹底清潔干凈的問題。

本發(fā)明的技術(shù)方案：

一種測試探針清潔裝置，包括清潔構(gòu)件、夾持構(gòu)件、測試插座、測試基座和測試探針；所述清潔構(gòu)件上方設(shè)置有夾持構(gòu)件，所述清潔構(gòu)件下方設(shè)置有測試插座，所述測試插座安裝在測試基座上，所述夾持構(gòu)件能夠通過傳動機械臂移動控制測試插座上方的清潔構(gòu)件，能夠使清潔構(gòu)件移動至測試插座內(nèi)，并與測試插座內(nèi)的測試探針的探頭貼合抵靠，以完成對測試探針的先刮除累積雜質(zhì)，再將雜質(zhì)灰塵從測試插座內(nèi)吸附清除的工作；