[發明專利]一種碳化硅金屬線專用收卷裝置

在審

• 申請號: 202210123203.4
• 申請日: 2022-02-10
• 公開（公告）號: CN114572764A
• 公開（公告）日: 2022-06-03
• 發明（設計）人: 張啟東;朱友明;王亮
• 申請（專利權）人: 浙江瑞度新材料科技有限公司
• 主分類號: B65H54/40
• 分類號: B65H54/40;B65H54/70
• 代理公司: 嘉興尚正專利代理事務所(普通合伙) 33467
• 代理人: 郝艷平

本發明公開了一種碳化硅金屬線專用收卷裝置，包括支撐板，所述支撐板底端對稱轉動連接有兩個支輪，兩個所述支輪的上方安裝有漲緊機構，所述漲緊機構的上方設置有收卷輪，所述支撐板遠離所述收卷輪的一側固定有主電機，所述主電機的輸出軸貫穿所述支撐板且末端與所述收卷輪固定連接，所述漲緊機構和一個所述支輪之間設置有揉搓機構。本發明中，揉搓機構通過兩個揉搓輥將切割線表面的切割碎屑粘附，并由噴水管沖洗清理，可以防止收卷輥打滑，同時提高切割線的切割效率。

技術領域

本發明涉及碳化硅金屬線專用收卷設備的技術領域，尤其涉及一種碳化硅金屬線專用收卷裝置。

背景技術

在制造各種半導體、光伏器件時，將包含硅、藍寶石、或陶瓷等硬脆材料的半導體工件切割作業為要求厚度尺寸的晶片。由于晶片切割是制約后續成品的重要工序，因而對其作業要求也越來越高。目前，線切割技術由于具有生產效率高、作業成本低、作業精度高等特點，被廣泛應用于產業的晶體切割生產中。

如公開號為：CN112388851A線切割裝置，帶有單線線鋸與多線線鋸的切割系統，可以解決獲取樣片精度難以控制、獲取樣片造成硅棒物料浪費且降低截斷效率，使得企業生產效率與經濟效率低下的問題，但是也存在如下不足：切割線在反復循環鋸切棒料過程中會粘附棒料碎屑，使得切割線變得光滑，切割效率下降。

發明內容

本發明的目的是為了解決現有技術中存在的切割線在反復循環鋸切棒料過程中會粘附棒料碎屑，使得切割線變得光滑，切割效率下降的缺點，而提出的一種碳化硅金屬線專用收卷裝置。

為了實現上述目的，本發明采用了如下技術方案：一種碳化硅金屬線專用收卷裝置，包括支撐板，所述支撐板底端對稱轉動連接有兩個支輪，兩個所述支輪的上方安裝有漲緊機構，所述漲緊機構的上方設置有收卷輪，所述支撐板遠離所述收卷輪的一側固定有主電機，所述主電機的輸出軸貫穿所述支撐板且末端與所述收卷輪固定連接，所述漲緊機構和一個所述支輪之間設置有揉搓機構；

所述揉搓機構包括兩個揉搓輥、兩個滑桿、擺桿、支桿、圓盤、凸臺和副電機，兩個所述揉搓輥分別與兩個所述滑桿的一端轉動連接，兩個所述滑桿的另一端分別貫穿所述支撐板且末端分別通過滑臺與所述擺桿的長腰孔滑動連接，兩個所述滑桿分別與所述支撐板滑動連接，所述支桿的一端與所述支撐板固定連接，所述支桿的另端與所述擺桿轉動連接，所述副電機通過支架安裝在所述支撐板靠近所述擺桿的一側，所述圓盤固定在所述副電機的輸出軸上，所述凸臺固定在所述圓盤的邊緣處，所述凸臺滑動穿插在所述擺桿的滑槽里。

優選地，所述漲緊機構包括兩個漲緊輪、兩個漲緊桿、扭力彈簧和導桿，所述導桿固定在所述支撐板上，兩個所述漲緊桿的一端依次轉動套設在所述導桿的外表面，所述扭力彈簧分別位于兩個所述漲緊桿之間且兩端分別兩個漲緊桿的表面相貼合，兩個所述漲緊輪分別轉動連接在兩個所述漲緊桿的另一端。

優選地，所述收卷輪、兩個所述漲緊輪和兩個所述支輪的輪槽里滾動連接有切割線，所述切割線分別從兩個揉搓輥之間穿過。

優選地，兩個所述漲緊輪在水平面上呈前后錯位布置，所述切割線在所述收卷輪的輪槽里纏繞若干圈。

優選地，兩個所述揉搓輥的上方設置有噴水管，所述噴水管安裝在所述支撐板上。

優選地，兩個所述揉搓輥和所述收卷輪均采用橡膠材質。

優選地，所述主電機帶動所述收卷輪逆時針旋轉。

本發明具有如下有益效果：

該碳化硅金屬線專用收卷裝置，通過設置的揉搓機構，副電機帶動圓盤旋轉，通過凸臺在擺桿的滑槽里滑動，拉動擺桿圍繞支桿的末端往復擺動，并推動兩個滑桿分別帶動兩個揉搓輥相互往復揉搓，使得穿插在兩個揉搓輥之間的切割線表面的切割碎屑被粘附剝離，從而提高切割線的切割效率。

附圖說明

圖1為本發明的正視圖；