[發明專利]應用于缺陷高度測量的方法及裝置

有效

• 申請號: 202210115378.0
• 申請日: 2022-02-07
• 公開（公告）號: CN114152626B
• 公開（公告）日: 2022-05-24
• 發明（設計）人: 蘭海燕;康時俊;沈曙光
• 申請（專利權）人: 盛吉盛（寧波）半導體科技有限公司;盛吉盛精密技術（寧波）有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G06T7/00
• 代理公司: 上海市匯業律師事務所 31325
• 代理人: 王函

1.一種應用于缺陷高度測量的方法，其特征在于，包括：

步驟1：將相機對準待檢測缺陷；

步驟2：帶動所述相機沿垂直于所述待檢測缺陷的方向單向移動，并控制所述相機每移動系統預設間隔距離就進行一次拍攝，以拍攝到的各張圖片中的各相鄰像素點之間灰度差值的絕對值的總和與所述相機的位移距離為依據，獲取所述待檢測缺陷的高度H；

其中，所述圖片中的各相鄰像素點之間灰度差值的絕對值的總和為：所述圖片中所有行中相鄰像素點之間的灰度差值的絕對值的總和與所述圖片中所有列中相鄰像素點之間的灰度差值的絕對值的總和之和；

所述步驟2包括：

步驟A21：帶動所述相機沿垂直于所述待檢測缺陷的方向單向移動，所述相機每移動系統預設間隔距離就進行一次拍攝，獲取所述相機拍攝到初始有效圖片的位置，其中，所述初始有效圖片為所述相機在移動過程中拍攝到的第一張各相鄰像素點之間灰度差值的絕對值的總和達到系統預設的最低閾值的圖片；

步驟A22：繼續帶動所述相機沿垂直于所述待檢測缺陷的方向單向移動所述系統預設間隔距離；

步驟A23：所述相機執行拍攝操作，生成當前有效圖片；

步驟A24：判斷所述當前有效圖片中的各相鄰像素點之間灰度差值的絕對值的總和是否小于所述相機拍攝的前一張有效圖片中的各相鄰像素點之間灰度差值的絕對值的總和；

步驟A25：若所述當前有效圖片中的各相鄰像素點之間灰度差值的絕對值的總和未小于所述前一張有效圖片中的各相鄰像素點之間灰度差值的絕對值的總和，則返回上述步驟A22；若所述當前有效圖片中的各相鄰像素點之間灰度差值的絕對值的總和小于所述前一張有效圖片中的各相鄰像素點之間灰度差值的絕對值的總和，則繼續后續步驟A26；

步驟A26：將所述當前有效圖片的前一張有效圖片作為最大灰度差值總和圖片；

步驟A27：獲取所述相機拍攝到所述最大灰度差值總和圖片的位置；

步驟A28：根據下式1獲取所述待檢測缺陷的高度H：

H=2×D 式1；

其中，D為所述相機拍攝到初始有效圖片的位置到所述相機拍攝到所述最大灰度差值總和圖片的位置的位移距離；或

所述步驟2包括：

步驟B21：帶動所述相機沿垂直于所述待檢測缺陷的方向單向移動，所述相機每移動系統預設間隔距離就進行一次拍攝，獲取所述相機拍攝到初始有效圖片的位置和所述相機拍攝到最后有效圖片的位置；

其中，所述初始有效圖片為所述相機在移動過程中拍攝到的第一張各相鄰像素點之間灰度差值的絕對值的總和達到系統預設的最低閾值的圖片；

所述最后有效圖片為所述相機在移動過程中拍攝到的最后一張各相鄰像素點之間灰度差值的絕對值的總和達到系統預設的最低閾值的圖片；

步驟B22：根據所述相機拍攝到初始有效圖片的位置到所述相機拍攝到最后有效圖片的位置的位移距離得到所述待檢測缺陷的高度H。

2.根據權利要求1所述的應用于缺陷高度測量的方法，其特征在于，所述步驟A21包括：

步驟A211：將所述相機移動到系統預設的起始位置；

步驟A212：帶動所述相機沿垂直于所述待檢測缺陷的方向單向移動所述系統預設間隔距離；

步驟A213：所述相機執行拍攝操作，生成當前拍攝圖片；

步驟A214：對所述當前拍攝圖片進行分析，判斷所述當前拍攝圖片中的各相鄰像素點之間灰度差值的絕對值的總和是否達到所述系統預設的最低閾值；

步驟A215：若所述當前拍攝圖片中的各相鄰像素點之間灰度差值的絕對值的總和未達到所述系統預設的最低閾值，則返回上述步驟A211；若所述當前拍攝圖片中的各相鄰像素點之間灰度差值的絕對值的總和達到所述系統預設的最低閾值，則將所述當前拍攝圖片作為所述初始有效圖片，并繼續后續步驟A22。

3.根據權利要求1所述的應用于缺陷高度測量的方法，其特征在于，所述步驟2之前還包括以下步驟：

根據接收到的預估準待檢測缺陷的高度范圍，將所述相機的拍攝鏡頭切換為與所述預估準待檢測缺陷對應的景深的鏡頭。