[發明專利]一種勻流板、進氣裝置及外延設備

在審

• 申請號: 202210109814.3
• 申請日: 2022-01-29
• 公開（公告）號: CN114481309A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: 劉自強;燕春;楊進
• 申請（專利權）人: 江蘇天芯微半導體設備有限公司
• 主分類號: C30B25/08
• 分類號: C30B25/08;C30B25/14;C30B25/16;C23C16/455;C23C16/52
• 代理公司: 上海元好知識產權代理有限公司 31323
• 代理人: 朱成之;張妍

1.一種勻流板，用于外延設備的進氣裝置，所述進氣裝置包括進氣焊件、進氣插入件，及設置在進氣焊件、進氣插入件之間的勻流板，其特征在于，包含：

勻流板主體，包括相對的第一平面以及第二平面；

多個第一臺階和多個第二臺階，多個所述第一臺階設置于所述第一平面，多個所述第二臺階設置于所述第二平面；所述多個第一臺階分別與所述多個第二臺階位置對應；

多組通孔，每一組通孔對應設置于一個第一臺階，所述通孔依序穿設所述第一臺階、勻流板主體、第二臺階，用于在所述外延設備的工藝期間提供通過所述勻流板的氣體通道；

多個所述第一臺階、多個所述第二臺階分別嵌入進氣焊件、進氣插入件內，用于減小勻流板與進氣焊件、進氣插入件之間的間隙，防止勻流板的振動。

2.如權利要求1所述勻流板，其特征在于，勻流板主體具有一字型結構，多個第一臺階沿勻流板主體的長度方向分布，相鄰的第一臺階之間設有間隔；多個第二臺階沿勻流板的長度方向分布，相鄰的第二臺階之間設有間隔。

3.如權利要求2所述勻流板，其特征在于，沿勻流板主體的長度方向，多個第一臺階的長度相同或不同。

4.如權利要求2所述勻流板，其特征在于，勻流板主體的拐角為圓角。

5.如權利要求2所述勻流板，其特征在于，第一臺階為圓角矩形臺階、圓形臺階、橢圓形臺階中的任一種，第二臺階為圓角矩形臺階、圓形臺階、橢圓形臺階中的任一種。

6.如權利要求1所述勻流板，其特征在于，沿垂直于第一平面的方向，第一臺階的厚度為1mm～1cm，第二臺階的厚度為1mm～1cm。

7.如權利要求1所述勻流板，其特征在于，同一組所述通孔均勻分布；不同組的所述通孔之間具有相同或不同的分布密度。

8.如權利要求1所述勻流板，其特征在于，所述通孔的橫截面為圓形，通孔的中心軸垂直于第一平面。

9.如權利要求8所述勻流板，其特征在于，不同組的所述通孔的孔徑相同或者不同。

10.如權利要求1所述勻流板，其特征在于，所述勻流板的材料為石英或不銹鋼。

11.一種進氣裝置，用于外延設備，其特征在于，包含：進氣焊件，進氣插入件，以及如權利要求1至10任一所述的勻流板；

所述進氣焊件設置在進氣插入件第一端，進氣焊件朝向進氣插入件的第一表面設有連通外部工藝氣體源的多個第一凹槽；

進氣插入件，其內部設有與多個第一凹槽位置分別對應的多個第一通道；

所述勻流板設置在進氣焊件與進氣插入件之間；勻流板的多個第一臺階分別嵌入設置在多個第一凹槽內，第一臺階的外型面匹配第一凹槽的內型面；勻流板的多個第二臺階分別嵌入設置在多個第一通道內，第二臺階的外型面匹配第一通道的內型面；勻流板的各組通孔分別連通對應的第一凹槽及第一通道。

12.如權利要求11所述的進氣裝置，其特征在于，所述勻流板主體的第一平面貼合所述第一表面；勻流板主體的第二平面貼合進氣插入件第一端的端面。

13.如權利要求11所述的進氣裝置，其特征在于，所述進氣插入件內部設有多個隔板，通過所述多個隔板將進氣插入件內部空間分隔為多個第一通道。

14.如權利要求13所述的進氣裝置，其特征在于，所述隔板垂直于勻流板主體的第二平面。

15.一種外延設備，其特征在于，包含：

反應室和如權利要求11至14任一所述的進氣裝置；所述進氣裝置與所述反應室連接，用于向反應室輸送工藝氣體。