[發明專利]一種YBCO多層厚膜的制備方法在審
| 申請號： | 202210108443.7 | 申請日： | 2022-01-28 |
| 公開（公告）號： | CN115581114A | 公開（公告）日： | 2023-01-06 |
| 發明（設計）人： | 劉志勇 | 申請（專利權）人： | 上海大學;上海上創超導科技有限公司 |
| 主分類號： | H10N60/01 | 分類號： | H10N60/01 |
| 代理公司： | 上海微策知識產權代理事務所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 呂姿穎 |
| 地址： | 201900*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 ybco 多層 制備 方法 | ||
1.一種YBCO多層厚膜的制備方法，其特征在于，包括：
涂敷、低溫處理：將YBCO膠體涂敷到織構基底上，得到膠體膜，進行低溫處理，得到低溫熱解膜，重復涂敷、低溫處理，得到M層低溫熱解膜，M大于等于1；
高溫預處理：將M層低溫熱解膜經過高溫預處理后，得到半生長薄膜，所述半生長薄膜靠近織構基底的一側為YBCO層，所述半生長薄膜遠離織構基底的一側為未外延生長層；
多層薄膜制備：將YBCO膠體涂敷到未外延生長層，重復半生長薄膜制備，得到多層薄膜。
2.根據權利要求1所述的YBCO多層厚膜的制備方法，其特征在于，所述低溫處理包括：將膠體膜在氧氣、水汽混合氣氛下，升溫至350～450℃后，降溫，得到低溫熱解膜；
所述高溫預處理包括：將低溫熱解膜在氧氣、水汽、氮氣混合氣氛下，升溫至750～800℃，保溫后，得到所述半生長薄膜。
3.根據權利要求2所述的YBCO多層厚膜的制備方法，其特征在于，所述低溫處理的時間為30～60min；
所述高溫預處理中，升溫速率為20～100℃/min，優選為60～80℃/min，保溫時間為5～30min。
4.根據權利要求2所述的YBCO多層厚膜的制備方法，其特征在于，所述低溫處理中氧氣的通入流量為1～2L/min；
所述高溫預處理的混合氣氛的氧含量為100～200ppm，氣壓為20～1000Pa。
5.根據權利要求1所述的YBCO多層厚膜的制備方法，其特征在于，所述YBCO膠體的陽離子的濃度為1.5～2.5mol/L，所述陽離子包括摩爾比為1～1.5：1.5～2：3～3.6的釔離子、鋇離子、銅離子。
6.根據權利要求1～5任意一項所述的YBCO多層厚膜的制備方法，其特征在于，所述多層薄膜制備后，將多層薄膜經過高溫處理，得到高溫晶化的YBCO薄膜。
7.根據權利要求6所述的YBCO多層厚膜的制備方法，其特征在于，所述高溫處理包括：將多層薄膜在氧氣、水汽、氮氣混合氣氛下，升溫至750～800℃，保溫后，得到所述高溫晶化的YBCO薄膜。
8.根據權利要求7所述的YBCO多層厚膜的制備方法，其特征在于，所述高溫處理的混合氣氛的氧含量為100～200ppm，氣壓為20～1000Pa，升溫速率為20～100℃/min，保溫時間為60～150min。
9.根據權利要求6所述的YBCO多層厚膜的制備方法，其特征在于，所述高溫晶化的YBCO薄膜經過后處理。
10.根據權利要求9所述的YBCO多層厚膜的制備方法，其特征在于，所述后處理包括：將YBCO超導膜降溫至400～500℃，在氧氣氣氛中保溫后，降溫。
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